超薄HfO2薄膜XRR測試引言隨著晶體管節(jié)點技術的發(fā)展,薄膜厚度越來越薄。比如高-柵介電薄膜HfO2的厚度往往小于2nm。在該技術節(jié)點的a20范圍內(nèi)。超薄膜的均勻性是制備Hf基柵氧化物的主要工藝難題之一。為了控制超薄HfO2薄膜的厚度和密度,XRR是的測量技術。由于具有出色的適應能力,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶,都可簡單快捷、不出錯地對配置進行更改。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設計實現(xiàn)的:配置儀器時,免工具、免準直,同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持。不止如此——布魯克提供基于NIST標樣剛玉(SRM1976)的準直保證。目前,在峰位、強度和分辨率方面,市面上尚無其他粉末衍射儀的精度超過D8ADVANCE。D8 DISCOVER 特點:UMC樣品臺可對重達5 kg的樣品進行掃描、大區(qū)域映射300mm的樣品、高通量篩選支持三個孔板。上海原位分析XRD衍射儀配件

X射線衍射(XRD)和反射率是對薄層結構樣品進行無損表征的重要方法。D8DISCOVER和DIFFRAC.SUITE軟件將有助于您使用常見的XRD方法輕松進行薄膜分析:掠入射衍射(GID):晶相表面靈敏識別及結構性質(zhì)測定,包括微晶尺寸和應變。X射線反射率測量(XRR):用于提取從簡單的基底到高度復雜的超晶格結構等多層樣品的厚度、材料密度和界面結構信息。高分辨率X射線衍射(HRXRD):用于分析外延生長結構:層厚度、應變、弛豫、鑲嵌、混合晶體的成分分析。應力和織構(擇優(yōu)取向)分析。上海原位分析XRD衍射儀配件定性相分析和定量相分析、結構測定和精修、微應變和微晶尺寸分析。

藥物:從藥物發(fā)現(xiàn)到藥物生產(chǎn),D8D為藥品的整個生命周期提供支持,其中包括結構測定、候選材料鑒別、配方定量和非環(huán)境穩(wěn)定性測試。地質(zhì)學:D8D是地質(zhì)構造研究的理想之選。借助μXRD,哪怕是對小的包裹體進行定性相分析和結構測定也不在話下。金屬:在常見的金屬樣品檢測技術中。殘余奧氏體、殘余應力和織構檢測不過是其中的一小部分,檢測目的在于確保終產(chǎn)品復合終用戶的需求。薄膜計量:從微米厚度的涂層到納米厚度的外延膜的樣品都受益于用于評估晶體質(zhì)量、薄膜厚度、成分外延排列和應變松弛的一系列技術。
薄膜和涂層分析采用的原理與XRPD相同,不過進一步提供了光束調(diào)節(jié)和角度控制功能。典型示例包括但不限于相鑒定、晶體質(zhì)量、殘余應力、織構分析、厚度測定以及組分與應變分析。在對薄膜和涂層進行分析時,著重對厚度在nm和μm之間的層狀材料進行特性分析(從非晶和多晶涂層到外延生長薄膜)。D8ADVANCE和DIFFRAC.SUITE軟件可進行以下高質(zhì)量的薄膜分析:掠入射衍射X射線反射法高分辨率X射線衍射倒易空間掃描。由于具有出色的適應能力,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶,都可簡單快捷、不出錯地對配置進行更改。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設計實現(xiàn)的:配置儀器時,免工具、免準直,同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持。從過程開發(fā)到質(zhì)量控制,D8 DISCOVER可以對亞毫米至300mm大小的樣品進行結構表征。

對分布函數(shù)分析對分布函數(shù)(PDF)分析是一種分析技術,它基于Bragg衍射以及漫散射(“總散射”),提供無序材料的結構信息。其中,您可以通過Bragg衍射峰,了解材料的平均晶體結構的信息(即長程有序),通過漫散射,表征其局部結構(即短程有序)。就分析速度、數(shù)據(jù)質(zhì)量以及對非晶、弱晶型、納米晶或納米結構材料的分析結果而言,D8ADVANCE和TOPAS軟件是目前市面上性能較好的PDF分析解決方案:相鑒定結構測定和精修納米粒度和形狀。專為在環(huán)境條件下和非環(huán)境條件下,對從粉末、非晶和多晶材料到外延多層薄膜等各種材料進行結構表征而設計。江西實驗室檢測XRD衍射儀
更換光學期間時,無需工具,亦無需對光,因此您可輕松快速地更改配置。上海原位分析XRD衍射儀配件
X射線粉末衍射(XRPD)技術是重要的材料表征工具之一。粉末衍射圖中的許多信息,直接源于物相的原子排列。在D8ADVANCE和DIFFRAC.SUITE軟件的支持下,您將能簡單地實施常見的XRPD方法:鑒別晶相和非晶相,并測定樣品純度對多相混合物的晶相和非晶相進行定量分析微觀結構分析(微晶尺寸、微應變、無序…)熱處理或加工制造組件產(chǎn)生的大量殘余應力織構(擇優(yōu)取向)分析指標化、從頭晶體結構測定和晶體結構精修,由于具有出色的適應能力,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物。上海原位分析XRD衍射儀配件
不論您的預算如何,D8ADVANCEECO系列都能通過儀器配置為您帶來好的性能。由于降低了對水和電力等資源的需求,其運營成本降低。出色的儀器質(zhì)量為可靠性提供了保證,同時布魯克還為之提供組件質(zhì)量保證。無外部供水成本1kW高效發(fā)生器降低電力成本,無外部冷卻器耗電延長了X射線管的使用壽命X射線管質(zhì)量保證:D8ADVANCEECO可用的所有高亮度X射線源均享有3年保修測角儀質(zhì)量保證:測角儀采用免維護的堅固設計,可為您帶來機械強度和較長的使用壽命,因此能夠為您提供好的數(shù)據(jù)質(zhì)量。其中,布魯克提供10年保修。儀器準直保證探測器質(zhì)量保證在DIFFRAC.LEPTOS中,對多層樣品進行XRR分析,測定其薄膜厚度...