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超薄HfO2薄膜XRR測試引言隨著晶體管節(jié)點技術的發(fā)展,薄膜厚度越來越薄。比如高-柵介電薄膜HfO2的厚度往往小于2nm。在該技術節(jié)點的a20范圍內。超薄膜的均勻性是制備Hf基柵氧化物的主要工藝難題之一。為了控制超薄HfO2薄膜的厚度和密度,XRR是的測量技術。由于具有出色的適應能力,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶,都可簡單快捷、不出錯地對配置進行更改。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設計實現的:配置儀器時,免工具、免準直,同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持。不止如此——布魯克提供基于NIST標樣剛玉(SRM1976)的準直保證。目前,在峰位、強度和分辨率方面,市面上尚無其他粉末衍射儀的精度超過D8ADVANCE??装搴统练e樣品在反射和透射中的高通量篩選。

獲得的TRIO光路簡化了D8ADVANCE的操作,使之適用于多種應用和樣品類型。為便于用戶使用,該系統(tǒng)提供了自動化電動切換功能,可在多達6種不同的光束幾何之間進行自動切換。系統(tǒng)無需人工干預,即可在三個光路之間切換:用于粉末分析的Bragg-Brentano聚焦幾何用于毛細管、GID和XRR的平行光束Kα1,2幾何用于外延薄膜的高分辨率平行光束Kα1幾何它非常適合在環(huán)境條件或非環(huán)境條件下對所有樣品類型進行分析,其中包括粉末、塊狀材料、纖維、片材和薄膜(非晶、多晶和外延)。無論面對何種應用,DIFFRAC.DAVINCI都會指引用戶選擇較好的儀器配置。遼寧BRUKERXRD衍射儀
XRD可研究材料的結構和物理特性,是 重要的材料研究工具之一。廣州購買XRD衍射儀
汽車和航空航天:配備了UMC樣品臺的D8D的一大優(yōu)勢就是可以對大型機械零件進行殘余應力和結構分析以及殘余奧氏體或高溫合金表征。半導體與微電子:從過程開發(fā)到質量控制,D8D可以對亞毫米至300mm大小的樣品進行結構表征。制藥業(yè)篩選:新結構測定以及多晶篩選是藥物開發(fā)的關鍵步驟,對此,D8D具有高通量篩選功能。儲能/電池:使用D8D,您將能在原位循環(huán)條件下測試電池材料,直接了當的獲取不斷變化的儲能材料的晶體結構和相組方面的信息。廣州購買XRD衍射儀
不論您的預算如何,D8ADVANCEECO系列都能通過儀器配置為您帶來好的性能。由于降低了對水和電力等資源的需求,其運營成本降低。出色的儀器質量為可靠性提供了保證,同時布魯克還為之提供組件質量保證。無外部供水成本1kW高效發(fā)生器降低電力成本,無外部冷卻器耗電延長了X射線管的使用壽命X射線管質量保證:D8ADVANCEECO可用的所有高亮度X射線源均享有3年保修測角儀質量保證:測角儀采用免維護的堅固設計,可為您帶來機械強度和較長的使用壽命,因此能夠為您提供好的數據質量。其中,布魯克提供10年保修。儀器準直保證探測器質量保證在DIFFRAC.LEPTOS中,對多層樣品進行XRR分析,測定其薄膜厚度...