廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-01
金屬表面處理高Co降低表面形核密度——Co對碳、氮固溶度大,抑制TiN/TiAlN等晶體成核,膜層疏松;②升溫時(shí)Co向表層擴(kuò)散,形成富Co脆性層,冷卻后因熱失配產(chǎn)生微裂紋,膜基結(jié)合力驟降;③Co高溫催化石墨相,使金剛石或DLC膜附著力極差。
金屬表面處理現(xiàn)場對策:化學(xué)脫鈷——用HCl+H?O?兩步法把表層Co降至≤0.5wt%,粗糙度Ra同步提高0.02μm,形核密度可翻番;降低沉積溫度≤450℃,并采用-120V→-60V階梯偏壓,減少Co擴(kuò)散;先0.15μmTiN低溫打底,再升功率沉積主體,阻斷Co上遷。經(jīng)此金屬表面處理流程,高Co牌號(12-15wt%)刀具同樣獲得Lc≥60N的結(jié)合力,壽命提升3倍。
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