上海電鍍?cè)O(shè)備供應(yīng)商

半導(dǎo)體掛鍍?cè)O(shè)備

1.基本原理與結(jié)構(gòu)

掛鍍工藝：晶圓固定在掛具上，浸入電鍍液，通過(guò)精細(xì)控制電流、電壓及溶液成分，在表面沉積均勻金屬層。

組件：

電鍍槽：耐腐蝕材質(zhì)，配備溫控、循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)，維持鍍液均勻性

掛具與陽(yáng)極：鈦或鉑金陽(yáng)極，掛具設(shè)計(jì)適配晶圓尺寸，確保電場(chǎng)分布均勻

自動(dòng)化傳輸：機(jī)械臂自動(dòng)上下料，減少人工污染風(fēng)險(xiǎn)

控制系統(tǒng)：PLC/計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)調(diào)控電流密度、電鍍時(shí)間、pH值等參數(shù)

2. 關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢(shì)

高均勻性：通過(guò)脈沖電鍍或水平電鍍技術(shù)（如ECP），減少邊緣效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)鍍層均勻性

低缺陷率：鍍液雜質(zhì)控制（＜0.1ppm）與膜厚在線監(jiān)測(cè)，降低孔洞、結(jié)節(jié)等缺陷

高產(chǎn)能：支持多晶圓并行處理

3. 典型應(yīng)用場(chǎng)景

芯片制造：

銅互連：在邏輯芯片中沉積多層銅導(dǎo)線，替代傳統(tǒng)鋁工藝以降低電阻

TSV填充：為3D封裝提供垂直導(dǎo)電通道，實(shí)現(xiàn)芯片堆疊

先進(jìn)封裝：

凸塊電鍍：在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊，用于Flip-Chip鍵合

RDL（重布線層）：沉積銅層實(shí)現(xiàn)芯片I/O端口的重新布局

總結(jié)

半導(dǎo)體掛鍍?cè)O(shè)備通過(guò)精密電化學(xué)控制與自動(dòng)化技術(shù)，解決了納米級(jí)金屬沉積的均勻性與可靠性難題，是先進(jìn)芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關(guān)聯(lián)芯片的導(dǎo)電性、散熱及良率 滾鍍?cè)O(shè)備采用帶孔滾筒裝載小工件，旋轉(zhuǎn)翻滾中完成電鍍，高效處理螺絲、電子元件等批量小件。上海電鍍?cè)O(shè)備供應(yīng)商

電泳生產(chǎn)線與電鍍生產(chǎn)線的區(qū)別

對(duì)比項(xiàng)                                      電泳生產(chǎn)線                                                  電鍍生產(chǎn)線

原理                                      涂料粒子電泳沉積（有機(jī)涂層）             金屬離子電解沉積（金屬鍍層）

涂層材料                               水性樹(shù)脂涂料（有機(jī)物）                       金屬或合金（如鋅、鎳、鉻、金等）      主要功能                           防腐、裝飾、絕緣（非金屬涂層）             防腐、裝飾、導(dǎo)電、耐磨（金屬鍍層）    工件導(dǎo)電性                         金屬工件直接導(dǎo)電；塑料需導(dǎo)電處理           必須導(dǎo)電（金屬或?qū)щ娀幚淼姆墙饘伲┑湫蛻?yīng)用                                      汽車底漆、家電外殼                             五金電鍍、電子元件鍍貴金屬

總結(jié)

電泳生產(chǎn)線是通過(guò)電場(chǎng)作用實(shí)現(xiàn)高效、均勻涂裝的自動(dòng)化設(shè)備，優(yōu)勢(shì)在于環(huán)保、高防腐性和復(fù)雜工件適應(yīng)性，廣泛應(yīng)用于汽車、家電等對(duì)涂層質(zhì)量要求高的領(lǐng)域。其工藝流程涵蓋前處理、電泳涂裝、后處理及自動(dòng)化控制，是現(xiàn)代工業(yè)規(guī)?；a(chǎn)的重要組成部分。 湖南高速電鍍?cè)O(shè)備電鍍槽體的防腐內(nèi)襯采用聚四氟乙烯（PTFE），耐受強(qiáng)酸堿與高溫，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命 30% 以上。

