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南通晟輝微電子科技有限公司，位于南通蘇錫通產(chǎn)業(yè)園區(qū)未來島園區(qū)12號廠房，面積1755平米。是由上海交大劉鵬博士創(chuàng)辦，團(tuán)隊(duì)主要人員在等離子和半導(dǎo)體領(lǐng)域有10年以上的工作經(jīng)驗(yàn)。公司注重研發(fā)，擁有專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和先進(jìn)的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，已經(jīng)和國內(nèi)多家高校和科研院所建立了戰(zhàn)略合作。南通晟輝定位于等離子技術(shù)的深度研發(fā)、產(chǎn)品形成梯次系列化，服務(wù)于電子信息產(chǎn)和新材料行業(yè)的微納加工工藝，為客戶提供全套的等離子系統(tǒng)方案。
多材料兼容是等離子刻蝕機(jī)適應(yīng)多樣化芯片需求的重要優(yōu)勢，指設(shè)備可通過調(diào)整工藝參數(shù)（如氣體種類、射頻功率、溫度），對硅、鍺、砷化鎵（GaAs）、氮化鎵（GaN）、金屬（鋁、銅、鎢）、介...
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基材損傷率是評估等離子去膠機(jī)“無損處理”能力的關(guān)鍵指標(biāo)，指處理后基材表面物理結(jié)構(gòu)或化學(xué)性能的變化程度，通常通過原子力顯微鏡（AFM）觀察表面粗糙度、X射線光電子能譜（XPS）分析表...
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