工業(yè)氣體按組份可分為單一品種氣體的工業(yè)純氣和二元或多元?dú)怏w的工業(yè)混合氣。國家標(biāo)準(zhǔn)《瓶裝壓縮氣體分類》(GB16163-1996)中，根據(jù)工業(yè)純氣在氣瓶內(nèi)的物理狀態(tài)和臨界溫度進(jìn)行分類，并按其化學(xué)性能，燃燒性、毒性、腐蝕性進(jìn)行分組。第1類為長久氣體，其臨界溫度〈-10℃，在充裝時(shí)以及在允許的工作溫度下儲(chǔ)運(yùn)和使用過程中均為氣態(tài)，分為a、b兩組：a組為不燃無毒和不燃有毒氣體(包括氧、 氮、氬等)，b組為可燃無毒和可燃有毒氣體(包括氫等)。第2 類為液化氣體，其臨界溫度≥-10℃， 包括高壓液化氣體和低壓液化氣體。潔凈氣體管道工程，為您的潔凈室環(huán)境提供動(dòng)脈。江西電子特氣系統(tǒng)哪家好
高純氣體管道的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：1.對(duì)于不同特性的氣體，要規(guī)劃供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。2.管道設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計(jì)方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。河北電子特氣系統(tǒng)價(jià)格集中供氣系統(tǒng)通過儲(chǔ)罐和環(huán)狀管網(wǎng)，為大型車間提供不間斷氣源。
半導(dǎo)體工藝中常使用的化學(xué)物質(zhì)及其副產(chǎn)物,一般依照其化學(xué)特性與其不同的影響范圍,可分為:1.易燃性氣體如SiH4、H2等2.毒性氣體如AsH3、PH3等3.腐蝕性氣體如HF、HCl等4.溫室效應(yīng)氣體如CF4、NF3等由于以上四種氣體對(duì)環(huán)境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以,一般半導(dǎo)體廠都以加裝大型廢氣處理系統(tǒng).但此系統(tǒng)以水洗滌廢氣.故其應(yīng)用范圍限于處理水溶性氣體,無法因應(yīng)日新月異且分工細(xì)微的半導(dǎo)體工藝廢氣.因此必須依據(jù)各工藝所衍生出的氣體特性種類,選擇搭配相對(duì)應(yīng)的廢氣處理設(shè)備,才能有效解決廢氣問題.而由于工作區(qū)域多半離廢氣處理系統(tǒng)前,常因氣體特性導(dǎo)致管路中結(jié)晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體泄漏,嚴(yán)重者甚至引起炸,無法確保現(xiàn)場工作人員之工作安全.因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型廢氣處理設(shè)備(LocalScrubber),以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣,確保人員安全。
大宗特氣系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造工廠的主要支撐體系之一，直接關(guān)系到全廠生產(chǎn)的連續(xù)性與產(chǎn)品良率。該系統(tǒng)專為集成電路芯片制造等高精度工藝設(shè)計(jì)，能夠在氣柜存儲(chǔ)基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)大規(guī)模、高純度的氣體穩(wěn)定輸送。相比傳統(tǒng)供氣方式，大宗特氣系統(tǒng)具備更嚴(yán)苛的品質(zhì)控制能力，可適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)中對(duì)氣體雜質(zhì)含量的極低要求，其供氣流量大、連續(xù)性強(qiáng)的特點(diǎn)，確保了光刻、薄膜沉積、蝕刻等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)不受氣體波動(dòng)影響，從而保障芯片的性能與可靠性。公司提供從設(shè)計(jì)、安裝到調(diào)試的機(jī)電工程安裝交鑰匙服務(wù)，確保項(xiàng)目完整交付。
高純氣體管道輸送管道，要根據(jù)工藝過程對(duì)氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同，采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì)，它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對(duì)生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求，從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術(shù)，對(duì)氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格，10-6(ppm級(jí))已經(jīng)不能達(dá)到要求，需要達(dá)到10-9(ppb級(jí))，甚至10-12(ppt級(jí))。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。對(duì)輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕***光電與新能源行業(yè)，為綠色能源發(fā)展注入專業(yè)動(dòng)力。河南實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)
專業(yè)設(shè)計(jì)安裝大宗氣體系統(tǒng)，確保供氣穩(wěn)定與超高純度。江西電子特氣系統(tǒng)哪家好
實(shí)驗(yàn)室氣體報(bào)警:一個(gè)現(xiàn)代化的實(shí)驗(yàn)室，安全必須放在前面。由于氣瓶全部是集中存放，方便用戶集中檢查，節(jié)省成本和操作時(shí)間的同時(shí)，也當(dāng)然存在安全隱患，但如果預(yù)警措施、安全措施到位的話，危險(xiǎn)是可以避免的!為用戶節(jié)省些不必要的損失：易燃?xì)怏w報(bào)警：如果氣瓶是集中存放的話，可以節(jié)少成本，用戶只需在實(shí)驗(yàn)室的角落安裝一個(gè)氣體泄漏報(bào)警/易燃?xì)怏w探頭,如果氣瓶房氣體發(fā)生泄漏的話，感應(yīng)探頭會(huì)即刻將信號(hào)傳至中心實(shí)驗(yàn)室的液晶顯示瓶上，并發(fā)出預(yù)警的聲音，這樣用戶就可以發(fā)即時(shí)維修。低壓報(bào)警：當(dāng)用戶在實(shí)驗(yàn)室工作時(shí)，需要知道氣體是否快要用盡，氣瓶壓力是否足夠，這對(duì)實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)不間斷氣體供應(yīng)是很重要的江西電子特氣系統(tǒng)哪家好
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