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碳化硅載盤在高溫高壓環(huán)境下能不能提供更好的穩(wěn)定性？

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江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司2025-12-18

碳化硅載盤具備高熱導(dǎo)率、低熱膨脹系數(shù)和優(yōu)異高溫強(qiáng)度，在高溫高壓工藝中不易變形、開裂或釋放雜質(zhì)，能維持穩(wěn)定的幾何精度與熱場均勻性，適用于半導(dǎo)體及LED制造中的嚴(yán)苛工況。江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司提供多種高純碳化硅載盤產(chǎn)品，歡迎訪問官網(wǎng)獲取技術(shù)資料。

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江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司

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簡介：三責(zé)新材成立于2014年，專注于高性能碳化硅陶瓷的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，擁有多個制造基地和研發(fā)中心。

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