真空氣相焊的真空度檢測(cè)，多久做一次？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-17

建議每月做一次真空度檢測(cè)，檢測(cè)步驟：一是將設(shè)備腔體密閉，啟動(dòng)真空泵抽至設(shè)定真空度（如 20Pa）；二是關(guān)閉真空泵，開(kāi)始保壓，記錄 1 小時(shí)內(nèi)真空度變化；三是若真空度上升≤5Pa，說(shuō)明合格；若超 5Pa，需檢查泄漏點(diǎn)。此外，每次更換真空泵油或維修真空系統(tǒng)后，需立即檢測(cè)。定期檢測(cè)可確保焊接時(shí)真空度達(dá)標(biāo)，減少焊點(diǎn)缺陷。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司可提供真空度檢測(cè)工具與操作指導(dǎo)。

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