江蘇半導(dǎo)體RPS冗余電源

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠(yuǎn)程等離子體源，通過靈活的參數(shù)調(diào)控實現(xiàn)多場景工藝適配。RPS 設(shè)備可調(diào)節(jié)射頻功率、氣體配比、反應(yīng)時間等關(guān)鍵參數(shù)，針對不同材料與加工需求定制工藝方案。在半導(dǎo)體刻蝕工藝中，RPS 通過優(yōu)化 CF?/O?氣體配比，實現(xiàn) SiO?與 SiN 的高選擇性刻蝕；在工藝腔體清潔中，RPS 調(diào)節(jié) NF3/O2 比例，確保污染物徹底去除且不損傷腔室表面。RPS 配備智能控制系統(tǒng)，可實時監(jiān)測等離子體密度、自由基濃度等關(guān)鍵指標(biāo)，根據(jù)反饋自動調(diào)整參數(shù)，維持工藝穩(wěn)定性。通過大量實驗數(shù)據(jù)積累，晟鼎精密建立了完善的 RPS 工藝參數(shù)數(shù)據(jù)庫，客戶可快速調(diào)用適配方案。該 RPS 設(shè)備的參數(shù)調(diào)控精度高、響應(yīng)速度快，能夠滿足半導(dǎo)體、電子制造等領(lǐng)域的復(fù)雜工藝需求，成為高精度加工的中心 RPS 裝備。RPS包含電源和電離腔體兩部分，不同的工藝氣體流量對應(yīng)匹配的電源功率。江蘇半導(dǎo)體RPS冗余電源

