東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備，憑借快速批量檢測(cè)能力，成為消費(fèi)電子制造行業(yè)的中心質(zhì)量控制工具。消費(fèi)電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快，批量大，對(duì)檢測(cè)效率要求高，RPS 設(shè)備單幅測(cè)量時(shí)間≤1.5 秒，結(jié)合全自動(dòng)拼接技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)零部件的快速批量掃描檢測(cè)。RPS 設(shè)備的測(cè)量精度可達(dá) 0.01mm，能夠滿足消費(fèi)電子零部件的高精度檢測(cè)需求，如手機(jī)外殼、攝像頭模組等。在生產(chǎn)線上，RPS 檢測(cè)設(shè)備可與自動(dòng)化生產(chǎn)線聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)零部件的在線檢測(cè)，及時(shí)剔除不合格產(chǎn)品，避免批量質(zhì)量問題。該 RPS 批量檢測(cè)方案已應(yīng)用于多家前端消費(fèi)電子企業(yè)，幫助企業(yè)提升生產(chǎn)效率，降低質(zhì)量成本，成為消費(fèi)電子制造行業(yè)的推薦 RPS 檢測(cè)設(shè)備。晟鼎RPS等離子濃度檢測(cè):通過檢測(cè)解離腔體內(nèi)電流判斷等離子濃度，確保等離子體穩(wěn)定。湖南半導(dǎo)體RPS腔體清洗
東莞市晟鼎精密儀器有限公司推出的 RPS 遠(yuǎn)程等離子源，是半導(dǎo)體先進(jìn)制程中的關(guān)鍵中心設(shè)備。RPS 采用電感耦合等離子體技術(shù)，通過單獨(dú)腔室生成高密度等離子體，經(jīng)遠(yuǎn)程傳輸區(qū)篩選后，只讓中性自由基進(jìn)入主工藝腔，從根源避免離子轟擊對(duì)晶圓的物理損傷。在 5nm 以下節(jié)點(diǎn)芯片制造中，RPS 展現(xiàn)出優(yōu)越的工藝適配性，無論是 FinFET 還是 GAA 晶體管加工，都能精細(xì)控制側(cè)壁粗糙度與晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O?、NF?等多種工藝氣體配比調(diào)節(jié)，可實(shí)現(xiàn) SiO?與 SiN 的刻蝕選擇比超過 100:1，滿足高深寬比通孔的均勻加工需求。晟鼎精密的 RPS 設(shè)備在 300mm 晶圓處理中，能將刻蝕均勻性控制在 ±2% 以內(nèi)，長時(shí)間運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng)，為半導(dǎo)體量產(chǎn)提供可靠保障，成為邏輯芯片、存儲(chǔ)器件制造中的推薦 RPS 解決方案。安徽遠(yuǎn)程等離子電源RPS客服電話為器官芯片制造提供細(xì)胞培養(yǎng)基底功能化。
東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠(yuǎn)程等離子體源，通過靈活的參數(shù)調(diào)控實(shí)現(xiàn)多場(chǎng)景工藝適配。RPS 設(shè)備可調(diào)節(jié)射頻功率、氣體配比、反應(yīng)時(shí)間等關(guān)鍵參數(shù)，針對(duì)不同材料與加工需求定制工藝方案。在半導(dǎo)體刻蝕工藝中，RPS 通過優(yōu)化 CF?/O?氣體配比，實(shí)現(xiàn) SiO?與 SiN 的高選擇性刻蝕；在工藝腔體清潔中，RPS 調(diào)節(jié) NF3/O2 比例，確保污染物徹底去除且不損傷腔室表面。RPS 配備智能控制系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體密度、自由基濃度等關(guān)鍵指標(biāo)，根據(jù)反饋?zhàn)詣?dòng)調(diào)整參數(shù)，維持工藝穩(wěn)定性。通過大量實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)積累，晟鼎精密建立了完善的 RPS 工藝參數(shù)數(shù)據(jù)庫，客戶可快速調(diào)用適配方案。該 RPS 設(shè)備的參數(shù)調(diào)控精度高、響應(yīng)速度快，能夠滿足半導(dǎo)體、電子制造等領(lǐng)域的復(fù)雜工藝需求，成為高精度加工的中心 RPS 裝備。
