在半導(dǎo)體行業(yè),生產(chǎn)環(huán)境(如 Class 1 級潔凈室)和產(chǎn)品(晶圓、芯片、精密部件)對 “零污染、無損傷、超高潔凈度” 的要求堪稱工業(yè)領(lǐng)域**嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)之一??釥柹璱cestorm干冰清洗憑借無殘留、化學(xué)惰性、低溫?zé)o損、適配精密場景等特性,成為解決半導(dǎo)體生產(chǎn)中 “微污染物去除、設(shè)備維護(hù)、產(chǎn)品良率提升” 的關(guān)鍵技術(shù)。其**應(yīng)用場景覆蓋晶圓制造、封裝測試及設(shè)備維護(hù)全流程,具體如下:一、晶圓制造環(huán)節(jié):從光刻到沉積 / 刻蝕的精密清潔晶圓(硅片、化合物半導(dǎo)體晶圓)是半導(dǎo)體的**基材,其表面及生產(chǎn)設(shè)備的潔凈度直接決定芯片的良率(每片晶圓含數(shù)百個芯片,一個微米級雜質(zhì)可能導(dǎo)致整片失效)。干冰清洗在以下關(guān)鍵工序中發(fā)揮不可替代的作用:1. 光刻掩模版(光罩)清潔清潔對象:光刻掩模版(表面鍍鉻層、石英基底)、光罩盒(Pod)。污染問題:光罩是光刻圖案的 “母版”,表面若殘留納米級顆粒(≤0.1μm)、有機(jī)污染物(如光刻膠殘?jiān)?、金屬離子,會導(dǎo)致光刻圖案轉(zhuǎn)移時出現(xiàn)缺陷(如線寬偏差、圖形畸變),直接降低芯片良率。傳統(tǒng)清潔(如兆聲波清洗、化學(xué)濕法清洗)可能引入水分殘留或劃傷鍍鉻層(厚度*數(shù)十納米)。制造業(yè)內(nèi),酷爾森coulson的干冰清洗設(shè)備可在線清洗輪胎注塑模具的樹脂殘留,避免傳統(tǒng)方法導(dǎo)致的精度損失。河北智能干冰清洗銷售
酷爾森環(huán)??萍嫉母杀逑礊樾酒圃鞓I(yè)提供了一種不可替代的、先進(jìn)的清潔解決方案,尤其在高價(jià)值、高精度的半導(dǎo)體制造設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)方面優(yōu)勢突出。其無殘留、非研磨、干燥、可在線操作和環(huán)保的特性,完美契合了半導(dǎo)體行業(yè)對潔凈度、生產(chǎn)效率和環(huán)境友好性的嚴(yán)苛要求。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步(如更精密的顆??刂啤⒏悄艿淖詣踊到y(tǒng)、更好的微?;厥占夹g(shù)),干冰清洗在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的應(yīng)用范圍和重要性將持續(xù)提升,成為維持前列芯片制造良率和設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵技術(shù)之一。封裝與測試環(huán)節(jié):模具、封裝設(shè)備部件: 清潔封裝設(shè)備(如鍵合機(jī)、塑封機(jī))模具表面、頂針、傳送帶等部件上的溢料、脫模劑殘留、環(huán)氧樹脂等。測試插座、探針卡: 去除探針卡、測試插座接觸點(diǎn)上的氧化物、有機(jī)物殘留、助焊劑殘留等,確保良好的電接觸。需要極其精細(xì)的控制以避免損壞精密探針。PCB板/基板預(yù)處理: 在鍵合或組裝前,清潔PCB或基板表面的氧化物、指紋、油脂等輕微污染物。工具與治具清潔:晶圓載具: 清潔用于傳輸和存儲晶圓的卡匣、FOUP/FOSB門、內(nèi)部表面上的微粒、有機(jī)物殘留和靜電吸附的灰塵。重慶無污染干冰清洗聯(lián)系方式干冰清洗技術(shù)憑借其無殘留、低溫?zé)o損、環(huán)保高效等特性,在鋰電池行業(yè)的生產(chǎn)、組裝、維護(hù)中展現(xiàn)出優(yōu)勢。

熱處理設(shè)備清潔:應(yīng)用對象: 熱處理爐(氣氛爐、真空爐、淬火槽)、料盤、工裝夾具、淬火介質(zhì)循環(huán)系統(tǒng)。問題: 爐膛內(nèi)壁、輻射管、馬弗罐上的積碳、油污;料盤和夾具上的氧化皮、淬火鹽殘留、油漬;管道內(nèi)壁結(jié)垢。干冰優(yōu)勢: 有效去除積碳和油污,恢復(fù)爐膛熱效率,保證爐內(nèi)氣氛純凈和溫度均勻性。清潔料盤夾具確保工件定位準(zhǔn)確和熱處理效果。清理管道提高介質(zhì)流動性和熱交換效率。無水無化學(xué)殘留,不影響熱處理工藝。煙氣處理與環(huán)保設(shè)備清潔:應(yīng)用對象: 除塵器濾袋/濾筒、管道、風(fēng)機(jī)葉輪、換熱器、SCR/SNC反應(yīng)器、消白煙設(shè)備。問題: 濾袋/濾筒堵塞;管道和風(fēng)機(jī)葉輪積灰(有時粘性大);換熱器表面結(jié)垢;催化劑模塊堵塞。干冰優(yōu)勢: 在線清潔濾袋/濾筒效果***,延長濾材壽命,維持系統(tǒng)負(fù)壓和通風(fēng)量。高效去除各種粉塵和結(jié)垢,恢復(fù)設(shè)備效率。清潔催化劑模塊保持其活性。無水,避免灰分板結(jié)更難清理。電氣設(shè)備與控制系統(tǒng):應(yīng)用對象: 電機(jī)外殼、控制柜、配電盤、傳感器(高溫計(jì)、測厚儀等)、接線盒。酷爾森環(huán)??萍迹ㄉ虾#┯邢薰镜母杀逑丛O(shè)備可以解決上述問題。