半導(dǎo)體滾鍍?cè)O(shè)備

是一種于半導(dǎo)體制造中金屬化工藝的精密設(shè)備，主要用于在半導(dǎo)體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過(guò)可控的電化學(xué)或化學(xué)鍍工藝，實(shí)現(xiàn)高精度、高一致性的金屬覆蓋，滿足集成電路封裝、先進(jìn)封裝及微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域的特定需求

與傳統(tǒng)滾鍍不同，半導(dǎo)體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導(dǎo)體材料的兼容性。

二、功能

1.金屬互連：在晶圓上形成銅導(dǎo)線。

2.凸塊制備：沉積錫、銅、金等材料，用于芯片與基板的電氣連接。

3.阻擋層/種子層鍍覆：鍍鈦、鉭等材料，防止金屬擴(kuò)散并增強(qiáng)附著力。

三、設(shè)備組成

1.電鍍槽：

材質(zhì)：耐腐蝕材料，避免污染鍍液

鍍液循環(huán)系統(tǒng)：維持鍍液成分均勻，過(guò)濾顆粒雜質(zhì)

2.旋轉(zhuǎn)載具：

晶圓固定裝置：真空吸附或機(jī)械夾持，確保晶圓平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)

轉(zhuǎn)速控制：通過(guò)伺服電機(jī)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，優(yōu)化鍍層均勻性

3.陽(yáng)極系統(tǒng)：

可溶性/不溶性陽(yáng)極：銅、鉑等材料，依鍍層需求選擇

陽(yáng)極位置調(diào)節(jié)：控制電場(chǎng)分布，減少邊緣效應(yīng)

4.供液與噴淋系統(tǒng)：

多點(diǎn)噴淋頭：均勻分配鍍液至晶圓表面，避免氣泡滯留

流量控制：精確調(diào)節(jié)鍍液流速，匹配不同工藝需求

5.控制系統(tǒng)：

PLC/工控機(jī)：集成溫度、pH值、電流密度等參數(shù)監(jiān)測(cè)與反饋。

配方管理：存儲(chǔ)不同鍍層的工藝參數(shù)

陽(yáng)極氧化線的特點(diǎn)

1.膜層與基體一體化：氧化膜為金屬自身氧化物，結(jié)合力遠(yuǎn)超電鍍或噴涂的外來(lái)涂層，不易脫落。

2.功能可定制化：

防腐：致密膜層隔絕腐蝕介質(zhì)，鋁陽(yáng)極氧化膜耐鹽霧可達(dá) 500 小時(shí)以上。

耐磨：硬質(zhì)陽(yáng)極氧化膜（厚度 50~200μm）硬度接近陶瓷，適用于活塞、齒輪等機(jī)械部件。

裝飾：通過(guò)染色或電解著色實(shí)現(xiàn)多樣化外觀（如手機(jī)殼、建筑鋁型材）。

絕緣 / 散熱：高電阻率膜層用于電器絕緣，多孔結(jié)構(gòu)可提升散熱效率（如 LED 燈具）。

3.環(huán)保特性：傳統(tǒng)鉻酸工藝含重金屬，需配套廢水處理；現(xiàn)代主流為硫酸陽(yáng)極氧化 + 無(wú)鉻封孔，環(huán)保性提升。4.材料適應(yīng)性：主要針對(duì)鋁、鎂、鈦等輕金屬，鋼鐵等材料因氧化膜疏松少用。 陽(yáng)極裝置分可溶性（如鋅板、銅板）與不溶性（如鉛板），維持電解液金屬離子濃度，保障電鍍反應(yīng)持續(xù)穩(wěn)定。

