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潔凈室設(shè)計(jì)中的氣流組織原則是什么？

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廣東楚嶸建設(shè)工程有限公司2025-08-22

單向流（層流）適用于ISO1-4級(jí)，亂流適用于ISO5-8級(jí)，某芯片廠通過滿布FFU實(shí)現(xiàn)0.5μm顆粒濃度≤10個(gè)/m3

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