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高純氣體管道的設(shè)計要點：1.對于不同特性的氣體，要規(guī)劃單獨的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。2.管道設(shè)計需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風(fēng)險也越高，通常較合理的設(shè)計流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計方面，則需要考慮使用點的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點的管徑一般為1/4”～3/8”。

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送至用氣點仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵，包括系統(tǒng)的設(shè)計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內(nèi)容。近年來以大規(guī)模集成電路為主的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。高純氣體管道輸送管道，要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同，采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細，它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求，從微米技術(shù)進入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術(shù)，對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格，10-6(ppm級)已經(jīng)不能達到要求，需要達到10-9(ppb級)，甚至10-12(ppt級)。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。對輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。檢測機構(gòu)的色譜、質(zhì)譜等儀器，依賴我們提供穩(wěn)定流量的高純載氣與輔助氣。

廢氣處理特性半導(dǎo)體工藝中常使用的化學(xué)物質(zhì)及其副產(chǎn)物,一般依照其化學(xué)特性與其不同的影響范圍,可分為:1.易燃性氣體如SiH4、H2等2.毒性氣體如AsH3、PH3等3.腐蝕性氣體如HF、HCl等4.溫室效應(yīng)氣體如CF4、NF3等。由于以上四種氣體對環(huán)境或人體皆具有一定的危害性,必須防止其直接排放大氣中,所以,一般半導(dǎo)體廠都以加裝大型廢氣處理系統(tǒng).但此系統(tǒng)以水洗滌廢氣.故其應(yīng)用范圍限于處理水溶性氣體,無法因應(yīng)日新月異且分工細微的半導(dǎo)體工藝廢氣.因此必須依據(jù)各工藝所衍生出的氣體特性種類,選擇搭配相對應(yīng)的廢氣處理設(shè)備,才能有效解決廢氣問題.而由于工作區(qū)域多半離廢氣處理系統(tǒng)前,常因氣體特性導(dǎo)致管路中結(jié)晶或粉塵堆積,造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體泄漏,嚴(yán)重者甚至引起爆,無法確?，F(xiàn)場工作人員之工作安全.因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型廢氣處理設(shè)備(LocalScrubber),以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣,確保人員安全。用專業(yè)詮釋品質(zhì)，以服務(wù)贏得未來，我們始終在路上。云南潔凈氣體管道系統(tǒng)公司

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安全性設(shè)計滲透于系統(tǒng)的每一個細節(jié)。除了雙套管，管道閥門均采用隔膜閥或超高密封性閥件，接頭為焊接或特殊金屬面密封。所有可能接觸氣體的部件，均需選用與氣體兼容的高等級不銹鋼或特殊合金，并經(jīng)過電拋光、鈍化等處理，以比較大限度減少出氣、吸附和顆粒產(chǎn)生，同時抵抗腐蝕。安全泄壓裝置、局部泄漏吸收裝置（Scrubber）的配置，進一步構(gòu)筑了多層次的安全縱深。維持氣體在輸送過程中的超高純度，是系統(tǒng)的另一主挑戰(zhàn)。這要求整個流路具備極高的內(nèi)表面光潔度與完整性。系統(tǒng)在安裝前后，需經(jīng)歷嚴(yán)格的高純氦氣檢漏、顆粒物檢測以及水分、氧分等雜質(zhì)含量的測試。采用全自動焊接（軌道焊）技術(shù)，確保焊縫平滑無缺陷；使用超高純度的吹掃氣體進行管線凈化，直至達到ppb（十億分之一）甚至ppt（萬億分之一）級別的潔凈標(biāo)準(zhǔn)。重慶Scrubber尾氣處理系統(tǒng)找哪家

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