生物制藥管道系統(tǒng)提供全方面的生物制藥管道工程、純水管道、純蒸汽管道、潔凈壓縮空氣管道、無菌工藝管道、工藝模塊、工藝設(shè)備等的現(xiàn)場(chǎng)安裝、調(diào)試服務(wù)。
廢氣處理特性半導(dǎo)體工藝中常使用的化學(xué)物質(zhì)及其副產(chǎn)物,一般依照其化學(xué)特性與其不同的影響范圍,可分為:1.易燃性氣體如SiH4、H2等2.毒性氣體如AsH3、PH3等3.腐蝕性氣體如HF、HCl等4.溫室效應(yīng)氣體如CF4、NF3等。由于以上四種氣體對(duì)環(huán)境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以,一般半導(dǎo)體廠都以加裝大型廢氣處理系統(tǒng).但此系統(tǒng)以水洗滌廢氣.故其應(yīng)用范圍限于處理水溶性氣體,無法因應(yīng)日新月異且分工細(xì)微的半導(dǎo)體工藝廢氣.因此必須依據(jù)各工藝所衍生出的氣體特性種類,選擇搭配相對(duì)應(yīng)的廢氣處理設(shè)備,才能有效解決廢氣問題.而由于工作區(qū)域多半離廢氣處理系統(tǒng)前,常因氣體特性導(dǎo)致管路中結(jié)晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體泄漏,嚴(yán)重者甚至引起爆,無法確保現(xiàn)場(chǎng)工作人員之工作安全.因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型廢氣處理設(shè)備(LocalScrubber),以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣,確保人員安全。 工程項(xiàng)目覆蓋集成電路領(lǐng)域,助力中國(guó)芯制造突破升級(jí)。Local Scrubber尾氣處理系統(tǒng)

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分,是將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵,包括系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。近年來以大規(guī)模集成電路為主的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求,使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。高純氣體管道輸送管道,要根據(jù)工藝過程對(duì)氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同,采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì),它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,而且對(duì)生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求,從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術(shù),對(duì)氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格,10-6(ppm級(jí))已經(jīng)不能達(dá)到要求,需要達(dá)到10-9(ppb級(jí)),甚至10-12(ppt級(jí))。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。對(duì)輸送高純氣體管道而言,其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。北京高純氣體管道系統(tǒng)多少錢模塊化設(shè)計(jì)理念,便于系統(tǒng)未來擴(kuò)容與升級(jí)改造。

大宗特氣系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程正在不斷加速。過去,我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的大宗特氣系統(tǒng)主要設(shè)備與技術(shù)多依賴進(jìn)口,不僅成本高昂,而且在技術(shù)服務(wù)與備件供應(yīng)方面存在諸多不便。近年來,隨著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展與國(guó)家對(duì)主要技術(shù)自主可控的重視,國(guó)內(nèi)企業(yè)加大了對(duì)大宗特氣系統(tǒng)相關(guān)技術(shù)的研發(fā)投入,在設(shè)備制造、工藝設(shè)計(jì)、系統(tǒng)集成等方面取得了明顯突破。越來越多的國(guó)產(chǎn)化設(shè)備與系統(tǒng)開始應(yīng)用于半導(dǎo)體工廠,不僅降低了企業(yè)的投資成本,而且提升了系統(tǒng)的運(yùn)維響應(yīng)速度。未來,隨著國(guó)產(chǎn)化技術(shù)的不斷成熟,大宗特氣系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化率將進(jìn)一步提高,為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主發(fā)展提供有力支撐。
工業(yè)氣體按組份可分為單一品種氣體的工業(yè)純氣和二元或多元?dú)怏w的工業(yè)混合氣。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《瓶裝壓縮氣體分類》(GB16163-1996)中,根據(jù)工業(yè)純氣在氣瓶?jī)?nèi)的物理狀態(tài)和臨界溫度進(jìn)行分類,并按其化學(xué)性能,燃燒性、毒性、腐蝕性進(jìn)行分組。第1類為長(zhǎng)久氣體,其臨界溫度〈-10℃,在充裝時(shí)以及在允許的工作溫度下儲(chǔ)運(yùn)和使用過程中均為氣態(tài),分為a、b兩組:a組為不燃無毒和不燃有毒氣體(包括氧、 氮、氬等),b組為可燃無毒和可燃有毒氣體(包括氫等)。第2 類為液化氣體,其臨界溫度≥-10℃, 包括高壓液化氣體和低壓液化氣體。提供一體化高純工藝方案,為半導(dǎo)體等行業(yè)奠定堅(jiān)實(shí)基石。

