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      RPS基本參數(shù)
      • 品牌
      • 晟鼎精密
      • 型號(hào)
      • SPR-08
      • 用途
      • 工業(yè)用
      • 清洗方式
      • 遠(yuǎn)程等離子
      • 外形尺寸
      • 467*241*270
      • 產(chǎn)地
      • 廣東
      • 廠家
      • 晟鼎
      • 制程氣體
      • NF3、O?、CF4
      • 點(diǎn)火氣體/流量/壓力
      • 氬氣(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
      • 制程氣體流量
      • 8NF3sLm
      • 工作氣壓
      • 1-10torr
      • 離化率
      • ≥95%
      • 進(jìn)水溫度
      • 30℃
      RPS企業(yè)商機(jī)

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備,在保證高精度的同時(shí),具備操作便捷、維護(hù)簡(jiǎn)單的明顯優(yōu)勢(shì)。RPS 設(shè)備采用人性化設(shè)計(jì),配備直觀的操作界面,操作人員經(jīng)過簡(jiǎn)單培訓(xùn)即可上手操作。設(shè)備支持多種掃描模式一鍵切換,掃描參數(shù)可自動(dòng)適配不同材質(zhì)與顏色的掃描對(duì)象,降低操作難度。在維護(hù)方面,RPS 設(shè)備的中心部件采用模塊化設(shè)計(jì),更換便捷,減少維護(hù)時(shí)間;設(shè)備自帶校準(zhǔn)標(biāo)定引導(dǎo)功能,指引操作者正確進(jìn)行校準(zhǔn)調(diào)節(jié),避免不規(guī)范操作帶來的影響。RPS 設(shè)備的便攜式三角架承重達(dá) 10KG,移動(dòng)靈活,可適應(yīng)不同工作場(chǎng)景的使用需求。該 RPS 設(shè)備的平均無故障運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng),維護(hù)成本低,為用戶帶來了高效、經(jīng)濟(jì)的使用體驗(yàn),成為精密測(cè)量領(lǐng)域的熱門 RPS 產(chǎn)品。RPS為了避免不必要的污染和工作人員的強(qiáng)度和高風(fēng)險(xiǎn)的濕式清洗工作,提高生產(chǎn)效率。湖北推薦RPS聯(lián)系方式

      湖北推薦RPS聯(lián)系方式,RPS

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司研發(fā)的 RPS 遠(yuǎn)程等離子源 SPR-08,為半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體清潔提供原子級(jí)解決方案。該 RPS 設(shè)備基于電感耦合等離子體技術(shù),通過交變電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用解離 NF3/O2 等工藝氣體,釋放出高活性自由基,與工藝腔室內(nèi)沉積的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等殘余氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),聚合為氣態(tài)分子后經(jīng)真空泵組抽出。RPS 的中心優(yōu)勢(shì)在于實(shí)現(xiàn)等離子體生成區(qū)與主工藝腔的物理隔離,避免離子轟擊造成的腔室損傷,同時(shí)保證清潔徹底性。在 5nm 以下先進(jìn)制程中,RPS 清潔技術(shù)可有效去除光刻膠殘留與微小污染物,確保腔室潔凈度滿足高精度加工要求。RPS 設(shè)備操作便捷,維護(hù)簡(jiǎn)單,運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng),可適配不同規(guī)格半導(dǎo)體工藝腔體,目前已成為半導(dǎo)體制造企業(yè)提升產(chǎn)能與產(chǎn)品良率的關(guān)鍵 RPS 設(shè)備。湖北推薦RPS聯(lián)系方式用于太赫茲器件的超精密清洗。

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      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 檢具具備強(qiáng)大的多場(chǎng)景適配能力,并提供專業(yè)的定制化服務(wù),滿足不同行業(yè)的檢測(cè)需求。RPS 檢具可根據(jù)零部件的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、尺寸規(guī)格定制設(shè)計(jì),適配汽車、智能裝備、機(jī)器人等多個(gè)行業(yè)的檢測(cè)場(chǎng)景。針對(duì)復(fù)雜曲面零部件,RPS 檢具采用非接觸式檢測(cè)方案;針對(duì)高精度孔位檢測(cè),RPS 檢具配備特用接觸式探針;針對(duì)生產(chǎn)線在線檢測(cè),RPS 檢具設(shè)計(jì)為快速裝夾結(jié)構(gòu),滿足高效檢測(cè)需求。晟鼎精密的工程師團(tuán)隊(duì)可根據(jù)客戶提供的零部件 CAD 模型,快速完成 RPS 檢具的設(shè)計(jì)與制造,并提供安裝調(diào)試、操作人員培訓(xùn)等一站式服務(wù)。該 RPS 檢具定制化方案周期短、適配性強(qiáng),已為多家企業(yè)解決了特殊檢測(cè)需求,成為行業(yè)內(nèi)定制化檢測(cè)方案的質(zhì)量 RPS 供應(yīng)商。