志成達(dá)設(shè)計(jì)研發(fā)的滾掛一體電鍍實(shí)驗(yàn)設(shè)備鍍液的選擇：

1.鍍銅液方面

酸性鍍銅液導(dǎo)電性強(qiáng)、分散性佳，能快速鍍厚銅，常用于電子元件底層鍍銅；

堿性鍍銅液穩(wěn)定性好，腐蝕性小，所得銅層結(jié)晶細(xì)、結(jié)合力強(qiáng)，適用于鋼鐵基體打底。

2.鍍鎳液

瓦特鎳鍍液成分簡(jiǎn)單、易維護(hù)，鍍層光亮耐磨，在防護(hù)裝飾性電鍍中廣泛應(yīng)用；

氨基磺酸鎳鍍液分散與深鍍能力優(yōu)，鍍層內(nèi)應(yīng)力低、延展性好，多用于對(duì)鍍層質(zhì)量要求高的電子、航天領(lǐng)域。

3.鍍鋅液里

堿性鍍鋅液陰極極化作用強(qiáng)，鋅層耐腐蝕性好；

酸性鍍鋅液電流效率高、沉積快，外觀光亮，不過(guò)腐蝕性強(qiáng)。

4.鍍金液

有物鍍金液，鍍層均勻光亮、硬度高；

無(wú)氰鍍金液則更環(huán)保。

5.鍍銀液

物鍍銀液電鍍性能好，鍍層導(dǎo)電導(dǎo)熱優(yōu)；

硫代硫酸鹽鍍銀液毒性小、更環(huán)保。選擇鍍液要綜合零件材質(zhì)、形狀、使用環(huán)境及實(shí)驗(yàn)?zāi)康牡?，兼顧成本與環(huán)保。

總結(jié)：

在選擇鍍液時(shí)，需要根據(jù)待鍍零件的材質(zhì)、形狀、尺寸、使用環(huán)境以及實(shí)驗(yàn)?zāi)康牡纫蛩剡M(jìn)行綜合考慮，同時(shí)還需考慮鍍液的成本、環(huán)保性和操作難度等因素。 廢水處理設(shè)備分類收集含鉻、鎳等廢水，經(jīng)化學(xué)沉淀、離子交換處理，確保重金屬達(dá)標(biāo)排放。湖南高速電鍍?cè)O(shè)備

廢氣處理設(shè)備配套槽邊吸氣罩與洗滌塔，中和電鍍過(guò)程中揮發(fā)的酸堿廢氣，符合環(huán)保排放要求。上海電鍍?cè)O(shè)備供應(yīng)商

精密電子元件叁筒滾鍍線

一、設(shè)備概述:

適用于電鍍鋅、鍍鎳、鍍錫、鍍鉻、鍍銅、鍍鎘等有色金屬；鍍金、鍍銀等貴重金屬的精密電鍍。

降低孔隙率，晶核的形成速度大于成長(zhǎng)速度，促使晶核細(xì)化。

改善結(jié)合力，使鈍化膜擊穿，有利于基體與鍍層之間牢固的結(jié)合。

改善覆蓋能力和分散能力，高的陰極負(fù)電位使普通電鍍中鈍化的部位也能沉積，掛鍍生產(chǎn)線設(shè)備，減緩形態(tài)復(fù)雜零件的突出部位由于沉積離子過(guò)度消耗而帶來(lái)的“燒焦”“樹(shù)枝狀”沉積的缺陷，對(duì)于獲得一個(gè)給定特性鍍層的厚度可減少到原來(lái)1/3~1/2，節(jié)省原材料。

降低鍍層的內(nèi)應(yīng)力，改善晶格缺陷、雜質(zhì)、空洞、瘤子等，容易得到無(wú)裂紋的鍍層，減少添加劑。

有利于獲得成份穩(wěn)定的合金鍍層。

改善陽(yáng)極的溶解，不需陽(yáng)極活化劑。

改進(jìn)鍍層的機(jī)械物理性能，如提高密度，降低表面電阻和體電阻，提高韌性、耐磨性、抗蝕性，而且可以控制鍍層硬度。 上海電鍍?cè)O(shè)備供應(yīng)商

傳統(tǒng)的電鍍抑制副作用的產(chǎn)生、改善電流分布、調(diào)節(jié)液相傳質(zhì)過(guò)程、控制結(jié)晶取向顯得毫無(wú)作用，面對(duì)絡(luò)合劑和添加劑的研究，成了電鍍工藝研究的主要方向。納米開(kāi)關(guān)電源解決了傳統(tǒng)整流器存在的缺陷。提高產(chǎn)品成品率、產(chǎn)品質(zhì)量。這些產(chǎn)品可適用于電鍍、電子、化工、氧化著色等行業(yè)。