浙江機(jī)械電鍍設(shè)備

全自動(dòng)磷化線

一種用于金屬表面處理的自動(dòng)化生產(chǎn)線，通過化學(xué)磷化工藝在金屬表面形成一層磷酸鹽轉(zhuǎn)化膜，以提升金屬的耐腐蝕性、涂裝附著力和潤滑性能

一、基本概念

1.磷化（Phosphating）是一種化學(xué)表面處理技術(shù)，利用磷酸鹽溶液與金屬（如鋼鐵、鋅、鋁等）發(fā)生反應(yīng)，生成一層致密的磷酸鹽晶體膜（如磷酸鐵、磷酸鋅）

功能：防銹、增強(qiáng)涂層附著力、減少摩擦、延長金屬壽命

2.全自動(dòng)磷化線通過自動(dòng)化設(shè)備實(shí)現(xiàn)磷化工藝全流程無人化操作，覆蓋預(yù)處理、磷化、后處理等環(huán)節(jié)。

二、組成

1.預(yù)處理單元

脫脂槽：去除金屬表面油污

酸洗槽：氧化皮和銹跡

水洗槽：沖洗殘留化學(xué)藥劑

2.磷化處理單元

磷化槽：主反應(yīng)區(qū)，金屬浸泡或噴淋磷化液，生成轉(zhuǎn)化膜

溫度與濃度控制：通過傳感器和自動(dòng)加藥系統(tǒng)維持工藝參數(shù)穩(wěn)定

3.后處理單元

封閉/鈍化槽：增強(qiáng)磷化膜耐腐蝕性

烘干系統(tǒng)：熱風(fēng)或紅外烘干，避免水痕殘留

4.自動(dòng)化系統(tǒng)

輸送裝置：傳送帶、機(jī)械臂或懸掛鏈，精細(xì)控制工件移動(dòng)

PLC控制：集成溫控、液位監(jiān)測、流程時(shí)序管理

數(shù)據(jù)監(jiān)控：實(shí)時(shí)記錄工藝參數(shù)，支持遠(yuǎn)程操作與故障診斷

三、工作流程

上料 → 脫脂 → 水洗 → 酸洗 → 水洗 → 表調(diào)（調(diào)整表面活性）→ 磷化 → 水洗 → 鈍化 → 烘干 → 下料。

模塊化電鍍設(shè)備支持槽體自由組合，可快速切換掛鍍、滾鍍模式，靈活適配多品種小批量生產(chǎn)需求。浙江機(jī)械電鍍設(shè)備

半導(dǎo)體滾鍍設(shè)備

是一種于半導(dǎo)體制造中金屬化工藝的精密設(shè)備，主要用于在半導(dǎo)體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學(xué)或化學(xué)鍍工藝，實(shí)現(xiàn)高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進(jìn)封裝及微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域的特定需求

與傳統(tǒng)滾鍍不同，半導(dǎo)體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導(dǎo)體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導(dǎo)線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴(kuò)散并增強(qiáng)附著力。

三、設(shè)備組成

1.電鍍槽：

材質(zhì)：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環(huán)系統(tǒng)：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質(zhì)

2.旋轉(zhuǎn)載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機(jī)械夾持，確保晶圓平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)

轉(zhuǎn)速控制：通過伺服電機(jī)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，優(yōu)化鍍層均勻性

3.陽極系統(tǒng)：

可溶性/不溶性陽極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽極位置調(diào)節(jié)：控制電場分布，減少邊緣效應(yīng)

4.供液與噴淋系統(tǒng)：

多點(diǎn)噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調(diào)節(jié)鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統(tǒng)：

PLC/工控機(jī)：集成溫度、pH值、電流密度等參數(shù)監(jiān)測與反饋。

配方管理：存儲(chǔ)不同鍍層的工藝參數(shù) 經(jīng)濟(jì)型電鍍設(shè)備設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)集成故障診斷模塊，通過傳感器數(shù)據(jù)預(yù)判過濾機(jī)堵塞、加熱管老化等問題，減少停機(jī)時(shí)間。

