在系統(tǒng)設(shè)計上,應(yīng)遵循技術(shù)先進(jìn)、運行可靠、功能豐富、使用方便、易于維護、合理投資的原則,對系統(tǒng)進(jìn)行整體設(shè)計和實施。先進(jìn)性:采用先進(jìn)的設(shè)計思想和設(shè)備,充分利用現(xiàn)有高新技術(shù),系統(tǒng)達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平。成熟性:采用成熟的技術(shù)、品牌及型號,并以標(biāo)準(zhǔn)方式建設(shè),保證系統(tǒng)運行的良好。開放性:遵循相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),能夠支持各種網(wǎng)絡(luò)和終端設(shè)備,支持各種系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及開放的通訊協(xié)議。擴展性:系統(tǒng)結(jié)構(gòu)先進(jìn)、合理,軟件、硬件擴充方便??煽啃裕禾峁┤蒎e設(shè)計。支持故障檢測和恢復(fù),可管理性強。實用性:充分結(jié)合現(xiàn)場實際及用戶選定的通訊方式,滿足系統(tǒng)應(yīng)用要求。可維護性:選用國內(nèi)容易支持的、標(biāo)準(zhǔn)化的產(chǎn)品型號協(xié)議開放,易于維護。經(jīng)濟性:在設(shè)計時充分考慮業(yè)主的實際情況,達(dá)到較高的性能價格比工業(yè)集中供氣系統(tǒng)通過管道網(wǎng)絡(luò),實現(xiàn)生產(chǎn)車間安全、高效的氣體配送。廣西尾氣處理系統(tǒng)哪家好

大宗特氣系統(tǒng)的氣體存儲環(huán)節(jié)是保障持續(xù)供應(yīng)的基礎(chǔ)。系統(tǒng)通常采用高壓氣瓶組、低溫儲罐等多種存儲方式,根據(jù)氣體的物理性質(zhì)與用量需求進(jìn)行選擇。對于用量較大的大宗氣體,如氮氣、氧氣等,多采用低溫儲罐存儲,能夠有效降低存儲成本,同時滿足大流量供應(yīng)需求;對于特種氣體,則多采用高壓氣瓶組存儲,便于精細(xì)控制供應(yīng)流量。存儲設(shè)備需定期進(jìn)行耐壓測試、氣密性檢測等,確保設(shè)備安全穩(wěn)定運行,避免因存儲設(shè)備故障導(dǎo)致氣體供應(yīng)中斷。 福建尾氣處理系統(tǒng)價格Local Scrubber尾氣處理專業(yè)高效,踐行環(huán)保與安全生產(chǎn)。

根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況,高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長;宜采用不封閉的環(huán)形管路,在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體,以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通,不會發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。管路中應(yīng)減少不流動氣體的“死空間”,不應(yīng)設(shè)有盲管,在特種氣體的儲氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除,以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物,降低氣體純度。對高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng);也可采用同等級輸送系統(tǒng),但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。
不同類型的半導(dǎo)體芯片生產(chǎn),對大宗特氣系統(tǒng)的配置需求存在明顯差異。例如,邏輯芯片制造過程中,蝕刻工藝需大量使用含氟特氣,系統(tǒng)需重點強化氟化物氣體的安全防護與腐蝕控制;存儲芯片生產(chǎn)則對沉積工藝用氣體的純度要求更高,需配備更精密的純化系統(tǒng)。因此,大宗特氣系統(tǒng)在設(shè)計之初,需充分結(jié)合具體的芯片生產(chǎn)工藝需求,進(jìn)行個性化配置。通過與芯片制造企業(yè)深入溝通,明確各類氣體的種類、純度、流量等參數(shù)要求,從而設(shè)計出符合生產(chǎn)實際需求的系統(tǒng)方案,確保系統(tǒng)能夠精細(xì)匹配生產(chǎn)工藝,發(fā)揮比較好支撐作用。 專業(yè)設(shè)計安裝大宗氣體系統(tǒng),確保供氣穩(wěn)定與超高純度。

生物制藥管道系統(tǒng)提供全方面的生物制藥管道工程、純水管道、純蒸汽管道、潔凈壓縮空氣管道、無菌工藝管道、工藝模塊、工藝設(shè)備等的現(xiàn)場安裝、調(diào)試服務(wù)。
廢氣處理特性半導(dǎo)體工藝中常使用的化學(xué)物質(zhì)及其副產(chǎn)物,一般依照其化學(xué)特性與其不同的影響范圍,可分為:1.易燃性氣體如SiH4、H2等2.毒性氣體如AsH3、PH3等3.腐蝕性氣體如HF、HCl等4.溫室效應(yīng)氣體如CF4、NF3等。由于以上四種氣體對環(huán)境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以,一般半導(dǎo)體廠都以加裝大型廢氣處理系統(tǒng).但此系統(tǒng)以水洗滌廢氣.故其應(yīng)用范圍限于處理水溶性氣體,無法因應(yīng)日新月異且分工細(xì)微的半導(dǎo)體工藝廢氣.因此必須依據(jù)各工藝所衍生出的氣體特性種類,選擇搭配相對應(yīng)的廢氣處理設(shè)備,才能有效解決廢氣問題.而由于工作區(qū)域多半離廢氣處理系統(tǒng)前,常因氣體特性導(dǎo)致管路中結(jié)晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體泄漏,嚴(yán)重者甚至引起爆,無法確?,F(xiàn)場工作人員之工作安全.因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型廢氣處理設(shè)備(LocalScrubber),以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣,確保人員安全。 服務(wù)光電與新能源行業(yè),為綠色能源發(fā)展注入專業(yè)動力。廣西尾氣處理系統(tǒng)哪家好
公司致力于通過技術(shù)創(chuàng)新,幫助客戶提升產(chǎn)品良率、生產(chǎn)安全與環(huán)保水平。廣西尾氣處理系統(tǒng)哪家好
高純氣體管道輸送管道,要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同,采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì),它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求,從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術(shù),對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格,10-6(ppm級)已經(jīng)不能達(dá)到要求,需要達(dá)到10-9(ppb級),甚至10-12(ppt級)。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。對輸送高純氣體管道而言,其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。廣西尾氣處理系統(tǒng)哪家好
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