管道設(shè)計需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風(fēng)險也越高，通常較合理的設(shè)計流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計方面，則需要考慮使用點的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點的管徑一般為1/4”～3/8”。根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。模塊化設(shè)計理念，便于系統(tǒng)未來擴(kuò)容與升級改造。福建特氣系統(tǒng)公司

高純氣體管道輸送管道，要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同，采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì)，它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求，從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術(shù)，對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格，10-6(ppm級)已經(jīng)不能達(dá)到要求，需要達(dá)到10-9(ppb級)，甚至10-12(ppt級)。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。對輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。廣西特氣系統(tǒng)我們?yōu)楣夥袠I(yè)提供高純硅烷、氨氣等特氣系統(tǒng)，助力高效太陽能電池生產(chǎn)。

氣體純化技術(shù)是大宗特氣系統(tǒng)保障氣體品質(zhì)的主要技術(shù)之一。隨著半導(dǎo)體工藝精度的不斷提升，對氣體中雜質(zhì)的控制要求越來越嚴(yán)格，純化系統(tǒng)需能夠有效去除氣體中的水分、氧氣、金屬雜質(zhì)等各類有害雜質(zhì)。目前常用的純化技術(shù)包括吸附純化、膜分離純化、低溫精餾純化等，不同的純化技術(shù)適用于不同類型的氣體與雜質(zhì)。系統(tǒng)會根據(jù)氣體的特性與純度要求，選用合適的純化技術(shù)與設(shè)備，并通過多級純化工藝，確保輸出氣體的純度滿足生產(chǎn)需求。純化濾芯等關(guān)鍵部件需定期更換，以保證純化效果穩(wěn)定。

可燃/有毒氣體探測器負(fù)責(zé)對生產(chǎn)現(xiàn)場的各種氣體的檢測，并將采集的氣體濃度轉(zhuǎn)換成模擬信號。數(shù)據(jù)采集模塊將采集到的信號，以串行通訊的方式傳送至GDS控制單元上，GDS控制單元根據(jù)檢測值分別與各自的報警上/下限進(jìn)行比較，當(dāng)某個探測器檢測到的濃度超過上限或低于下限時，GDS控制單元通過DO模塊輸出報警信號，開啟聲光報警器并開啟或關(guān)閉相關(guān)設(shè)備。操作人員可以通過工控機(jī)的觸摸屏、操作員站和工程師站等人機(jī)交互界面，實時監(jiān)視廠區(qū)內(nèi)所有檢測點的情況，主要有氣體濃度值，報警上限，實時曲線和歷史數(shù)據(jù)等。當(dāng)發(fā)生報警時也可以通過工控機(jī)進(jìn)行消音和報警響應(yīng)。為光纖預(yù)制棒及拉絲工藝提供穩(wěn)定、無污染的高純氣體和特種氣體供應(yīng)。

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送至用氣點仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵，包括系統(tǒng)的設(shè)計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內(nèi)容。近年來以大規(guī)模集成電路為主的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。高純氣體管道輸送管道，要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同，采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì)，它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求，從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術(shù)，對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格，10-6(ppm級)已經(jīng)不能達(dá)到要求，需要達(dá)到10-9(ppb級)，甚至10-12(ppt級)。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。將安全基因融入設(shè)計，構(gòu)建多重防護(hù)保障氣體使用安全。山西潔凈氣體管道系統(tǒng)廠家

Local Scrubber尾氣處理系統(tǒng)能有效去除工藝廢氣中的有害物質(zhì)，實現(xiàn)環(huán)保排放。福建特氣系統(tǒng)公司

大宗特氣系統(tǒng)的應(yīng)用受益于污染控制的進(jìn)步。首先大包裝容器保證了氣體品格的連續(xù)性，降低了屢次充裝的污染風(fēng)險，其次在氣站建設(shè)時候做好每個單元模塊的功能架構(gòu)，使得大宗氣體也可以保持高的純度。另外，液態(tài)氣體使用前的預(yù)熱、電子秤等的加入也是需要綜合考慮的因素。大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)采用全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測，遠(yuǎn)程緊急切斷；氮氣吹掃起源等等。福建特氣系統(tǒng)公司

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