電感雙桶式滾鍍設(shè)備

是專為電感類電子元件（如線圈、磁芯、電感器等）設(shè)計(jì)的電鍍加工設(shè)備，其特點(diǎn)是采用雙滾筒結(jié)構(gòu)，結(jié)合滾鍍工藝，以實(shí)現(xiàn)小型電感元件的高效、均勻鍍層處理。

1. 結(jié)構(gòu)與原理

雙滾筒設(shè)計(jì)：兩個(gè)滾筒可同時(shí)或交替運(yùn)行，一桶裝卸時(shí)另一桶持續(xù)工作，減少停機(jī)時(shí)間，提升產(chǎn)能。

滾筒優(yōu)化：采用絕緣耐腐蝕材質(zhì)（如PP），開孔設(shè)計(jì)促進(jìn)鍍液流通，防纏繞結(jié)構(gòu)適配電感元件的細(xì)小特性。

滾鍍工藝：元件在滾筒內(nèi)翻滾，通過電流作用均勻沉積鍍層（如鎳、錫、銀），雙桶可調(diào)控轉(zhuǎn)速、電流等參數(shù)。

2. 優(yōu)勢

高效連續(xù)生產(chǎn)：雙桶交替作業(yè)支持大規(guī)模電鍍，尤其適合貼片電感（SMD）、磁環(huán)等小件批量處理。

鍍層均勻穩(wěn)定：滾筒旋轉(zhuǎn)避免元件堆積死角，結(jié)合陰極導(dǎo)電設(shè)計(jì)，確保復(fù)雜形狀表面鍍覆一致性。

低損傷高適配：柔和翻滾減少碰撞損耗，可適配防腐、可焊、導(dǎo)電等多種鍍層工藝需求。

3. 應(yīng)用與要點(diǎn)

典型場景：貼片電感、繞線電感、磁芯等鍍鎳（抗氧化）、鍍錫（焊接）或鍍銀（高導(dǎo)）處理。

關(guān)鍵注意：需匹配元件尺寸選擇滾筒孔徑，定期維護(hù)鍍液成分及導(dǎo)電觸點(diǎn)，避免漏料或鍍層缺陷。

玻璃鋼離心風(fēng)機(jī)是采用玻璃纖維增強(qiáng)塑料（FRP）制造的離心式通風(fēng)設(shè)備，由玻璃鋼葉輪、機(jī)殼及金屬支架構(gòu)成。工作時(shí)電機(jī)驅(qū)動(dòng)葉輪高速旋轉(zhuǎn)，通過離心力將氣體甩出機(jī)殼，葉輪中心形成負(fù)壓持續(xù)吸入氣體，實(shí)現(xiàn)高效輸送。其特點(diǎn)包括：1. 耐酸堿鹽腐蝕，適用于化工、污水處理等腐蝕性環(huán)境；2. 重量輕強(qiáng)度高，便于運(yùn)輸安裝且結(jié)構(gòu)穩(wěn)定；3. 低噪音設(shè)計(jì)，適合對環(huán)境要求高的場所；4. 可定制化適配不同風(fēng)量風(fēng)壓需求。廣泛應(yīng)用于工業(yè)廢氣處理（如化工廢氣、冶金粉塵）、環(huán)保工程（污水處理廠除臭、垃圾站換氣）及民用通風(fēng)（商場空調(diào)、住宅排油煙）等領(lǐng)域，兼具耐候性與經(jīng)濟(jì)性噴淋式電鍍設(shè)備利用高壓噴頭將電解液均勻噴灑在工件表面，加速離子交換，提高電鍍效率，形狀復(fù)雜的工件。

半導(dǎo)體掛鍍設(shè)備

1.基本原理與結(jié)構(gòu)

掛鍍工藝：晶圓固定在掛具上，浸入電鍍液，通過精細(xì)控制電流、電壓及溶液成分，在表面沉積均勻金屬層。

組件：

電鍍槽：耐腐蝕材質(zhì)，配備溫控、循環(huán)過濾系統(tǒng)，維持鍍液均勻性

掛具與陽極：鈦或鉑金陽極，掛具設(shè)計(jì)適配晶圓尺寸，確保電場分布均勻

自動(dòng)化傳輸：機(jī)械臂自動(dòng)上下料，減少人工污染風(fēng)險(xiǎn)