東莞市晟鼎精密儀器有限公司推出 RPS 快速模具與 3D 打印的協(xié)同應(yīng)用方案，整合兩種技術(shù)優(yōu)勢，為客戶提供更高效的生產(chǎn)解決方案。在產(chǎn)品研發(fā)初期，通過 RPS 3D 打印快速制作樣品，進(jìn)行外觀與結(jié)構(gòu)驗證；當(dāng)樣品驗證通過后，利用 RPS 快速模具進(jìn)行小批量生產(chǎn)，滿足市場測試需求。RPS 3D 打印具備快速成型、設(shè)計自由度高的優(yōu)勢，可制作復(fù)雜結(jié)構(gòu)樣品；RPS 快速模具則具備生產(chǎn)效率高、零件質(zhì)量好的特點，可實現(xiàn)接近量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)的小批量生產(chǎn)。兩種技術(shù)的協(xié)同應(yīng)用，實現(xiàn)了從樣品研發(fā)到小批量生產(chǎn)的無縫銜接，大幅縮短了產(chǎn)品上市周期。該 RPS 協(xié)同應(yīng)用方案已應(yīng)用于智能裝備、醫(yī)療設(shè)備等多個領(lǐng)域，成為企業(yè)產(chǎn)品研發(fā)與生產(chǎn)的高效 RPS 組合方案。重慶晟鼎RPS等離子源處理cvd腔室遠(yuǎn)程等離子體（RPS）對真空腔體進(jìn)行微處理，達(dá)到去除腔體內(nèi)部水殘留氣體，減少殘余氣體量目的。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備，在保證高精度的同時，具備操作便捷、維護(hù)簡單的明顯優(yōu)勢。RPS 設(shè)備采用人性化設(shè)計，配備直觀的操作界面，操作人員經(jīng)過簡單培訓(xùn)即可上手操作。設(shè)備支持多種掃描模式一鍵切換，掃描參數(shù)可自動適配不同材質(zhì)與顏色的掃描對象，降低操作難度。在維護(hù)方面，RPS 設(shè)備的中心部件采用模塊化設(shè)計，更換便捷，減少維護(hù)時間；設(shè)備自帶校準(zhǔn)標(biāo)定引導(dǎo)功能，指引操作者正確進(jìn)行校準(zhǔn)調(diào)節(jié)，避免不規(guī)范操作帶來的影響。RPS 設(shè)備的便攜式三角架承重達(dá) 10KG，移動靈活，可適應(yīng)不同工作場景的使用需求。該 RPS 設(shè)備的平均無故障運行時間長，維護(hù)成本低，為用戶帶來了高效、經(jīng)濟(jì)的使用體驗，成為精密測量領(lǐng)域的熱門 RPS 產(chǎn)品。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司制定的 RPS 檢具設(shè)計規(guī)范，成為汽車行業(yè)高精度檢測的重要參考標(biāo)準(zhǔn)。RPS 檢具設(shè)計嚴(yán)格遵循定位一致性原則，確保檢具的 RPS 定位結(jié)構(gòu)與零部件在車身上的裝配定位完全一致，包括定位銷孔位置、定位面形狀等關(guān)鍵參數(shù)。在精度匹配上，RPS 檢具定位元件的制造精度高于零部件公差要求，例如零部件孔位公差為 ±0.2mm 時，RPS 檢具銷釘公差控制在 ±0.05mm 以內(nèi)。RPS 檢具具備快速裝夾、穩(wěn)定支撐的特點，通過機(jī)械鎖緊裝置固定零部件，避免人為操作導(dǎo)致的檢測誤差。為保障檢測可靠性，RPS 檢具需定期通過三坐標(biāo)測量機(jī)進(jìn)行校準(zhǔn)，銷釘間距公差需維持在≤±0.03mm，定位面平面度≤0.02mm。該 RPS 檢具設(shè)計方案已應(yīng)用于多家主流車企，有效提升了零部件檢測效率與準(zhǔn)確性，成為汽車制造質(zhì)量控制的中心 RPS 工具。RPS遠(yuǎn)程等離子源的功能是用于半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體原子級別的清潔。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠(yuǎn)程等離子體源，采用長壽命設(shè)計與穩(wěn)定化技術(shù)，確保設(shè)備在長時間運行中的可靠性。RPS 設(shè)備的中心部件選用品質(zhì)高工業(yè)級材料，經(jīng)過嚴(yán)格的可靠性測試，使用壽命大幅延長。設(shè)備采用等離子體生成與工藝腔解耦設(shè)計，減少等離子體波動對設(shè)備內(nèi)部部件的影響，提升運行穩(wěn)定性。RPS 配備完善的故障診斷系統(tǒng)，可實時監(jiān)測設(shè)備運行狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)潛在問題并發(fā)出預(yù)警，便于用戶及時維護(hù)。在散熱設(shè)計上，RPS 采用高效散熱結(jié)構(gòu)，有效控制設(shè)備運行溫度，避免因過熱導(dǎo)致的性能下降或故障。該 RPS 設(shè)備的平均無故障運行時間超過 10000 小時，滿足半導(dǎo)體、電子制造等領(lǐng)域的量產(chǎn)需求，成為企業(yè)連續(xù)生產(chǎn)的可靠 RPS 裝備。RPS遠(yuǎn)程等離子氣體解離率高，效果可媲美進(jìn)口設(shè)備。福建遠(yuǎn)程等離子電源RPS等離子源處理cvd腔室

RPS遠(yuǎn)程等離子源在半導(dǎo)體晶圓清洗中實現(xiàn)納米級無損清潔。江蘇半導(dǎo)體RPS冗余電源

東莞市晟鼎精密儀器有限公司針對新能源汽車電池殼體檢測需求，定制開發(fā)了RPS特用檢具方案，保障電池包的裝配安全性與密封性。新能源汽車電池殼體尺寸大、結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對平面度、孔位精度要求極高，RPS檢具采用模塊化設(shè)計，通過多個RPS定位基準(zhǔn)點實現(xiàn)殼體的穩(wěn)定支撐與精細(xì)定位。檢具配備高精度接觸式探針與激光傳感器，可同時檢測殼體的平面度、孔位坐標(biāo)、壁厚等20余項關(guān)鍵參數(shù)，檢測精度達(dá)0.01mm。RPS檢具支持全自動檢測流程，機(jī)器人自動上下料、自動完成檢測，檢測節(jié)拍只需45秒/件，滿足新能源汽車生產(chǎn)線的高效需求。檢測數(shù)據(jù)可實時上傳至MES系統(tǒng)，生成追溯報告，為電池殼體質(zhì)量控制提供數(shù)據(jù)支撐。該RPS檢具方案已應(yīng)用于多家新能源車企，有效降低了電池包泄漏風(fēng)險，成為電池安全保障的中心RPS檢測工具。江蘇半導(dǎo)體RPS冗余電源