脈沖電鍍設(shè)備生產(chǎn)線

半導(dǎo)體掛鍍設(shè)備

1.基本原理與結(jié)構(gòu)

掛鍍工藝：晶圓固定在掛具上，浸入電鍍液，通過精細(xì)控制電流、電壓及溶液成分，在表面沉積均勻金屬層。

組件：

電鍍槽：耐腐蝕材質(zhì)，配備溫控、循環(huán)過濾系統(tǒng)，維持鍍液均勻性

掛具與陽極：鈦或鉑金陽極，掛具設(shè)計適配晶圓尺寸，確保電場分布均勻

自動化傳輸：機(jī)械臂自動上下料，減少人工污染風(fēng)險

控制系統(tǒng)：PLC/計算機(jī)實時調(diào)控電流密度、電鍍時間、pH值等參數(shù)

2. 關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢

高均勻性：通過脈沖電鍍或水平電鍍技術(shù)（如ECP），減少邊緣效應(yīng)，實現(xiàn)亞微米級鍍層均勻性

低缺陷率：鍍液雜質(zhì)控制（＜0.1ppm）與膜厚在線監(jiān)測，降低孔洞、結(jié)節(jié)等缺陷

高產(chǎn)能：支持多晶圓并行處理

3. 典型應(yīng)用場景

芯片制造：

銅互連：在邏輯芯片中沉積多層銅導(dǎo)線，替代傳統(tǒng)鋁工藝以降低電阻

TSV填充：為3D封裝提供垂直導(dǎo)電通道，實現(xiàn)芯片堆疊

先進(jìn)封裝：

凸塊電鍍：在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊，用于Flip-Chip鍵合

RDL（重布線層）：沉積銅層實現(xiàn)芯片I/O端口的重新布局

總結(jié)

半導(dǎo)體掛鍍設(shè)備通過精密電化學(xué)控制與自動化技術(shù)，解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題，是先進(jìn)芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關(guān)聯(lián)芯片的導(dǎo)電性、散熱及良率 后處理電鍍設(shè)備包含鈍化槽與干燥箱，前者增強(qiáng)鍍層耐腐蝕性，后者快速去除水分防止白斑。脈沖電鍍設(shè)備生產(chǎn)線

電鍍滾鍍機(jī)與電鍍生產(chǎn)線的關(guān)系

從屬關(guān)系：滾鍍機(jī)是電鍍生產(chǎn)線的執(zhí)行設(shè)備之一

1.電鍍生產(chǎn)線的系統(tǒng)構(gòu)成

電鍍生產(chǎn)線是涵蓋前處理（除油、酸洗）→電鍍處理（鍍槽設(shè)備）→后處理（清洗、鈍化、干燥）→自動化控制的完整流程系統(tǒng)，目標(biāo)是通過電化學(xué)原理在工件表面沉積金屬鍍層（如鍍鋅、鎳、銅、鉻等）。

關(guān)鍵設(shè)備包括：鍍槽（如滾鍍機(jī)、掛鍍槽、連續(xù)鍍設(shè)備）、電源、過濾循環(huán)系統(tǒng)、加熱/冷卻裝置、傳輸裝置（如行車、鏈條）等。

2.滾鍍機(jī)的定位

滾鍍機(jī)是電鍍處理環(huán)節(jié)中用于批量小件電鍍的鍍槽設(shè)備，屬于電鍍生產(chǎn)線的“執(zhí)行單元”，主要解決小尺寸、大批量工件（如螺絲、電子元件、五金件）的高效電鍍問題。與掛鍍機(jī)（適用于大件或精密件，單個懸掛電鍍）、籃鍍（半手工操作，適用于中等尺寸工件）共同構(gòu)成電鍍生產(chǎn)線的不同鍍槽類型。 浙江電鍍設(shè)備供應(yīng)商溫控設(shè)備集成加熱管與冷水機(jī)，準(zhǔn)確調(diào)節(jié)鍍液溫度（如鍍硬鉻需 50-60℃），確保電化學(xué)反映在好的區(qū)間進(jìn)行。

全自動龍門電鍍生產(chǎn)線控制箱

是電鍍自動化生產(chǎn)系統(tǒng)的控制單元，主要用于協(xié)調(diào)龍門機(jī)械手、電鍍槽、電源系統(tǒng)、液位/溫度傳感器等設(shè)備的運行，確保電鍍工藝精細(xì)執(zhí)行。

特性說明:主要電器采用西門子及三菱PLC、歐姆龍、富士電器等品牌，每一臺行車可自動、半自動轉(zhuǎn)換，開放式自由程序選擇，智能控制管理，在電腦和人機(jī)界面觸摸屏對數(shù)據(jù)實時處理及進(jìn)行有效監(jiān)控，設(shè)計科學(xué)合理、緊湊、自動化程度高；用于ABS塑料、汽車、五金、電子、衛(wèi)浴、燈飾家電等行業(yè)

如何選擇滾鍍機(jī)

一、零件特性：從形狀到材質(zhì)的精細(xì)適配

1. 形狀復(fù)雜度

規(guī)則件--（如螺絲、螺母）：優(yōu)先選擇臥式滾鍍機(jī)，六棱柱滾筒設(shè)計（開孔率 20%-40%）可實現(xiàn)零件均勻翻滾，鍍層均勻性達(dá) 95% 以上

精密件--（如半導(dǎo)體引線框架）：采用振動電鍍機(jī)，通過電磁振動（振幅 0.1-2mm）減少零件碰撞，鍍層厚度偏差≤±5μm，孔隙率可降至 0.4 個 /cm2 以下。

