杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2026-01-14
基于波形特征庫(kù)匹配。例如,設(shè)備預(yù)存裂紋、空洞、分層等缺陷的典型波形模板(如裂紋表現(xiàn)為高頻尖峰,空洞表現(xiàn)為低頻衰減),通過(guò)模式識(shí)別算法自動(dòng)分類。
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