深圳全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備

半導(dǎo)體滾鍍?cè)O(shè)備

是一種于半導(dǎo)體制造中金屬化工藝的精密設(shè)備，主要用于在半導(dǎo)體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學(xué)或化學(xué)鍍工藝，實(shí)現(xiàn)高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進(jìn)封裝及微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域的特定需求

與傳統(tǒng)滾鍍不同，半導(dǎo)體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導(dǎo)體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導(dǎo)線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴(kuò)散并增強(qiáng)附著力。

三、設(shè)備組成

1.電鍍槽：

材質(zhì)：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環(huán)系統(tǒng)：維持鍍液成分均勻，過濾顆粒雜質(zhì)

2.旋轉(zhuǎn)載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機(jī)械夾持，確保晶圓平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)

轉(zhuǎn)速控制：通過伺服電機(jī)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，優(yōu)化鍍層均勻性

3.陽極系統(tǒng)：

可溶性/不溶性陽極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽極位置調(diào)節(jié)：控制電場(chǎng)分布，減少邊緣效應(yīng)

4.供液與噴淋系統(tǒng)：

多點(diǎn)噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調(diào)節(jié)鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統(tǒng)：

PLC/工控機(jī)：集成溫度、pH值、電流密度等參數(shù)監(jiān)測(cè)與反饋。

配方管理：存儲(chǔ)不同鍍層的工藝參數(shù) 環(huán)保型電鍍?cè)O(shè)備的廢氣收集系統(tǒng)采用蜂窩狀活性炭吸附塔，深度處理酸霧廢氣，確保排放達(dá)標(biāo)。深圳全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備

電鍍?cè)O(shè)備是通過電解反應(yīng)在物體表面沉積金屬層的裝置，用于形成保護(hù)性或功能性涂層。

其系統(tǒng)包括：

1.電解電源：提供0-24V直流電，電流可達(dá)數(shù)千安培，適配不同鍍種需求；

2.電解槽：耐腐蝕材質(zhì)（如PP/PVDF），雙層防漏設(shè)計(jì)，容積0.5-10m3；

3.電極系統(tǒng)：陽極采用可溶性金屬或不溶性鈦籃，陰極掛具定制設(shè)計(jì)，確保接觸電阻＜0.1Ω；

4.控制系統(tǒng)：精細(xì)溫控（±1℃）、pH監(jiān)測(cè)（±0.1）及鍍層厚度管理。

設(shè)備分類：

掛鍍線：精密件加工，厚度均勻性±5%；

滾鍍系統(tǒng)：小件批量處理，效率3-8㎡/h；

連續(xù)電鍍線：帶材/線材高速生產(chǎn)，產(chǎn)能達(dá)30㎡/h；

選擇性電鍍：數(shù)控噴射，局部鍍層精度±3%。

技術(shù)前沿：

脈沖電鍍：納米晶結(jié)構(gòu)（晶粒＜50nm），孔隙率降低60%；

復(fù)合電鍍：添加納米顆粒（SiC/Al?O?），硬度達(dá)HV1200；智能化：機(jī)器視覺定位（±0.1mm），大數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)優(yōu)化工藝。

環(huán)保與應(yīng)用：閉路水循環(huán)（回用率＞90%）及重金屬回收技術(shù)；汽車（耐鹽霧＞720h）、PCB（微孔鍍銅偏差＜8%）、航空航天（耐溫800℃）等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。設(shè)備正向高精度、低能耗、智能化發(fā)展，納米電鍍等新技術(shù)持續(xù)突破工藝極限。選型需結(jié)合基材特性、鍍層需求及成本綜合考量。 深圳電子元器件電鍍?cè)O(shè)備攪拌設(shè)備通過空氣鼓泡或機(jī)械槳葉驅(qū)動(dòng)電解液流動(dòng)，避免濃度分層，提升鍍層均勻性與沉積效率。

電泳生產(chǎn)線與電鍍生產(chǎn)線的區(qū)別

對(duì)比項(xiàng)                                      電泳生產(chǎn)線                                                  電鍍生產(chǎn)線

原理                                      涂料粒子電泳沉積（有機(jī)涂層）             金屬離子電解沉積（金屬鍍層）

涂層材料                               水性樹脂涂料（有機(jī)物）                       金屬或合金（如鋅、鎳、鉻、金等）      主要功能                           防腐、裝飾、絕緣（非金屬涂層）             防腐、裝飾、導(dǎo)電、耐磨（金屬鍍層）    工件導(dǎo)電性                         金屬工件直接導(dǎo)電；塑料需導(dǎo)電處理           必須導(dǎo)電（金屬或?qū)щ娀幚淼姆墙饘伲┑湫蛻?yīng)用                                      汽車底漆、家電外殼                             五金電鍍、電子元件鍍貴金屬

總結(jié)

電泳生產(chǎn)線是通過電場(chǎng)作用實(shí)現(xiàn)高效、均勻涂裝的自動(dòng)化設(shè)備，優(yōu)勢(shì)在于環(huán)保、高防腐性和復(fù)雜工件適應(yīng)性，廣泛應(yīng)用于汽車、家電等對(duì)涂層質(zhì)量要求高的領(lǐng)域。其工藝流程涵蓋前處理、電泳涂裝、后處理及自動(dòng)化控制，是現(xiàn)代工業(yè)規(guī)?；a(chǎn)的重要組成部分。

