河南全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備

全自動(dòng)磷化線工作流程

1.前處理：晶圓清洗、去氧化層、活化表面。

2.裝載：將晶圓固定于旋轉(zhuǎn)載具，浸入鍍液。

3.電鍍：

施加電流，金屬離子在晶圓表面還原沉積。

旋轉(zhuǎn)載具確保鍍液流動(dòng)均勻，消除厚度差異。

4.后處理：鍍層退火、清洗、干燥。

技術(shù)特點(diǎn)

1.高均勻性：

旋轉(zhuǎn)+噴淋設(shè)計(jì)減少“邊緣增厚”現(xiàn)象，鍍層均勻性達(dá)±5%以內(nèi)。

2.精密控制：電流密度精度：±1 mA/cm2；溫度波動(dòng)：±0.5℃。

3.潔凈度保障：設(shè)備內(nèi)建HEPA過濾系統(tǒng)，滿足Class 1000以下潔凈環(huán)境。

4.高效生產(chǎn)：支持多片晶圓同時(shí)處理（如6片/批次），UPH（每小時(shí)產(chǎn)量）可達(dá)50~100片。

應(yīng)用場(chǎng)景

1.先進(jìn)封裝：2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。

2.功率器件：IGBT、MOSFET背面金屬化（鍍銀、鍍鎳）。

3.傳感器與MEMS：微結(jié)構(gòu)表面鍍金，提升電氣性能與可靠性。 智能電鍍?cè)O(shè)備的云端監(jiān)控平臺(tái)，實(shí)時(shí)采集全生產(chǎn)線數(shù)據(jù)，通過大數(shù)據(jù)分析優(yōu)化工藝參數(shù)與能耗。河南全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備

廢氣處理設(shè)備和電鍍?cè)O(shè)備的關(guān)系

廢氣處理設(shè)備是電鍍?cè)O(shè)備不可或缺的配套設(shè)施，在電鍍生產(chǎn)過程中發(fā)揮著重要作用，具體關(guān)系如下：

保障環(huán)境與人員安全：

電鍍過程中會(huì)產(chǎn)生如酸霧、堿霧、物氣體等有害廢氣。若不進(jìn)行處理，這些廢氣會(huì)彌漫在車間內(nèi)，不僅會(huì)對(duì)操作人員的身體健康造成嚴(yán)重危害。廢氣處理設(shè)備通過收集和凈化這些有害廢氣，能將車間內(nèi)的空氣質(zhì)量維持在安全標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，同時(shí)確保排放到大氣中的廢氣符合環(huán)保要求，從而保護(hù)環(huán)境和人員健康。

保護(hù)電鍍?cè)O(shè)備：

電鍍車間內(nèi)的酸性或堿性廢氣具有腐蝕性，長(zhǎng)期暴露在這些廢氣中，電鍍?cè)O(shè)備如鍍槽、整流器、加熱裝置等的金屬部件會(huì)被腐蝕，導(dǎo)致設(shè)備的使用壽命縮短，維修成本增加。

廢氣處理設(shè)備有效去除有害廢氣，減少對(duì)電鍍?cè)O(shè)備的腐蝕，保障電鍍生產(chǎn)的穩(wěn)定進(jìn)行。

提升電鍍產(chǎn)品質(zhì)量：

如果車間內(nèi)廢氣彌漫，空氣中的灰塵、雜質(zhì)等容易吸附在待鍍工件表面，影響鍍層與工件的結(jié)合力，導(dǎo)致鍍層出現(xiàn)麻點(diǎn)、、起皮等缺陷，降低電鍍產(chǎn)品的質(zhì)量和良品率。廢氣處理設(shè)備有助于保持車間內(nèi)空氣的清潔，減少空氣中雜質(zhì)對(duì)鍍件的污染

滿足環(huán)保合規(guī)要求：

隨著環(huán)保法規(guī)的日益嚴(yán)格，電鍍企業(yè)必須確保其生產(chǎn)過程中的廢氣排放達(dá)到國(guó)家和地方的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

新能源電鍍?cè)O(shè)備配件無氰電鍍?cè)O(shè)備配套活化劑與絡(luò)合劑，替代傳統(tǒng)含氰工藝，在保障鍍層質(zhì)量的同時(shí)提升安全性。

半導(dǎo)體滾鍍?cè)O(shè)備

是一種于半導(dǎo)體制造中金屬化工藝的精密設(shè)備，主要用于在半導(dǎo)體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學(xué)或化學(xué)鍍工藝，實(shí)現(xiàn)高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進(jìn)封裝及微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域的特定需求

與傳統(tǒng)滾鍍不同，半導(dǎo)體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導(dǎo)體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導(dǎo)線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴(kuò)散并增強(qiáng)附著力。

三、設(shè)備組成

1.電鍍槽：

材質(zhì)：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環(huán)系統(tǒng)：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質(zhì)

2.旋轉(zhuǎn)載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機(jī)械夾持，確保晶圓平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)

轉(zhuǎn)速控制：通過伺服電機(jī)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，優(yōu)化鍍層均勻性

3.陽(yáng)極系統(tǒng)：

可溶性/不溶性陽(yáng)極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽(yáng)極位置調(diào)節(jié)：控制電場(chǎng)分布，減少邊緣效應(yīng)

4.供液與噴淋系統(tǒng)：

多點(diǎn)噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調(diào)節(jié)鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統(tǒng)：

PLC/工控機(jī)：集成溫度、pH值、電流密度等參數(shù)監(jiān)測(cè)與反饋。

配方管理：存儲(chǔ)不同鍍層的工藝參數(shù)

陽(yáng)極氧化線的主要組成部分

1. 前處理系統(tǒng)

