方瑞工業(yè)大型等離子清洗機(jī)對(duì)比濕法清洗半導(dǎo)體部件有何優(yōu)勢(shì)？

深圳市方瑞科技有限公司2026-01-10

方瑞工業(yè)大型等離子清洗機(jī)對(duì)比傳統(tǒng)濕法清洗半導(dǎo)體部件，優(yōu)勢(shì)集中在清潔效果、環(huán)保成本、工藝適配與管理效率四方面：該設(shè)備采用干式低溫等離子體技術(shù)，可滲透至納米級(jí)盲孔、深槽等復(fù)雜結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)無化學(xué)殘留的深度清潔，避免濕法清洗的藥液殘留與二次污染；無需化學(xué)試劑與大量純水，無廢液處理成本，能耗降低約 40%，契合半導(dǎo)體行業(yè)環(huán)保要求；其脈沖射頻電源可靈活調(diào)控離子能量，低溫處理不損傷半導(dǎo)體敏感層，適配先進(jìn)制程中硅片、封裝件等精密部件清洗；同時(shí)支持工藝參數(shù)數(shù)字化預(yù)設(shè)與數(shù)據(jù)追溯，可與產(chǎn)線無縫對(duì)接，提升批量處理效率與良率，簡(jiǎn)化生產(chǎn)管理流程，助力企業(yè)降本增效。

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