廣東深圳高速電鍍設(shè)備

半導(dǎo)體掛鍍設(shè)備

1.基本原理與結(jié)構(gòu)

掛鍍工藝：晶圓固定在掛具上，浸入電鍍液，通過精細(xì)控制電流、電壓及溶液成分，在表面沉積均勻金屬層。

組件：

電鍍槽：耐腐蝕材質(zhì)，配備溫控、循環(huán)過濾系統(tǒng)，維持鍍液均勻性

掛具與陽極：鈦或鉑金陽極，掛具設(shè)計適配晶圓尺寸，確保電場分布均勻

自動化傳輸：機(jī)械臂自動上下料，減少人工污染風(fēng)險

控制系統(tǒng)：PLC/計算機(jī)實時調(diào)控電流密度、電鍍時間、pH值等參數(shù)

2. 關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢

高均勻性：通過脈沖電鍍或水平電鍍技術(shù)（如ECP），減少邊緣效應(yīng)，實現(xiàn)亞微米級鍍層均勻性

低缺陷率：鍍液雜質(zhì)控制（＜0.1ppm）與膜厚在線監(jiān)測，降低孔洞、結(jié)節(jié)等缺陷

高產(chǎn)能：支持多晶圓并行處理

3. 典型應(yīng)用場景

芯片制造：

銅互連：在邏輯芯片中沉積多層銅導(dǎo)線，替代傳統(tǒng)鋁工藝以降低電阻

TSV填充：為3D封裝提供垂直導(dǎo)電通道，實現(xiàn)芯片堆疊

先進(jìn)封裝：

凸塊電鍍：在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊，用于Flip-Chip鍵合

RDL（重布線層）：沉積銅層實現(xiàn)芯片I/O端口的重新布局

總結(jié)

半導(dǎo)體掛鍍設(shè)備通過精密電化學(xué)控制與自動化技術(shù)，解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題，是先進(jìn)芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關(guān)聯(lián)芯片的導(dǎo)電性、散熱及良率 節(jié)能型電鍍設(shè)備集成高頻開關(guān)電源，相比傳統(tǒng)硅整流電源省電 30% 以上，降低企業(yè)生產(chǎn)成本。廣東深圳高速電鍍設(shè)備

陽極氧化線的主要組成部分

1. 前處理系統(tǒng)

目的：表面油污、氧化皮和雜質(zhì)，確保氧化膜與基體結(jié)合牢固。

工序：

除油-堿蝕 / 酸洗-多級水洗

2. 陽極氧化處理系統(tǒng)

氧化槽：

材質(zhì)：耐酸堿的 PP、PVC 或玻璃鋼，內(nèi)置陰極板（鉛板、不銹鋼）和導(dǎo)電裝置。

控制裝置：

電源--溫控系統(tǒng)--攪拌系統(tǒng)

電解液類型：

硫酸：常用，成本低，膜透明度高，適合裝飾性氧化（如鋁型材染色）。

草酸：膜硬度高、耐磨性強(qiáng)，用于硬質(zhì)氧化（如航空零件）。

鉻酸：膜層柔軟、孔隙少，適合復(fù)雜工件或疲勞敏感零件（如汽車部件）。

3.后處理系統(tǒng)（功能拓展）

染色（可選）：利用氧化膜的多孔性吸附有機(jī)染料或金屬鹽，實現(xiàn)顏色定制。

封孔（關(guān)鍵工序）：

熱水封孔：使氧化膜水合生成 Al?O??nH?O，堵塞孔隙，提升耐腐蝕性。

蒸汽封孔：高溫蒸汽加速水合，適合厚膜（如硬質(zhì)氧化）。

化學(xué)封孔：鎳鹽 / 鈷鹽溶液，形成氫氧化物沉淀封孔

干燥：熱風(fēng)循環(huán)或烘箱去除水分，防止封孔后白斑。

4.自動化控制系統(tǒng)

輸送設(shè)備：懸掛式鏈條、龍門行車或機(jī)械手，實現(xiàn)工件在各槽間的自動傳輸。

參數(shù)監(jiān)控：PLC 或工業(yè)電腦實時監(jiān)測電壓、電流、電解液濃度、溫度、pH 值，自動補(bǔ)加藥劑或調(diào)整工藝參數(shù)。 廣東深圳高速電鍍設(shè)備納米鍍層設(shè)備通過超聲攪拌與脈沖電源結(jié)合，制備微米級致密鍍層，滿足航空航天部件的超高防腐需求。

深圳市志成達(dá)電鍍設(shè)備有限公司提供的PP電鍍藥水存儲桶，專為電鍍液藥水存儲場景設(shè)計，

優(yōu)勢：材質(zhì)可靠且定制靈活：桶體以PP板為原料，憑借其優(yōu)異的耐酸堿腐蝕性與化學(xué)穩(wěn)定性，有效抵御電鍍藥水侵蝕，延長使用壽命。同時支持按客戶需求定制規(guī)格，無論是容量、形狀還是結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，均可精細(xì)匹配個性化使用場景。結(jié)構(gòu)設(shè)計實用安全：采用全密封式構(gòu)造，能杜絕藥水揮發(fā)、污染或泄漏風(fēng)險，保障存儲環(huán)境安全穩(wěn)定；桶面配備開蓋，便于日常檢查、維護(hù)與藥水取用；創(chuàng)新融入自動加藥水功能，減少人工頻繁操作，提升使用便捷性，優(yōu)化電鍍生產(chǎn)流程。該存儲桶將材質(zhì)優(yōu)勢、定制化服務(wù)與人性化結(jié)構(gòu)設(shè)計結(jié)合，為電鍍行業(yè)提供安全、高效、便捷的藥水存儲解決方案，助力提升生產(chǎn)管理效率。