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司針對(duì)新能源汽車電池殼體檢測(cè)需求,定制開發(fā)了RPS特用檢具方案,保障電池包的裝配安全性與密封性。新能源汽車電池殼體尺寸大、結(jié)構(gòu)復(fù)雜,對(duì)平面度、孔位精度要求極高,RPS檢具采用模塊化設(shè)計(jì),通過多個(gè)RPS定位基準(zhǔn)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)殼體的穩(wěn)定支撐與精細(xì)定位。檢具配備高精度接觸式探針與激光傳感器,可同時(shí)檢測(cè)殼體的平面度、孔位坐標(biāo)、壁厚等20余項(xiàng)關(guān)鍵參數(shù),檢測(cè)精度達(dá)0.01mm。RPS檢具支持全自動(dòng)檢測(cè)流程,機(jī)器人自動(dòng)上下料、自動(dòng)完成檢測(cè),檢測(cè)節(jié)拍只需45秒/件,滿足新能源汽車生產(chǎn)線的高效需求。檢測(cè)數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)上傳至MES系統(tǒng),生成追溯報(bào)告,為電池殼體質(zhì)量控制提供數(shù)據(jù)支撐。該RPS檢具方案已應(yīng)用于多家新能源車企,有效降低了電池包泄漏風(fēng)險(xiǎn),成為電池安全保障的中心RPS檢測(cè)工具。用于氣體傳感器敏感薄膜的沉積后處理。

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      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的RPS遠(yuǎn)程等離子體源,針對(duì)柔性電子器件易受損傷的特性,打造了專屬低損傷加工方案。柔性電子器件采用聚合物基底,傳統(tǒng)加工方式易導(dǎo)致基底褶皺、破裂,而RPS通過遠(yuǎn)程傳輸設(shè)計(jì),使高能離子在傳輸過程中被有效過濾,只讓中性自由基作用于器件表面,從根本上避免物理?yè)p傷。在柔性O(shè)LED屏封裝工藝中,RPS可精細(xì)活化基底表面,提升封裝膠的附著強(qiáng)度,同時(shí)將基底溫度控制在40℃以下,確保器件性能不受影響。RPS支持連續(xù)化生產(chǎn)模式,處理速度可達(dá)10米/分鐘,且加工均勻性控制在±3%以內(nèi),完全適配柔性電子的量產(chǎn)需求。目前,該RPS方案已應(yīng)用于柔性傳感器、可穿戴設(shè)備等產(chǎn)品的制造,成為柔性電子行業(yè)高質(zhì)量加工的中心RPS裝備。RPS是一種用于產(chǎn)生等離子體的裝置,它通常被用于在真空環(huán)境中進(jìn)行表面處理、材料改性、薄膜沉積等工藝。北京遠(yuǎn)程等離子電源RPS腔室遠(yuǎn)程等離子源

      Remote Plasma Source,RPS 通常被用于在真空環(huán)境中進(jìn)行表面處理、材料改性、薄膜沉積等工藝。湖北推薦RPS聯(lián)系方式

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備,憑借多維度技術(shù)突破成為精密測(cè)量領(lǐng)域的榜樣產(chǎn)品。該 RPS 設(shè)備搭載雙目 500 萬像素工業(yè)相機(jī),配合 3 組 9 個(gè)高分辨率鏡頭,可通過鏡頭切換實(shí)現(xiàn) 420×240mm2 至 90×52mm2 的多范圍掃描,無需調(diào)節(jié)工作距離即可保證比較好掃描效果。RPS 采用藍(lán)光窄帶光源與格雷碼、多頻外差法雙光柵模式,抗干擾能力強(qiáng),即使在復(fù)雜環(huán)境下也能精細(xì)捕捉細(xì)節(jié)。在掃描效率上,RPS 單幅測(cè)量時(shí)間≤1.5 秒,結(jié)合多核多線程高速算法與 GPU 加速,數(shù)據(jù)三維重建速度大幅提升。RPS 支持標(biāo)志點(diǎn)全自動(dòng)拼接、特征拼接等多種拼接模式,拼接后自動(dòng)報(bào)告精度,全局誤差控制能力突出。該 RPS 設(shè)備可兼容 CATIA、Geomagic 等主流三維軟件,數(shù)據(jù)輸出格式豐富,廣泛應(yīng)用于智能裝備、機(jī)器人、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域的精密測(cè)量需求。湖北推薦RPS聯(lián)系方式

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