水浸超聲檢測中如何優(yōu)化掃描速度？

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2025-07-26

采用高速運(yùn)動控制技術(shù)。升級直線電機(jī)驅(qū)動系統(tǒng)（如X軸使用直線電機(jī)，Y軸使用伺服電機(jī)），可實現(xiàn)600mm/s的掃描速度。例如，某設(shè)備通過優(yōu)化運(yùn)動控制算法，將掃描速度從300mm/s提升至500mm/s，同時保持定位精度≤±1μm。

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 2025-07-27

并行采集與多通道技術(shù)。使用多通道數(shù)據(jù)采集卡（如16通道）同時接收多個探頭的回波信號，可縮短掃描時間。例如，檢測大面積晶圓時，采用4探頭并行掃描模式，檢測效率比單探頭提升4倍。

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 2025-07-30

動態(tài)聚焦與自適應(yīng)采樣。根據(jù)缺陷分布密度動態(tài)調(diào)整聚焦深度和采樣間隔：在缺陷密集區(qū)（如芯片鍵合界面）采用小步長（如1μm）高密度采樣，在無缺陷區(qū)采用大步長（如10μm）快速掃描。例如，某檢測方案通過自適應(yīng)采樣，將單件檢測時間從20分鐘縮短至8分鐘。

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