廣東深圳全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備

龍門(mén)式自動(dòng)線通過(guò)龍門(mén)機(jī)械手（橫跨電鍍槽上方的移動(dòng)框架）和懸掛系統(tǒng)，將工件按預(yù)設(shè)程序在不同工藝槽（如除油、電鍍、水洗等）間自動(dòng)轉(zhuǎn)移，全程由PLC（可編程邏輯控制器）控制，實(shí)現(xiàn)無(wú)人化連續(xù)生產(chǎn)。

組成

1.龍門(mén)機(jī)械

手采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，雙立柱+橫梁結(jié)構(gòu)，負(fù)載能力可達(dá)200-1000kg行程精度：±0.1mm（機(jī)型可達(dá)±0.05mm）移動(dòng)速度：水平0.5-2m/s，升降0.2-0.5m/s

2.軌道系統(tǒng)

精密導(dǎo)軌+齒輪齒條傳動(dòng)，支持多工位并行作業(yè)防腐蝕設(shè)計(jì)（不銹鋼或鍍層保護(hù)），適應(yīng)酸堿環(huán)境

3.掛具系統(tǒng)

定制化夾具，適配不同工件形狀（如支架、吊籃）導(dǎo)電觸點(diǎn)采用銀/銅復(fù)合材料，接觸電阻＜0.05Ω

4.控制系統(tǒng)

PLC+觸摸屏（HMI），預(yù)設(shè)上百種工藝配方實(shí)時(shí)監(jiān)控電流、溫度、pH值，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)追溯

連續(xù)鍍?cè)O(shè)備針對(duì)鋼帶、銅線等帶狀材料，通過(guò)自動(dòng)化傳輸實(shí)現(xiàn)高速電鍍，常見(jiàn)于電子線路板鍍錫。廣東深圳全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備

半導(dǎo)體掛鍍?cè)O(shè)備

1.基本原理與結(jié)構(gòu)

掛鍍工藝：晶圓固定在掛具上，浸入電鍍液，通過(guò)精細(xì)控制電流、電壓及溶液成分，在表面沉積均勻金屬層。

組件：

電鍍槽：耐腐蝕材質(zhì)，配備溫控、循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)，維持鍍液均勻性

掛具與陽(yáng)極：鈦或鉑金陽(yáng)極，掛具設(shè)計(jì)適配晶圓尺寸，確保電場(chǎng)分布均勻

自動(dòng)化傳輸：機(jī)械臂自動(dòng)上下料，減少人工污染風(fēng)險(xiǎn)

控制系統(tǒng)：PLC/計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)調(diào)控電流密度、電鍍時(shí)間、pH值等參數(shù)

2. 關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢(shì)

高均勻性：通過(guò)脈沖電鍍或水平電鍍技術(shù)（如ECP），減少邊緣效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)鍍層均勻性

低缺陷率：鍍液雜質(zhì)控制（＜0.1ppm）與膜厚在線監(jiān)測(cè)，降低孔洞、結(jié)節(jié)等缺陷

高產(chǎn)能：支持多晶圓并行處理

3. 典型應(yīng)用場(chǎng)景

芯片制造：

銅互連：在邏輯芯片中沉積多層銅導(dǎo)線，替代傳統(tǒng)鋁工藝以降低電阻

TSV填充：為3D封裝提供垂直導(dǎo)電通道，實(shí)現(xiàn)芯片堆疊

先進(jìn)封裝：

凸塊電鍍：在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊，用于Flip-Chip鍵合

RDL（重布線層）：沉積銅層實(shí)現(xiàn)芯片I/O端口的重新布局

總結(jié)

半導(dǎo)體掛鍍?cè)O(shè)備通過(guò)精密電化學(xué)控制與自動(dòng)化技術(shù)，解決了納米級(jí)金屬沉積的均勻性與可靠性難題，是先進(jìn)芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關(guān)聯(lián)芯片的導(dǎo)電性、散熱及良率 連續(xù)電鍍?cè)O(shè)備定做價(jià)格自動(dòng)化電鍍?cè)O(shè)備集成 PLC 控制系統(tǒng)，聯(lián)動(dòng)傳輸裝置實(shí)現(xiàn)工序時(shí)間、電壓參數(shù)準(zhǔn)確控制，提升效率。

