金屬表面處理真空鍍膜真空閥門無法正常開關怎么辦？

廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-23

金屬表面處理真空鍍膜真空閥門無法正常開關，多由機械卡滯、驅(qū)動失效或密封污染引起。首先切換到手動模式，用扭力扳手測試閥板是否卡死，若扭矩>5 N·m，需停泵放氣后拆閥，密封圈粉塵、膜層碎屑，并涂抹氟素潤滑脂。其次檢查電磁閥或氣缸驅(qū)動：確認壓縮空氣≥0.4 MPa，線圈電阻在允許偏差±5 %內(nèi)，氣缸拉桿無彎曲；若PLC無輸出，則替換繼電器或重刷程序。再次驗證真空度，當腔室壓力>1 Pa時，差壓會使閥板壓緊無法提升，應先充氮至常壓再操作。復位校準限位開關，確保開/關到位信號反饋正常，即可恢復金屬表面處理真空閥門可靠動作，保障金屬表面處理生產(chǎn)節(jié)拍與膜層質(zhì)量。

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