控制系統(tǒng)：PLC/計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)調(diào)控電流密度、電鍍時(shí)間、pH值等參數(shù)

2. 關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢

高均勻性：通過脈沖電鍍或水平電鍍技術(shù)（如ECP），減少邊緣效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)亞微米級鍍層均勻性

低缺陷率：鍍液雜質(zhì)控制（＜0.1ppm）與膜厚在線監(jiān)測，降低孔洞、結(jié)節(jié)等缺陷

高產(chǎn)能：支持多晶圓并行處理

3. 典型應(yīng)用場景

芯片制造：

銅互連：在邏輯芯片中沉積多層銅導(dǎo)線，替代傳統(tǒng)鋁工藝以降低電阻

TSV填充：為3D封裝提供垂直導(dǎo)電通道，實(shí)現(xiàn)芯片堆疊

先進(jìn)封裝：

凸塊電鍍：在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊，用于Flip-Chip鍵合

RDL（重布線層）：沉積銅層實(shí)現(xiàn)芯片I/O端口的重新布局

總結(jié)

半導(dǎo)體掛鍍設(shè)備通過精密電化學(xué)控制與自動(dòng)化技術(shù)，解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題，是先進(jìn)芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關(guān)聯(lián)芯片的導(dǎo)電性、散熱及良率 電鍍廢水的重金屬回收設(shè)備采用離子交換樹脂，高效吸附鎳、銅離子，實(shí)現(xiàn)資源循環(huán)利用。廣東深圳貴金屬電鍍設(shè)備

掛具設(shè)計(jì)作為電鍍設(shè)備附件，采用導(dǎo)電性能優(yōu)異的銅合金或不銹鋼，減少接觸電阻以保障電流均勻傳導(dǎo)。浙江機(jī)械電鍍設(shè)備

電鍍周邊設(shè)備有哪些？

1.鍍槽：是電鍍加工的設(shè)備，用于盛放電鍍液，為電鍍提供反應(yīng)場所。根據(jù)電鍍工藝和工件的不同，鍍槽的材質(zhì)、形狀和尺寸也各不相同，常見的有聚丙烯、聚四氟乙烯等材質(zhì)制成的鍍槽。

2.整流器：其作用是將交流電轉(zhuǎn)換為直流電，為電鍍過程提供穩(wěn)定的電流。電鍍過程需要精確控制電流的大小和穩(wěn)定性，以確保電鍍層的質(zhì)量和性能。

3.過濾機(jī)：用于過濾電鍍液中的雜質(zhì)、顆粒和懸浮物，保持電鍍液的清潔度。過濾機(jī)通常采用濾芯式或?yàn)V袋式過濾，可根據(jù)電鍍液的性質(zhì)和過濾精度要求選擇不同的過濾材料。

4.加熱和冷卻裝置：加熱裝置通常采用電加熱或蒸汽加熱的方式，而冷卻裝置則多采用冷水機(jī)或冷卻塔進(jìn)行冷卻。

5.攪拌設(shè)備：包括機(jī)械攪拌和空氣攪拌等方式。

6.掛具：用于懸掛和固定待電鍍的工件，使工件能夠在電鍍槽中與電鍍液充分接觸，并保證電流均勻地通過工件。7.行車：主要用于在電鍍車間內(nèi)吊運(yùn)工件、原材料和成品等重物。

8.廢氣處理設(shè)備：電鍍過程中會(huì)產(chǎn)生各種有害氣體，如酸霧、堿霧和重金屬廢氣等。廢氣處理設(shè)備通常采用噴淋塔、活性炭吸附裝置、催化燃燒裝置等，對廢氣進(jìn)行凈化處理，達(dá)標(biāo)后排放。 浙江機(jī)械電鍍設(shè)備