被動(dòng)元器件與電鍍?cè)O(shè)備的應(yīng)用案例：

案例1：MLCC端電極電鍍

           流程：陶瓷燒結(jié)→端面研磨→濺射鎳層→電鍍銅/錫層→激光切割分粒。

          設(shè)備：濺射鍍膜機(jī)+滾鍍線，確保端電極導(dǎo)電性與焊接性。

案例2：薄膜電阻調(diào)阻后電鍍

          流程：氧化鋁基板→濺射鎳鉻電阻膜→激光調(diào)阻→電鍍鎳/錫保護(hù)層。

           作用：電鍍層防止調(diào)阻后的敏感膜層氧化，并提升端面焊接性能。

案例3：功率電感引腳鍍錫

           流程：磁芯繞線→引腳焊接→電鍍純錫→熱風(fēng)整平。

          目標(biāo)：降低接觸電阻，適應(yīng)大電流場(chǎng)景。

半導(dǎo)體滾鍍與傳統(tǒng)滾鍍的區(qū)別：

 對(duì)比項(xiàng)                              傳統(tǒng)滾鍍                                          半導(dǎo)體滾鍍                                                對(duì)象                     小型金屬零件（螺絲、紐扣等）               晶圓、芯片、微型半導(dǎo)體元件                               精度                               微米級(jí)                                             納米級(jí)（≤100nm）                                       潔凈度                          普通工業(yè)環(huán)境                                         無(wú)塵室（Class100~1000）                         工藝控制                    電流/時(shí)間粗調(diào)                                       實(shí)時(shí)閉環(huán)控制（電流、流量、溫度）               鍍液類型                      酸性/堿性鍍液                                      高純度鍍液（低雜質(zhì)）

發(fā)展趨勢(shì)：

大尺寸晶圓兼容：適配12英寸（300mm）晶圓，向18英寸過(guò)渡。環(huán)保鍍液：無(wú)物、低毒配方，減少?gòu)U水處理壓力。智能化集成：AI工藝優(yōu)化：通過(guò)機(jī)器學(xué)習(xí)預(yù)測(cè)鍍層缺陷。與CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）、PVD設(shè)備聯(lián)動(dòng)，形成全自動(dòng)金屬化產(chǎn)線

總結(jié)：

半導(dǎo)體滾鍍?cè)O(shè)備是封裝與芯片制造的關(guān)鍵裝備，通過(guò)精密旋轉(zhuǎn)與鍍液控制，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)金屬鍍層的均勻沉積。其技術(shù)在于潔凈環(huán)境下的高精度工藝控制 節(jié)能型電鍍?cè)O(shè)備集成高頻開(kāi)關(guān)電源，相比傳統(tǒng)硅整流電源省電 30% 以上，降低企業(yè)生產(chǎn)成本。

電鍍廢氣處理抽風(fēng)設(shè)備分類：

按工作原理及結(jié)構(gòu)分類：

離心風(fēng)機(jī)：風(fēng)壓高、風(fēng)量較大，適用于需要克服較大阻力

軸流風(fēng)機(jī)：具有風(fēng)量大、風(fēng)壓低的特點(diǎn)。適合在對(duì)通風(fēng)量需求大、阻力較小的環(huán)境

屋頂風(fēng)機(jī)：安裝于電鍍車間屋頂，可直接將車間內(nèi)廢氣排至室外。其優(yōu)點(diǎn)是不占室內(nèi)空間，安裝簡(jiǎn)便

防爆風(fēng)機(jī)：針對(duì)電鍍廢氣含易燃易爆氣體（如有機(jī)溶劑揮發(fā)氣）的情況設(shè)計(jì)，采用特殊防爆結(jié)構(gòu)與材料，防止運(yùn)行中產(chǎn)生電火花引發(fā)炸掉，保障生產(chǎn)安全

