光柵測(cè)微傳感器精度到底有多高呢？

成都遠(yuǎn)恒精密測(cè)控技術(shù)有限公司2026-01-07

光柵測(cè)微傳感器的精度會(huì)受柵距影響，柵距越小精度越高，例如柵距 20μm 的光柵經(jīng) 100 倍細(xì)分后，理論分辨率可達(dá) 0.2μm。采用光學(xué)倍頻細(xì)分技術(shù)的光柵測(cè)微傳感器，能突破光柵柵距的物理限制，精度可提升至納米級(jí)（如 ±50nm），適用于超精密測(cè)量場(chǎng)景。

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