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      RPS基本參數(shù)
      • 品牌
      • 晟鼎精密
      • 型號
      • SPR-08
      • 用途
      • 工業(yè)用
      • 清洗方式
      • 遠(yuǎn)程等離子
      • 外形尺寸
      • 467*241*270
      • 產(chǎn)地
      • 廣東
      • 廠家
      • 晟鼎
      • 制程氣體
      • NF3、O?、CF4
      • 點(diǎn)火氣體/流量/壓力
      • 氬氣(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
      • 制程氣體流量
      • 8NF3sLm
      • 工作氣壓
      • 1-10torr
      • 離化率
      • ≥95%
      • 進(jìn)水溫度
      • 30℃
      RPS企業(yè)商機(jī)

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 檢具具備強(qiáng)大的多場景適配能力,并提供專業(yè)的定制化服務(wù),滿足不同行業(yè)的檢測需求。RPS 檢具可根據(jù)零部件的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、尺寸規(guī)格定制設(shè)計,適配汽車、智能裝備、機(jī)器人等多個行業(yè)的檢測場景。針對復(fù)雜曲面零部件,RPS 檢具采用非接觸式檢測方案;針對高精度孔位檢測,RPS 檢具配備特用接觸式探針;針對生產(chǎn)線在線檢測,RPS 檢具設(shè)計為快速裝夾結(jié)構(gòu),滿足高效檢測需求。晟鼎精密的工程師團(tuán)隊可根據(jù)客戶提供的零部件 CAD 模型,快速完成 RPS 檢具的設(shè)計與制造,并提供安裝調(diào)試、操作人員培訓(xùn)等一站式服務(wù)。該 RPS 檢具定制化方案周期短、適配性強(qiáng),已為多家企業(yè)解決了特殊檢測需求,成為行業(yè)內(nèi)定制化檢測方案的質(zhì)量 RPS 供應(yīng)商。RPS遠(yuǎn)程等離子源在半導(dǎo)體晶圓清洗中實現(xiàn)納米級無損清潔。安徽推薦RPS型號

      安徽推薦RPS型號,RPS

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備,憑借較強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)性與高精度,成功應(yīng)用于航空航天零部件制造。航空航天零部件多為復(fù)雜曲面結(jié)構(gòu),尺寸精度要求極高,RPS 設(shè)備支持 3 組 9 個高分辨率鏡頭切換,可覆蓋不同規(guī)格零部件的掃描需求。RPS 采用同步觸發(fā)驅(qū)動技術(shù),投光采集時間短,掃描效率高,單幅測量時間≤1.5 秒,能快速完成大型零部件的全尺寸掃描。在數(shù)據(jù)處理上,RPS 通過多核多線程高速算法與 GPU 加速,實現(xiàn)點(diǎn)云數(shù)據(jù)的快速重建與噪聲處理,生成高精度三維模型。該 RPS 設(shè)備可承受航空航天制造車間的復(fù)雜環(huán)境,抗震動、抗干擾能力突出,測量精度穩(wěn)定在 0.01mm 以內(nèi)。目前,RPS 已應(yīng)用于飛機(jī)結(jié)構(gòu)件、發(fā)動機(jī)零部件等關(guān)鍵部件的制造檢測,為航空航天產(chǎn)品的安全性提供了可靠的 RPS 技術(shù)保障。廣東RPS生產(chǎn)廠家RPS與材料和腔室表面發(fā)生反應(yīng),以去除污染物并充當(dāng)有助于材料沉積的前提。

      安徽推薦RPS型號,RPS

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司研發(fā)的 RPS 遠(yuǎn)程等離子源 SPR-08,為半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體清潔提供原子級解決方案。該 RPS 設(shè)備基于電感耦合等離子體技術(shù),通過交變電場和磁場作用解離 NF3/O2 等工藝氣體,釋放出高活性自由基,與工藝腔室內(nèi)沉積的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等殘余氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),聚合為氣態(tài)分子后經(jīng)真空泵組抽出。RPS 的中心優(yōu)勢在于實現(xiàn)等離子體生成區(qū)與主工藝腔的物理隔離,避免離子轟擊造成的腔室損傷,同時保證清潔徹底性。在 5nm 以下先進(jìn)制程中,RPS 清潔技術(shù)可有效去除光刻膠殘留與微小污染物,確保腔室潔凈度滿足高精度加工要求。RPS 設(shè)備操作便捷,維護(hù)簡單,運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng),可適配不同規(guī)格半導(dǎo)體工藝腔體,目前已成為半導(dǎo)體制造企業(yè)提升產(chǎn)能與產(chǎn)品良率的關(guān)鍵 RPS 設(shè)備。