按材質(zhì)及防腐特性分類

玻璃鋼風(fēng)機(jī)：處理電鍍過(guò)程中產(chǎn)生的強(qiáng)腐蝕性酸堿廢氣，且質(zhì)量較輕、強(qiáng)度較高、使用壽命長(zhǎng)

不銹鋼風(fēng)機(jī)：用于對(duì)耐腐蝕有一定要求且廢氣中顆粒物磨損性較強(qiáng)的電鍍廢氣抽取

防腐涂層或特殊防腐工藝處理的普通金屬風(fēng)機(jī)：抽風(fēng)設(shè)備搭配集氣罩、通風(fēng)管道等部件，組成完整的抽風(fēng)系統(tǒng)，將電鍍廢氣高效收集并輸送至后續(xù)處理設(shè)備，如酸霧凈化塔、活性炭吸附裝置等。

電鍍廢氣處理抽風(fēng)設(shè)備的組成：

自動(dòng)線線外連接抽風(fēng)系統(tǒng)

PP抽風(fēng)管連接，抽風(fēng)連接口采用方形變通連接室外抽風(fēng)系統(tǒng)

可根據(jù)不同種類廢氣和不同排放量以及現(xiàn)場(chǎng)情形適當(dāng)設(shè)計(jì)制，并負(fù)責(zé)安裝調(diào)試，抽風(fēng)效果好

適用于氧化、電鍍、涂裝、印刷等行業(yè)多種堿性、有毒氣體抽排（退掛、除銹等）

環(huán)保型電鍍?cè)O(shè)備的廢氣收集系統(tǒng)采用蜂窩狀活性炭吸附塔，深度處理酸霧廢氣，確保排放達(dá)標(biāo)。廣東深圳全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備

滾鍍?cè)O(shè)備采用帶孔滾筒裝載小工件，旋轉(zhuǎn)翻滾中完成電鍍，高效處理螺絲、電子元件等批量小件。廣東深圳全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備

陽(yáng)極氧化線的主要組成部分

1. 前處理系統(tǒng)

目的：表面油污、氧化皮和雜質(zhì)，確保氧化膜與基體結(jié)合牢固。

工序：

除油-堿蝕 / 酸洗-多級(jí)水洗

2. 陽(yáng)極氧化處理系統(tǒng)

氧化槽：

材質(zhì)：耐酸堿的 PP、PVC 或玻璃鋼，內(nèi)置陰極板（鉛板、不銹鋼）和導(dǎo)電裝置。

控制裝置：

電源--溫控系統(tǒng)--攪拌系統(tǒng)

電解液類型：

硫酸：常用，成本低，膜透明度高，適合裝飾性氧化（如鋁型材染色）。

草酸：膜硬度高、耐磨性強(qiáng)，用于硬質(zhì)氧化（如航空零件）。

鉻酸：膜層柔軟、孔隙少，適合復(fù)雜工件或疲勞敏感零件（如汽車部件）。

3.后處理系統(tǒng)（功能拓展）

染色（可選）：利用氧化膜的多孔性吸附有機(jī)染料或金屬鹽，實(shí)現(xiàn)顏色定制。

封孔（關(guān)鍵工序）：

熱水封孔：使氧化膜水合生成 Al?O??nH?O，堵塞孔隙，提升耐腐蝕性。

蒸汽封孔：高溫蒸汽加速水合，適合厚膜（如硬質(zhì)氧化）。

化學(xué)封孔：鎳鹽 / 鈷鹽溶液，形成氫氧化物沉淀封孔

干燥：熱風(fēng)循環(huán)或烘箱去除水分，防止封孔后白斑。

4.自動(dòng)化控制系統(tǒng)

輸送設(shè)備：懸掛式鏈條、龍門(mén)行車或機(jī)械手，實(shí)現(xiàn)工件在各槽間的自動(dòng)傳輸。

參數(shù)監(jiān)控：PLC 或工業(yè)電腦實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電壓、電流、電解液濃度、溫度、pH 值，自動(dòng)補(bǔ)加藥劑或調(diào)整工藝參數(shù)。 廣東深圳全自動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備