復(fù)雜件--（如帶盲孔的航空零件）：離心滾鍍機(jī)（轉(zhuǎn)速 50-200rpm）利用離心力強(qiáng)化鍍液滲透，鍍層致密性提升 30%，適合功能性鍍層（如鍍硬鉻）。

2. 材質(zhì)與尺寸

脆性材料（如陶瓷、玻璃）：選擇傾斜式滾筒，降低翻滾沖擊力，避免零件破損。

微型零件（如電子元件）：精密微型滾鍍機(jī)（滾筒容量≤5L）適配，菱形網(wǎng)孔（開孔率＞45%）和螺旋導(dǎo)流板設(shè)計確保鍍層均勻，孔隙率＜0.1%10。

大型零件（如汽車輪轂）：需定制非標(biāo)臥式滾鍍機(jī)，單槽負(fù)載可達(dá) 50kg，配合變頻調(diào)速（0.5-15rpm）實現(xiàn)鍍層厚度可控。

二、鍍層工藝：從基礎(chǔ)防護(hù)到功能

1. 鍍層類型

防護(hù)性鍍層（鍍鋅、鎳）：

鍍鋅：適合電子元件。

鍍鎳：用于衛(wèi)浴五金

功能性鍍層（硬鉻、貴金屬）：

硬鉻：需搭配三價鉻工藝（毒性降低 96%）。

鍍金 / 銀：需選擇磁耦合驅(qū)動設(shè)備，防止鍍液泄漏。 無氰鍍鋅設(shè)備使用鋅酸鹽絡(luò)合劑替代。

龍門式自動線通過龍門機(jī)械手（橫跨電鍍槽上方的移動框架）和懸掛系統(tǒng)，將工件按預(yù)設(shè)程序在不同工藝槽（如除油、電鍍、水洗等）間自動轉(zhuǎn)移，全程由PLC（可編程邏輯控制器）控制，實現(xiàn)無人化連續(xù)生產(chǎn)。

組成

1.龍門機(jī)械

手采用伺服電機(jī)驅(qū)動，雙立柱+橫梁結(jié)構(gòu)，負(fù)載能力可達(dá)200-1000kg行程精度：±0.1mm（機(jī)型可達(dá)±0.05mm）移動速度：水平0.5-2m/s，升降0.2-0.5m/s

2.軌道系統(tǒng)

精密導(dǎo)軌+齒輪齒條傳動，支持多工位并行作業(yè)防腐蝕設(shè)計（不銹鋼或鍍層保護(hù)），適應(yīng)酸堿環(huán)境

3.掛具系統(tǒng)

定制化夾具，適配不同工件形狀（如支架、吊籃）導(dǎo)電觸點采用銀/銅復(fù)合材料，接觸電阻＜0.05Ω

4.控制系統(tǒng)

PLC+觸摸屏（HMI），預(yù)設(shè)上百種工藝配方實時監(jiān)控電流、溫度、pH值，數(shù)據(jù)存儲追溯

刷鍍設(shè)備通過手持導(dǎo)電筆局部涂覆電解液，適用于機(jī)械零件磨損修復(fù)或特殊形狀工件的局部電鍍。脈沖電鍍設(shè)備生產(chǎn)線

陽極裝置分可溶性（如鋅板、銅板）與不溶性（如鉛板），維持電解液金屬離子濃度，保障電鍍反應(yīng)持續(xù)穩(wěn)定。脈沖電鍍設(shè)備生產(chǎn)線

陽極氧化線的主要組成部分

1. 前處理系統(tǒng)

目的：表面油污、氧化皮和雜質(zhì)，確保氧化膜與基體結(jié)合牢固。

工序：

除油-堿蝕 / 酸洗-多級水洗

2. 陽極氧化處理系統(tǒng)

氧化槽：

材質(zhì)：耐酸堿的 PP、PVC 或玻璃鋼，內(nèi)置陰極板（鉛板、不銹鋼）和導(dǎo)電裝置。

控制裝置：

電源--溫控系統(tǒng)--攪拌系統(tǒng)

電解液類型：

硫酸：常用，成本低，膜透明度高，適合裝飾性氧化（如鋁型材染色）。

草酸：膜硬度高、耐磨性強(qiáng)，用于硬質(zhì)氧化（如航空零件）。

鉻酸：膜層柔軟、孔隙少，適合復(fù)雜工件或疲勞敏感零件（如汽車部件）。

3.后處理系統(tǒng)（功能拓展）

染色（可選）：利用氧化膜的多孔性吸附有機(jī)染料或金屬鹽，實現(xiàn)顏色定制。

封孔（關(guān)鍵工序）：

熱水封孔：使氧化膜水合生成 Al?O??nH?O，堵塞孔隙，提升耐腐蝕性。

蒸汽封孔：高溫蒸汽加速水合，適合厚膜（如硬質(zhì)氧化）。

化學(xué)封孔：鎳鹽 / 鈷鹽溶液，形成氫氧化物沉淀封孔

干燥：熱風(fēng)循環(huán)或烘箱去除水分，防止封孔后白斑。

4.自動化控制系統(tǒng)

輸送設(shè)備：懸掛式鏈條、龍門行車或機(jī)械手，實現(xiàn)工件在各槽間的自動傳輸。

參數(shù)監(jiān)控：PLC 或工業(yè)電腦實時監(jiān)測電壓、電流、電解液濃度、溫度、pH 值，自動補加藥劑或調(diào)整工藝參數(shù)。 脈沖電鍍設(shè)備生產(chǎn)線