      在汽車制造業(yè)中,RPS(基準(zhǔn)點(diǎn)系統(tǒng))是保障零部件裝配一致性的中心標(biāo)準(zhǔn),東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 檢測方案已廣泛應(yīng)用于行業(yè)。RPS 遵循 “3-2-1 定位原則”,通過 3 個主定位點(diǎn)和若干輔助定位點(diǎn)限制零部件 6 個自由度,確保設(shè)計、制造、檢測全流程定位統(tǒng)一。晟鼎精密的 RPS 檢測設(shè)備支持接觸式與非接觸式雙重檢測模式,接觸式通過三坐標(biāo)測量機(jī)獲取 RPS 定位點(diǎn)實際坐標(biāo),非接觸式則利用激光掃描快速采集三維數(shù)據(jù),兩種方式均能精細(xì)輸出偏差報告。該 RPS 方案的檢具定位元件制造精度達(dá)到零部件公差的 1/3~1/5,銷釘間距公差≤±0.03mm,定位面平面度≤0.02mm。通過 RPS 系統(tǒng)檢測,可有效避免車身間隙不均勻、零部件干涉等問題,目前已成功應(yīng)用于車身骨架、底盤件、車門等關(guān)鍵零部件生產(chǎn),成為汽車行業(yè)高精度檢測的中心 RPS 技術(shù)支撐。在汽車電子中確保惡劣環(huán)境下可靠性。

      安徽推薦RPS型號,RPS

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的RPS遠(yuǎn)程等離子體源,針對柔性電子器件易受損傷的特性,打造了專屬低損傷加工方案。柔性電子器件采用聚合物基底,傳統(tǒng)加工方式易導(dǎo)致基底褶皺、破裂,而RPS通過遠(yuǎn)程傳輸設(shè)計,使高能離子在傳輸過程中被有效過濾,只讓中性自由基作用于器件表面,從根本上避免物理損傷。在柔性O(shè)LED屏封裝工藝中,RPS可精細(xì)活化基底表面,提升封裝膠的附著強(qiáng)度,同時將基底溫度控制在40℃以下,確保器件性能不受影響。RPS支持連續(xù)化生產(chǎn)模式,處理速度可達(dá)10米/分鐘,且加工均勻性控制在±3%以內(nèi),完全適配柔性電子的量產(chǎn)需求。目前,該RPS方案已應(yīng)用于柔性傳感器、可穿戴設(shè)備等產(chǎn)品的制造,成為柔性電子行業(yè)高質(zhì)量加工的中心RPS裝備。遠(yuǎn)程等離子體源RPS腔體結(jié)構(gòu),包括進(jìn)氣口,點(diǎn)火口。上海半導(dǎo)體設(shè)備RPS常用知識

      用于醫(yī)療器械制造中生物相容性表面的活化處理。安徽推薦RPS型號

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的RPS三維光學(xué)掃描設(shè)備,為模具修復(fù)提供了精細(xì)的數(shù)字化數(shù)據(jù)支撐,大幅提升修復(fù)效率與質(zhì)量。模具在長期使用中易出現(xiàn)型腔磨損、裂紋等問題,傳統(tǒng)修復(fù)依賴人工經(jīng)驗判斷,精度難以保證,而RPS可快速掃描受損模具,生成高精度三維數(shù)據(jù),與原始設(shè)計模型進(jìn)行比對,自動識別損傷區(qū)域與損傷程度。RPS掃描的點(diǎn)云數(shù)據(jù)密度可達(dá)每平方毫米1000個點(diǎn),能清晰呈現(xiàn)0.01mm級的細(xì)微磨損痕跡,為修復(fù)方案制定提供精確依據(jù)。在修復(fù)過程中,RPS可實時掃描修復(fù)區(qū)域,監(jiān)控修復(fù)進(jìn)度與尺寸精度,避免過度修復(fù)或修復(fù)不足。該RPS模具修復(fù)方案已應(yīng)用于注塑模、壓鑄模等多種模具的修復(fù)場景,使模具修復(fù)周期縮短50%,修復(fù)后模具壽命恢復(fù)至新模的90%以上,成為模具維修領(lǐng)域的中心RPS工具。安徽推薦RPS型號

      與RPS相關(guān)的**
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