滾鍍機(jī)的應(yīng)用場(chǎng)景：

滾鍍機(jī)決定生產(chǎn)線的適用工件類型滾

1.鍍機(jī)適用的工件特征

尺寸：直徑通常＜50mm，如螺絲、螺母、彈簧、電子連接器、小五金件。

形狀：規(guī)則或輕微不規(guī)則（避免卡孔或纏繞，影響滾筒旋轉(zhuǎn)）。

批量：適合萬件級(jí)以上的大批量生產(chǎn)（如標(biāo)準(zhǔn)件電鍍），小批量生產(chǎn)時(shí)滾鍍機(jī)效率優(yōu)勢(shì)下降。

2.對(duì)電鍍生產(chǎn)線的適配性

若生產(chǎn)線以滾鍍機(jī)為鍍槽設(shè)備，則整體設(shè)計(jì)圍繞 “小件批量處理” 優(yōu)化：

前處理槽體深度、寬度適配滾筒尺寸；

傳輸裝置采用適合滾筒吊裝的懸掛鏈或龍門架；

電源功率匹配滾筒內(nèi)工件總表面積（電流需均勻分布）。

反之，若生產(chǎn)線以掛鍍?yōu)橹鳎ㄈ缙嚺浼?、裝飾件），則鍍槽、傳輸系統(tǒng)設(shè)計(jì)完全不同，體現(xiàn) “定制化生產(chǎn)線” 特性。 廢氣處理設(shè)備配套槽邊吸氣罩與洗滌塔，中和電鍍過程中揮發(fā)的酸堿廢氣，符合環(huán)保排放要求。

除油超聲波清洗機(jī)設(shè)備特點(diǎn)：槽體設(shè)計(jì)為全不銹鋼結(jié)構(gòu)，整體美觀大方，采用SUS304/316L不銹鋼板成型，堅(jiān)固耐用。功能完善，安裝簡(jiǎn)單方便，易操作，安全可靠。采用質(zhì)量換能器和獨(dú)特發(fā)生器，超聲強(qiáng)勁有力，搭配日本震頭，確保清洗力強(qiáng)且經(jīng)久耐用。配備自動(dòng)溫控加熱裝置，溫控范圍為室溫～100℃。超聲波槽體與發(fā)生器分體，功率、時(shí)間可調(diào)，使用及保養(yǎng)便捷。超聲波頻率可選：28KHZ、40KHZ、68KHZ、80KHZ、120KHZ、135KHZ等。支持按客戶需求定制規(guī)格尺寸。適用行業(yè)：五金、電鍍、鐘表、眼鏡、玻璃、光電、電子等多行業(yè)的除油除蠟污垢場(chǎng)景。連續(xù)鍍?cè)O(shè)備針對(duì)鋼帶、銅線等帶狀材料，通過自動(dòng)化傳輸實(shí)現(xiàn)高速電鍍，常見于電子線路板鍍錫。環(huán)保型電鍍?cè)O(shè)備供應(yīng)商

設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)集成故障診斷模塊，通過傳感器數(shù)據(jù)預(yù)判過濾機(jī)堵塞、加熱管老化等問題，減少停機(jī)時(shí)間。深圳全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備

電鍍自動(dòng)線是通過自動(dòng)化設(shè)備實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)的電鍍系統(tǒng)，主要類型及特點(diǎn)如下：

主流自動(dòng)線類型

1.龍門式自動(dòng)線

結(jié)構(gòu)：多工位龍門機(jī)械手驅(qū)動(dòng)，PLC控制

特點(diǎn)：精度高（±0.1mm），適用于精密件（如汽車部件、電子接插件）

產(chǎn)能：?jiǎn)尉€日處理量可達(dá)5000-10000件

2.環(huán)形垂直升降線

結(jié)構(gòu)：環(huán)形軌道+升降機(jī)，連續(xù)循環(huán)作業(yè)

特點(diǎn)：節(jié)拍快（20-40秒/掛），適合中小型工件（如五金件、衛(wèi)浴配件）

優(yōu)勢(shì)：占地小，能耗低（節(jié)電30%以上）

3.滾鍍自動(dòng)線

結(jié)構(gòu)：六角滾筒+變頻驅(qū)動(dòng)，批量處理小型零件（螺絲、紐扣）

參數(shù)：滾筒轉(zhuǎn)速3-10rpm，裝載量50-200kg/批

鍍層均勻性：±15%，效率達(dá)8㎡/h

4.連續(xù)電鍍線

類型：帶材/線材電鍍（如PCB銅箔、銅線）

技術(shù)：張力控制+多槽串聯(lián)，速度可達(dá)10-30m/min

精度：鍍層厚度偏差＜5%

5.機(jī)器人電鍍線

配置：六軸機(jī)器人+視覺定位

系統(tǒng)應(yīng)用：復(fù)雜曲面工件（汽車輪轂、航空部件）

優(yōu)勢(shì)：柔性生產(chǎn)，支持多品種切換

應(yīng)用領(lǐng)域

汽車：鍍鋅螺栓、輪轂鍍鉻

電子：PCB微孔鍍銅、連接器鍍金

五金：衛(wèi)浴配件鍍鎳、鎖具鍍鋅 深圳全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備