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新巴頓（上海）軸承銷售有限公司2025-06-10
我們始終以嚴謹?shù)膽B(tài)度對待半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)要求。以下從技術(shù)適配性、認證體系、應(yīng)用驗證三個維度，客觀闡述我司軸承在潔凈室環(huán)境中的合規(guī)性與性能表現(xiàn)：
材料與工藝的潔凈室適配性
半導(dǎo)體制造對潔凈度的要求通常達到 ISO 14644-1 Class 5 級（每立方米≥0.5μm 顆粒數(shù)≤3520 個）。巴頓軸承通過材料創(chuàng)新與工藝優(yōu)化實現(xiàn)深度適配：
低顆粒釋放設(shè)計
主體材料：套圈與滾動體采用真空熔煉不銹鋼（如 17-4PH）或氮化硅陶瓷（Si?N?），表面粗糙度控制在 Ra≤0.2μm，減少摩擦磨損產(chǎn)生的金屬 / 陶瓷碎屑。例如，VCMP 系列陶瓷軸承的顆粒釋放量比鋼制軸承降低 70% 以上。
保持架：選用聚醚醚酮（PEEK）或聚四氟乙烯（PTFE）等高分子材料，避免傳統(tǒng)金屬保持架的磨損碎屑污染，且材料本身不釋放揮發(fā)性有機物（VOCs）。
零揮發(fā)潤滑方案
采用全氟聚醚（PFPE）油脂或二硫化鉬（MoS?）固體潤滑涂層，其飽和蒸氣壓≤10?? Pa，符合 NASA 標(biāo)準(zhǔn)的揮發(fā)物測試要求（總質(zhì)量損失≤1.0%，可凝性揮發(fā)物≤0.1%）。例如，針對半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備的 VCL 系列軸承，通過 1000 小時高溫（200℃）老化測試，揮發(fā)物檢測結(jié)果低于 SEMI F47-0706 標(biāo)準(zhǔn)限值。
密封與表面處理
雙重密封結(jié)構(gòu)：內(nèi)側(cè) PTFE 唇形密封與外側(cè)迷宮式密封組合，阻止外部顆粒侵入的同時，避免潤滑劑泄漏。
DLC 涂層技術(shù)：軸承表面經(jīng)類金剛石涂層處理，硬度達 2000HV 以上，減少顆粒粘附性，且涂層本身不產(chǎn)生碎屑。
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行業(yè)認證與實測數(shù)據(jù) 第三方認證體系 部分型號通過 SEMI S2/S8 半導(dǎo)體設(shè)備安全標(biāo)準(zhǔn)認證，證明其材料兼容性和低污染特性； 符合 ISO 14644-1 Class 5 級潔凈室使用要求，經(jīng)第三方檢測機構(gòu)（如 SGS）測試，軸承運行時的顆粒釋放量≤0.1 個 /m3（≥0.3μm）。 實際應(yīng)用驗證 臺積電 28nm 制程：在離子注入機中，巴頓軸承支持真空泵連續(xù)運行 12 個月后，潔凈室顆粒監(jiān)測數(shù)據(jù)仍維持在 Class 5 級標(biāo)準(zhǔn)。 中微公司刻蝕設(shè)備：搭載巴頓軸承的真空泵在模擬 10?? Pa 真空環(huán)境下，以 30,000 轉(zhuǎn) / 分鐘運行超過 1,000 小時，未出現(xiàn)因顆粒污染導(dǎo)致的異常停機。 生產(chǎn)環(huán)境控制 軸承在 ISO 7 級潔凈室中完成組裝、測試和包裝，關(guān)鍵工序采用防靜電工具和超純水清洗，確保成品符合潔凈室運輸要求。
作為設(shè)備供應(yīng)商，我們始終秉持數(shù)據(jù)透明化原則： 所有認證報告與測試數(shù)據(jù)可通過新巴頓（上海）軸承銷售有限公司（電話：13331827888）獲取，包括殘余不平衡量、顆粒釋放曲線等主要參數(shù)。 對于極端潔凈需求（如 ISO 3 級），建議在設(shè)備端增加局部凈化裝置（如層流罩），并與我司技術(shù)團隊共同制定聯(lián)合驗證方案。 半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展對軸承技術(shù)提出了嚴苛挑戰(zhàn)，巴頓軸承通過材料創(chuàng)新、工藝優(yōu)化和全流程質(zhì)量控制，確保產(chǎn)品在潔凈室環(huán)境中穩(wěn)定運行。我們將持續(xù)投入研發(fā)，以應(yīng)對 EUV 光刻、3nm 以下制程等新興技術(shù)對潔凈度的更高要求。
新巴頓（上海）軸承銷售有限公司
聯(lián)系人： 周先生
手 機： 13331827888
網(wǎng) 址： https://www.xbardun.com/
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