目的：表面油污、氧化皮和雜質(zhì)，確保氧化膜與基體結(jié)合牢固。

工序：

除油-堿蝕 / 酸洗-多級(jí)水洗

2. 陽(yáng)極氧化處理系統(tǒng)

氧化槽：

材質(zhì)：耐酸堿的 PP、PVC 或玻璃鋼，內(nèi)置陰極板（鉛板、不銹鋼）和導(dǎo)電裝置。

控制裝置：

電源--溫控系統(tǒng)--攪拌系統(tǒng)

電解液類型：

硫酸：常用，成本低，膜透明度高，適合裝飾性氧化（如鋁型材染色）。

草酸：膜硬度高、耐磨性強(qiáng)，用于硬質(zhì)氧化（如航空零件）。

鉻酸：膜層柔軟、孔隙少，適合復(fù)雜工件或疲勞敏感零件（如汽車部件）。

3.后處理系統(tǒng)（功能拓展）

染色（可選）：利用氧化膜的多孔性吸附有機(jī)染料或金屬鹽，實(shí)現(xiàn)顏色定制。

封孔（關(guān)鍵工序）：

熱水封孔：使氧化膜水合生成 Al?O??nH?O，堵塞孔隙，提升耐腐蝕性。

蒸汽封孔：高溫蒸汽加速水合，適合厚膜（如硬質(zhì)氧化）。

化學(xué)封孔：鎳鹽 / 鈷鹽溶液，形成氫氧化物沉淀封孔

干燥：熱風(fēng)循環(huán)或烘箱去除水分，防止封孔后白斑。

4.自動(dòng)化控制系統(tǒng)

輸送設(shè)備：懸掛式鏈條、龍門行車或機(jī)械手，實(shí)現(xiàn)工件在各槽間的自動(dòng)傳輸。

參數(shù)監(jiān)控：PLC 或工業(yè)電腦實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電壓、電流、電解液濃度、溫度、pH 值，自動(dòng)補(bǔ)加藥劑或調(diào)整工藝參數(shù)。 貴金屬電鍍?cè)O(shè)備配備凈化循環(huán)系統(tǒng)，嚴(yán)格把控鍍金液雜質(zhì)含量，滿足芯片鍵合線的超高純度要求。

陽(yáng)極氧化線的典型應(yīng)用場(chǎng)景

1.鋁加工與建筑領(lǐng)域：

建筑鋁型材（門窗、幕墻）的陽(yáng)極氧化 + 染色，提升耐候性和美觀度。

鋁制家具、裝飾件（如拉手、面板）的表面處理。

2.電子與消費(fèi)品：3C 產(chǎn)品外殼（手機(jī)、筆記本電腦）的陽(yáng)極氧化著色，實(shí)現(xiàn)金屬質(zhì)感與輕量化（如蘋果 iPhone 的陽(yáng)極氧化工藝）。鋁電解電容器的陽(yáng)極箔氧化（形成絕緣膜）。

3.機(jī)械與航空航天：鋁合金零件的硬質(zhì)陽(yáng)極氧化（如航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片、液壓部件），增強(qiáng)耐磨和耐溫性（耐溫可達(dá) 150℃以上）。鈦合金醫(yī)用植入物的陽(yáng)極氧化，提升生物相容性。

4.汽車工業(yè)：鋁合金輪轂、發(fā)動(dòng)機(jī)零件的陽(yáng)極氧化，兼顧防腐與散熱。汽車內(nèi)飾件（如換擋旋鈕、裝飾條）的裝飾性氧化處理。

與其他表面處理生產(chǎn)線的對(duì)比

對(duì)比項(xiàng)                               陽(yáng)極氧化線                                 電鍍線                               電泳線                     涂層性質(zhì)               金屬氧化物（與基體一體）              外來金屬 / 合金鍍層              有機(jī)樹脂涂層（非金屬）     結(jié)合力                  化學(xué)鍵結(jié)合（強(qiáng)）                          機(jī)械 / 冶金結(jié)合                  物理吸附 + 化學(xué)鍵結(jié)合   主要材料                鋁、鎂、鈦等輕金屬                 鋼鐵、銅、塑料（導(dǎo)電化后）      金屬、塑料（導(dǎo)電化后） 功能性                  側(cè)重防腐、耐磨、絕緣、裝飾               防腐、導(dǎo)電、貴金屬裝飾         防腐、絕緣、均勻覆蓋 掛具設(shè)計(jì)作為電鍍?cè)O(shè)備附件，采用導(dǎo)電性能優(yōu)異的銅合金或不銹鋼，減少接觸電阻以保障電流均勻傳導(dǎo)。海南全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備

納米鍍層設(shè)備通過超聲攪拌與脈沖電源結(jié)合，制備微米級(jí)致密鍍層，滿足航空航天部件的超高防腐需求。河南全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備

被動(dòng)元器件與電鍍?cè)O(shè)備的應(yīng)用案例：

案例1：MLCC端電極電鍍

           流程：陶瓷燒結(jié)→端面研磨→濺射鎳層→電鍍銅/錫層→激光切割分粒。

          設(shè)備：濺射鍍膜機(jī)+滾鍍線，確保端電極導(dǎo)電性與焊接性。

案例2：薄膜電阻調(diào)阻后電鍍

          流程：氧化鋁基板→濺射鎳鉻電阻膜→激光調(diào)阻→電鍍鎳/錫保護(hù)層。

           作用：電鍍層防止調(diào)阻后的敏感膜層氧化，并提升端面焊接性能。

案例3：功率電感引腳鍍錫

           流程：磁芯繞線→引腳焊接→電鍍純錫→熱風(fēng)整平。

          目標(biāo)：降低接觸電阻，適應(yīng)大電流場(chǎng)景。 河南全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備