電鍍設(shè)備是通過電解反應(yīng)在物體表面沉積金屬層的裝置，用于形成保護(hù)性或功能性涂層。

其系統(tǒng)包括：

電解電源：提供0-24V直流電，電流可達(dá)數(shù)千安培，適配不同鍍種需求；

電解槽：耐腐蝕材質(zhì)（如PP/PVDF），雙層防漏設(shè)計，容積0.5-10m3；

電極系統(tǒng)：陽極采用可溶性金屬或不溶性鈦籃，陰極掛具定制設(shè)計，確保接觸電阻＜0.1Ω；

控制系統(tǒng)：精細(xì)溫控（±1℃）、pH監(jiān)測（±0.1）及鍍層厚度管理。

設(shè)備分類：

掛鍍線：精密件加工，厚度均勻性±5%；

滾鍍系統(tǒng)：小件批量處理，效率3-8㎡/h；

連續(xù)電鍍線：帶材/線材高速生產(chǎn)，產(chǎn)能達(dá)30㎡/h；

選擇性電鍍：數(shù)控噴射，局部鍍層精度±3%。 貴金屬電鍍設(shè)備配備高精度電源與凈化系統(tǒng)，嚴(yán)格控制金、銀鍍層純度，滿足珠寶及電子芯片的高要求。

電泳生產(chǎn)線的特點

1.高效均勻

涂層厚度可控（通常 5~30μm），且無論工件形狀多復(fù)雜（如內(nèi)腔、焊縫），均可通過電場均勻覆蓋，尤其適合結(jié)構(gòu)復(fù)雜的工件（如汽車車身）。

2.環(huán)保節(jié)能

電泳漆以水為溶劑，VOC（揮發(fā)性有機(jī)物）排放低，符合環(huán)保要求；電能和涂料利用率高，浪費少。

3.高防腐性

陰極電泳涂層具有優(yōu)異的耐腐蝕性，是汽車車身防腐的工藝（如汽車底漆耐鹽霧測試可達(dá) 1000 小時以上）。

4.自動化程度高

從工件上線到涂層固化全流程自動化，減少人工干預(yù)，提高生產(chǎn)效率和一致性。

5.適用范圍廣

適合批量生產(chǎn)，工件材質(zhì)包括金屬（鋼鐵、鋁、鋅合金等）、塑料（需導(dǎo)電處理）等。 噴淋式電鍍設(shè)備利用高壓噴頭將電解液均勻噴灑在工件表面，加速離子交換，提高電鍍效率，形狀復(fù)雜的工件。湖南定制化電鍍設(shè)備

硬質(zhì)陽極氧化設(shè)備集成低溫制冷系統(tǒng)，控制電解液溫度在 0-10℃，生成厚度超 100μm 的耐磨膜層。廣東深圳高速電鍍設(shè)備

滾鍍機(jī)的工作原理

將小工件裝入帶孔的滾筒（聚氯乙烯或不銹鋼材質(zhì)），滾筒浸入電解液后緩慢旋轉(zhuǎn)（5~15 轉(zhuǎn) / 分鐘），通過滾筒壁的孔洞使電解液流通，同時工件在滾筒內(nèi)翻滾，確保鍍層均勻附著。

優(yōu)勢：

高效率：單次可處理數(shù)千件小工件，產(chǎn)能遠(yuǎn)超掛鍍（適合單件或少量）。

低成本：減少人工掛卸成本，滾筒導(dǎo)電桿統(tǒng)一通電，能耗相對較低。

均勻性：工件在滾筒內(nèi)動態(tài)接觸電解液，避免屏蔽效應(yīng)（掛鍍中工件相互遮擋導(dǎo)致鍍層不均）。

與生產(chǎn)線其他環(huán)節(jié)的配合

前處理：需先通過除油、酸洗去除工件表面油污和氧化皮，否則影響鍍層結(jié)合力（滾鍍機(jī)不具備前處理功能，依賴生產(chǎn)線前段設(shè)備）。

后處理：滾鍍完成后，工件隨滾筒吊出，進(jìn)入水洗槽、鈍化槽或封閉槽（如鍍鋅后的藍(lán)白鈍化），終干燥（生產(chǎn)線后段設(shè)備完成）。

自動化控制：滾鍍機(jī)的轉(zhuǎn)速、電鍍時間、電流電壓等參數(shù)由生產(chǎn)線 PLC 系統(tǒng)統(tǒng)一控制，與傳輸裝置（如行車）聯(lián)動，實現(xiàn) “上料→前處理→滾鍍→后處理→下料” 全流程自動化。 廣東深圳高速電鍍設(shè)備