金屬波紋管機械密封在電子芯片制造行業(yè)適用場景有哪些？

四川川奧密封件有限公司2025-12-13

適用場景主要是超純水輸送泵、化學藥劑輸送泵等軸密封，對潔凈度要求極高。材質(zhì)方面，動、靜環(huán)選用高純度陶瓷或碳化硅，化學穩(wěn)定性好且不易污染；波紋管采用不銹鋼，保證彈性和耐腐蝕性；輔助密封件用聚四氟乙烯，耐化學腐蝕且無顆粒脫落。安裝需在超凈間進行，嚴格遵循無塵操作規(guī)范。使用中控制好溫度、壓力和流量，維護周期3-6個月，泄漏時立即停機排查，防止污染芯片。

本回答由 四川川奧密封件有限公司 提供