全自動(dòng)超聲掃描顯微鏡如何實(shí)現(xiàn)微米級(jí)分辨率成像？

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2026-01-15

通過(guò)高頻壓電換能器發(fā)射1-110MHz的超聲波，利用超聲波在材料界面處的反射差異形成信號(hào)。例如，在半導(dǎo)體封裝檢測(cè)中，100MHz探頭可捕捉0.5μm的界面變化，結(jié)合高精度機(jī)械掃描系統(tǒng)（定位精度±0.5μm），實(shí)現(xiàn)微米級(jí)圖像重建。

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 2026-01-18

采用動(dòng)態(tài)聚焦技術(shù)，通過(guò)實(shí)時(shí)調(diào)整超聲波束的焦點(diǎn)位置，補(bǔ)償不同深度材料的衰減差異。例如，檢測(cè)復(fù)合材料時(shí)，系統(tǒng)自動(dòng)優(yōu)化聚焦參數(shù)，確保從表層到內(nèi)部10mm深度范圍內(nèi)均保持1μm的分辨率。

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 2026-01-21

基于合成孔徑聚焦算法（SAFT），通過(guò)多角度超聲波信號(hào)疊加增強(qiáng)圖像信噪比。例如，在金屬焊接檢測(cè)中，SAFT技術(shù)可將傳統(tǒng)超聲的100μm分辨率提升至10μm，清晰顯示微裂紋形態(tài)。

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