氧化退火爐的爐膛尺寸有哪些規(guī)格？

賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司2025-08-22

爐膛尺寸規(guī)格多樣，以適應(yīng)不同生產(chǎn)需求。小尺寸的可能內(nèi)徑只有幾十毫米，用于處理小型樣品或半導(dǎo)體硅片等。大尺寸的爐膛空間寬敞，比如臥式擴(kuò)散氧化退火爐，可容納大量零部件，爐膛內(nèi)徑可達(dá)幾百毫米甚至更大，能滿足大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)對批量處理工件的要求。

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