制動系統(tǒng)部件清洗列車制動系統(tǒng)(如制動盤、制動片、制動管路、閘瓦等)在長期運(yùn)行中會積累油污、粉塵、金屬碎屑等,影響制動效果。干冰清洗能精細(xì)去除這些雜質(zhì),且不會劃傷制動盤表面或殘留水分,確保制動系統(tǒng)靈敏可靠,降低安全隱患。4. 車底及走行部部件清潔列車車底、轉(zhuǎn)向架、輪對、軸箱等走行部部件長期暴露在外,易附著油污、鐵軌粉塵、泥土等污染物,可能影響部件潤滑和檢測精度??釥柹璫oulson干冰清洗可在不拆卸的情況下,快速去除表面污垢,便于后續(xù)的探傷檢測(如超聲波檢測、磁粉檢測),確保及時發(fā)現(xiàn)裂紋、磨損等問題。5. 車身及車窗清潔對于列車車身外表面的油污、 graffiti(涂鴉)、氧化層等,干冰清洗可通過低溫沖擊和動能剝離污漬,且不會損傷車漆或玻璃表面,尤其適用于高鐵、動車等對外觀要求較高的車型。此外,車窗密封條縫隙的灰塵也可通過干冰清洗高效去除。6. 電氣控制系統(tǒng)及線路清潔列車的控制柜、繼電器、接觸器、電纜接頭等電氣部件易積累灰塵和油污,可能導(dǎo)致接觸不良或短路。干冰清洗可安全去除這些污染物,且不影響電氣元件的絕緣性能,減少因清潔不當(dāng)導(dǎo)致的電氣故障,保障列車控制系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行??釥柹母杀逑礄C(jī)發(fā)動機(jī)缸體、變速箱等鑄造模具;汽車保險(xiǎn)杠等塑料件涂裝前處理。

干冰清洗作用:采用超細(xì)干冰顆粒(1-3μm) 配合極低壓力(0.05-0.2MPa) 噴射,利用干冰的低溫(-78.5℃)使表面污染物脆化,同時通過壓縮空氣的動能剝離顆粒,且干冰升華后*產(chǎn)生 CO?氣體(惰性,不與光罩材料反應(yīng)),無任何殘留。無需接觸光罩表面,避免機(jī)械劃傷;無水分引入,適配光罩對 “***干燥” 的要求(水分可能導(dǎo)致表面氧化或殘留水漬)。2. 晶圓表面預(yù)處理與中間清潔清潔對象:未加工晶圓(裸片)、沉積 / 刻蝕后的晶圓表面。污染問題:裸片表面可能殘留切割后的硅粉、金屬雜質(zhì)(如 Fe、Cu),影響后續(xù)氧化層(SiO?)生長的均勻性;沉積(CVD/PVD)后,晶圓表面可能附著未反應(yīng)的靶材顆粒(如 Al、Cu);刻蝕(等離子刻蝕)后可能殘留聚合物殘?jiān)ㄈ绶季酆衔铮?,若未去除會?dǎo)致后續(xù)薄膜層間結(jié)合不良。酷爾森icestorm干冰清洗作用:針對裸片:去除表面微米級硅粉和金屬顆粒,且不損傷晶圓表面的原子級平整度(Ra≤0.1nm);針對刻蝕后殘留:利用干冰低溫使聚合物殘?jiān)嗷ň酆衔镌诘蜏叵掠捕忍嵘?3-5 倍),通過精細(xì)噴射壓力(0.1-0.3MPa)剝離,避免傳統(tǒng)等離子清洗可能導(dǎo)致的晶圓表面刻蝕過度。航天發(fā)動機(jī)噴管內(nèi)壁用干冰清洗,除高溫積碳,不損傷噴管耐高溫材料,維持推力。北京氣動干冰清洗銷售
無需拆卸夾具或工裝,可直接在生產(chǎn)線上進(jìn)行清洗,減少停機(jī)時間??赏ㄟ^干冰清洗快速去除,避免設(shè)備故障。河北智能干冰清洗銷售
沉積 / 刻蝕腔體及部件清潔清潔對象:CVD(化學(xué)氣相沉積)腔體、PVD(物***相沉積)靶材、刻蝕機(jī)反應(yīng)室(內(nèi)壁、噴頭、電極)。污染問題:沉積過程中,薄膜材料(如 SiO?、SiN、金屬 Cu/Al)會在腔體壁、靶材邊緣沉積,形成 “結(jié)垢層”,積累到一定厚度會剝落并污染晶圓;刻蝕反應(yīng)室中,等離子體與晶圓反應(yīng)生成的聚合物(如 CF?刻蝕硅產(chǎn)生的 CxFy)會附著在噴頭和電極表面,導(dǎo)致刻蝕速率不均勻。干冰清洗作用:無需拆卸腔體(傳統(tǒng)清潔需拆解,耗時 4-8 小時,且可能引入外界污染),通過酷爾森icestorm干冰顆粒的沖擊和低溫脆化效應(yīng),使結(jié)垢層(硬度較高的陶瓷或金屬薄膜)與腔體基材分離,隨氣流排出。保護(hù)腔體內(nèi)部精密部件(如石英噴頭、金屬電極):控制干冰顆粒尺寸(3-5mm)和壓力(0.3-0.6MPa),可去除靶材邊緣的沉積殘留,同時不損傷靶材表面(靶材精度直接影響沉積薄膜的均勻性)。河北智能干冰清洗銷售