大宗特氣系統(tǒng)的自動(dòng)控制與監(jiān)控系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)精細(xì)供應(yīng)與安全保障的重要支撐。該系統(tǒng)通過各類傳感器實(shí)時(shí)采集氣體的壓力、流量、純度、溫度等關(guān)鍵參數(shù),并將數(shù)據(jù)傳輸至控制系統(tǒng)。控制系統(tǒng)根據(jù)預(yù)設(shè)的參數(shù)范圍,對(duì)閥門、泵等設(shè)備進(jìn)行自動(dòng)調(diào)控,確保氣體供應(yīng)的壓力與流量穩(wěn)定。同時(shí),監(jiān)控系統(tǒng)會(huì)對(duì)各類參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),一旦發(fā)現(xiàn)參數(shù)超出正常范圍或出現(xiàn)異常情況,立即發(fā)出報(bào)警信號(hào),并自動(dòng)啟動(dòng)緊急切斷、泄壓等安全措施,防止事故擴(kuò)大。自動(dòng)控制與監(jiān)控系統(tǒng)的智能化水平,直接決定了大宗特氣系統(tǒng)的運(yùn)行穩(wěn)定性與安全性。公司專注于為制造業(yè)提供高純度氣體系統(tǒng)工程一體化解決方案。貴州GDS氣體探測(cè)報(bào)警系統(tǒng)找哪家
電子特氣系統(tǒng)解決方案,精確滿足精密制造的特殊需求。Local Scrubber尾氣處理系統(tǒng)
特氣管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與規(guī)模,直接反映了制造工廠的技術(shù)等級(jí)與產(chǎn)能。一條先進(jìn)的12英寸晶圓產(chǎn)線,其特氣系統(tǒng)可能涉及數(shù)十種氣體、長(zhǎng)達(dá)數(shù)公里的雙套管網(wǎng)絡(luò)、上百個(gè)VMB/VMP,投資巨大。它的穩(wěn)定運(yùn)行,是保障納米級(jí)芯片制造工藝重復(fù)性、一致性的基礎(chǔ),是工廠連續(xù)不停產(chǎn)的前提。隨著半導(dǎo)體工藝向3nm、2nm等更先進(jìn)節(jié)點(diǎn)邁進(jìn),對(duì)特氣的純度要求近乎苛刻,對(duì)系統(tǒng)提出了更高挑戰(zhàn)。未來系統(tǒng)將追求更優(yōu)的出氣率控制、更快速的響應(yīng)與切換、更智能的風(fēng)險(xiǎn)模擬與安全聯(lián)動(dòng)。新材料如高性能涂層技術(shù)、更先進(jìn)的泄漏探測(cè)技術(shù)(如激光光譜)的應(yīng)用,將推動(dòng)特氣系統(tǒng)向更高安全等級(jí)和更優(yōu)性能演進(jìn)。Local Scrubber尾氣處理系統(tǒng)
上海杰瑞斯特機(jī)電工程技術(shù)有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來、有夢(mèng)想有目標(biāo),有組織有體系的公司,堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明,攜手共畫藍(lán)圖,在上海市等地區(qū)的建筑、建材行業(yè)中積累了大批忠誠(chéng)的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),也希望未來公司能成為*****,努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息,斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**上海杰瑞斯特機(jī)電工程技術(shù)供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績(jī),一直以來,公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠(chéng)實(shí)守信的方針,員工精誠(chéng)努力,協(xié)同奮取,以品質(zhì)、服務(wù)來贏得市場(chǎng),我們一直在路上!
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