針對(duì)高分子、生物聚合物等有機(jī)功能材料的薄膜制備需求,我們提供專業(yè)的基質(zhì)輔助脈沖激光沉積(MAPLE)系統(tǒng)。與傳統(tǒng)PLD技術(shù)使用高能量密度激光直接燒蝕靶材不同,MAPLE技術(shù)將目標(biāo)高分子材料溶解或分散于一種揮發(fā)性溶劑中,冷凍形成靶材。激光脈沖主要作用于冷凍溶劑靶材,使其升華并將包裹其中的高分子材料以溫和的方式“噴射”到基板上。這種“軟著陸”沉積模式有效避免了高能激光對(duì)高分子鏈結(jié)構(gòu)的破壞,能夠完整保留其化學(xué)結(jié)構(gòu)和生物活性,非常適合用于制備生物傳感器、有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)的功能層、藥物緩釋涂層以及各種柔性電子器件中的聚合物薄膜。該 PLD 系統(tǒng)可用于半導(dǎo)體材料 ZnO、GaN 的外延生長(zhǎng),助力微電子領(lǐng)域研究。高分子鍍膜外延系統(tǒng)端口

全自動(dòng)分子束外延生長(zhǎng)系統(tǒng)集成了先進(jìn)的計(jì)算機(jī)控制與傳感技術(shù),將薄膜生長(zhǎng)過程從高度依賴操作者經(jīng)驗(yàn)的“藝術(shù)”轉(zhuǎn)變?yōu)楦叨瓤芍貜?fù)的“科學(xué)”。通過集成多種原位監(jiān)測(cè)探頭,如RHEED、四極質(zhì)譜儀(QMS)和束流源爐溫控制器,系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)采集生長(zhǎng)參數(shù)。用戶預(yù)設(shè)的生長(zhǎng)配方可以精確控制每一個(gè)生長(zhǎng)步驟:從快門的開閉時(shí)序、各種源爐的溫度與蒸發(fā)速率,到基板的溫度與轉(zhuǎn)速。這種全自動(dòng)化的控制不僅極大地提高了實(shí)驗(yàn)結(jié)果的重復(fù)性和可靠性,也使得復(fù)雜的超晶格、異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)時(shí)間、大規(guī)模生長(zhǎng)成為可能,解放了研究人員的生產(chǎn)力。旋轉(zhuǎn)基片臺(tái)外延系統(tǒng)監(jiān)控百葉窗控制蒸發(fā)源啟閉,避免交叉污染。

在啟動(dòng)設(shè)備前,需要進(jìn)行一系列嚴(yán)謹(jǐn)細(xì)致的檢查工作,以確保設(shè)備能夠正常運(yùn)行并保證實(shí)驗(yàn)的順利進(jìn)行。首先是真空系統(tǒng)的檢查,要確認(rèn)真空泵油位是否在正??潭确秶鷥?nèi),這直接關(guān)系到真空泵的抽吸能力,若油位過低可能導(dǎo)致真空泵無法正常工作,影響真空環(huán)境的建立。查看真空管道是否連接緊密,有無松動(dòng)或破損跡象,防止空氣泄漏影響真空度。檢查真空計(jì)是否正常顯示,它是監(jiān)測(cè)真空度的關(guān)鍵儀表,若顯示異常將無法準(zhǔn)確判斷真空環(huán)境狀態(tài)。
接著檢查氣源,確保氣體鋼瓶的閥門關(guān)閉嚴(yán)密,防止氣體泄漏造成安全隱患。查看氣體管道是否有彎折、堵塞情況,保證氣體輸送順暢。還要確認(rèn)氣體流量計(jì)的準(zhǔn)確性,以便精確控制氣體流量。電源檢查也不容忽視,檢查設(shè)備的電源線連接是否牢固,有無破損或短路現(xiàn)象。查看電源開關(guān)是否正常,各電氣部件的指示燈是否亮起,判斷設(shè)備的供電是否正常。
設(shè)備對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境有著嚴(yán)格的要求,為滿足這些環(huán)境要求,需采取相應(yīng)保障措施。安裝空調(diào)系統(tǒng),精確控制實(shí)驗(yàn)室的溫度和濕度。空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)具備溫度和濕度自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,能夠根據(jù)設(shè)定的參數(shù)自動(dòng)調(diào)整制冷、制熱和除濕量,確保實(shí)驗(yàn)室環(huán)境穩(wěn)定。配備空氣凈化設(shè)備,如高效空氣過濾器(HEPA),過濾空氣中的微小顆粒,提高實(shí)驗(yàn)室的潔凈度??諝鈨艋O(shè)備應(yīng)定期更換過濾器,保證其過濾效果。實(shí)驗(yàn)室的地面和墻面應(yīng)采用不易積塵、易于清潔的材料,如環(huán)氧地坪漆和潔凈板。地面要做好防靜電處理,可鋪設(shè)防靜電地板,減少靜電對(duì)設(shè)備的影響。日常維護(hù)需定期清潔超高真空成膜室內(nèi)表面,保持電解拋光效果。

操作過程中的安全防護(hù)非常重要。激光安全是重中之重,系統(tǒng)必須配備互鎖裝置,確保在打開激光防護(hù)罩時(shí)激光器自動(dòng)關(guān)閉,防止高能激光對(duì)人員眼睛和皮膚造成長(zhǎng)久性傷害。所有操作人員必須接受激光安全培訓(xùn)并佩戴相應(yīng)的防護(hù)眼鏡。此外,高壓電器(如加熱器電源、RHEED電源)也存在電擊風(fēng)險(xiǎn),必須確保所有接地可靠,并在進(jìn)行任何內(nèi)部檢查前確認(rèn)設(shè)備完全斷電。
氣體使用的安全規(guī)范不容忽視。系統(tǒng)配備的兩路質(zhì)量流量計(jì)用于精確控制反應(yīng)氣體(如氧氣)或惰性氣體(如氬氣)。在使用氧氣等助燃?xì)怏w時(shí),必須確保氣路連接牢固無泄漏,并遠(yuǎn)離任何潛在的油污和熱源。特別是在進(jìn)行較高氧氣壓力下的沉積時(shí),需明確了解鉑金加熱器等元件在特定壓力下的較高安全工作溫度,防止因過熱而損壞。所有氣瓶應(yīng)妥善固定,并放置在通風(fēng)良好的區(qū)域。 該 PLD 系統(tǒng)可滿足 1-2 英寸靶材使用需求,適配多種實(shí)驗(yàn)場(chǎng)景。小型分子束外延系統(tǒng)分子泵
樣品支架兼容性強(qiáng),支持10毫米至4英寸基片。高分子鍍膜外延系統(tǒng)端口
實(shí)驗(yàn)室場(chǎng)地規(guī)劃是系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行的基礎(chǔ)。首先需要預(yù)留足夠的空間,不僅包括設(shè)備主機(jī)的大小,還需考慮激光器、電控柜、水泵等其它設(shè)備的擺放,以及四周留出至少80厘米的維護(hù)通道。地面要求平整堅(jiān)固,能夠承受設(shè)備重量(通常超過一噸)并減少振動(dòng)。環(huán)境方面,實(shí)驗(yàn)室應(yīng)保持潔凈、恒溫恒濕(如溫度23±2°C,濕度<50%),避免灰塵污染和溫度波動(dòng)對(duì)真空系統(tǒng)及精密光學(xué)部件造成不良影響。基礎(chǔ)設(shè)施配套必須提前規(guī)劃。電力方面,系統(tǒng)需要大功率、穩(wěn)定的三相和單相交流電,建議配備適合的線路和穩(wěn)壓器,并確保有良好的接地。冷卻水是另一個(gè)關(guān)鍵,需要為激光器、分子泵和部分電源配備閉路循環(huán)冷卻水系統(tǒng),該系統(tǒng)的水需是去離子水,以防止結(jié)垢和腐蝕。此外,根據(jù)所使用的氣體(如氧氣、氬氣),需要規(guī)劃好氣瓶間或集中供氣系統(tǒng)的管路,并將其安全地引至設(shè)備位置。高分子鍍膜外延系統(tǒng)端口
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當(dāng)出現(xiàn)故障時(shí),可按照一定的方法和步驟進(jìn)行排查。首先進(jìn)行硬件連接檢查,查看真空管道、電源線、信號(hào)線等連... [詳情]
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