東莞市晟鼎精密儀器有限公司針對(duì)新能源汽車電池殼體檢測(cè)需求，定制開發(fā)了RPS特用檢具方案，保障電池包的裝配安全性與密封性。新能源汽車電池殼體尺寸大、結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對(duì)平面度、孔位精度要求極高，RPS檢具采用模塊化設(shè)計(jì)，通過多個(gè)RPS定位基準(zhǔn)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)殼體的穩(wěn)定支撐與精細(xì)定位。檢具配備高精度接觸式探針與激光傳感器，可同時(shí)檢測(cè)殼體的平面度、孔位坐標(biāo)、壁厚等20余項(xiàng)關(guān)鍵參數(shù)，檢測(cè)精度達(dá)0.01mm。RPS檢具支持全自動(dòng)檢測(cè)流程，機(jī)器人自動(dòng)上下料、自動(dòng)完成檢測(cè)，檢測(cè)節(jié)拍只需45秒/件，滿足新能源汽車生產(chǎn)線的高效需求。檢測(cè)數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)上傳至MES系統(tǒng)，生成追溯報(bào)告，為電池殼體質(zhì)量控制提供數(shù)據(jù)支撐。該RPS檢具方案已應(yīng)用于多家新能源車企，有效降低了電池包泄漏風(fēng)險(xiǎn)，成為電池安全保障的中心RPS檢測(cè)工具。遠(yuǎn)程等離子的處理作用，是非常輕微的刻蝕，有一定的活性作用，主要與腔室內(nèi)部的殘余氣體發(fā)生作用。
東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備，憑借超高精度成為醫(yī)療設(shè)備制造的中心檢測(cè)工具。醫(yī)療設(shè)備零部件對(duì)尺寸精度與表面質(zhì)量要求嚴(yán)苛，RPS 設(shè)備的測(cè)量精度可達(dá) 0.005mm，平均采樣點(diǎn)距低至 0.03mm，能夠精細(xì)捕捉復(fù)雜曲面的細(xì)微特征。RPS 采用藍(lán)光窄帶光源，抗干擾能力強(qiáng)，可有效避免環(huán)境光線對(duì)掃描結(jié)果的影響，確保數(shù)據(jù)真實(shí)性。在醫(yī)療設(shè)備研發(fā)階段，RPS 可快速掃描樣品，生成三維數(shù)據(jù)用于設(shè)計(jì)優(yōu)化與功能性測(cè)試；在量產(chǎn)環(huán)節(jié)，RPS 通過快速批量掃描實(shí)現(xiàn)零部件質(zhì)量篩查，及時(shí)發(fā)現(xiàn)尺寸偏差。該 RPS 設(shè)備支持多種數(shù)據(jù)格式輸出，可與醫(yī)療設(shè)備設(shè)計(jì)軟件無縫對(duì)接，加速產(chǎn)品研發(fā)周期。目前，RPS 已應(yīng)用于手術(shù)器械、植入體等關(guān)鍵醫(yī)療部件的制造檢測(cè)，為醫(yī)療設(shè)備的安全性與可靠性提供了有力的 RPS 技術(shù)保障。在半導(dǎo)體前道制程中確保柵極界面質(zhì)量。北京遠(yuǎn)程等離子源RPS電源
RPS用于晶圓清洗、刻蝕和薄膜沉積工藝，去除光刻膠和殘留物。湖南半導(dǎo)體RPS腔體清洗
東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 檢具具備強(qiáng)大的多場(chǎng)景適配能力，并提供專業(yè)的定制化服務(wù)，滿足不同行業(yè)的檢測(cè)需求。RPS 檢具可根據(jù)零部件的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、尺寸規(guī)格定制設(shè)計(jì)，適配汽車、智能裝備、機(jī)器人等多個(gè)行業(yè)的檢測(cè)場(chǎng)景。針對(duì)復(fù)雜曲面零部件，RPS 檢具采用非接觸式檢測(cè)方案；針對(duì)高精度孔位檢測(cè)，RPS 檢具配備特用接觸式探針；針對(duì)生產(chǎn)線在線檢測(cè)，RPS 檢具設(shè)計(jì)為快速裝夾結(jié)構(gòu)，滿足高效檢測(cè)需求。晟鼎精密的工程師團(tuán)隊(duì)可根據(jù)客戶提供的零部件 CAD 模型，快速完成 RPS 檢具的設(shè)計(jì)與制造，并提供安裝調(diào)試、操作人員培訓(xùn)等一站式服務(wù)。該 RPS 檢具定制化方案周期短、適配性強(qiáng)，已為多家企業(yè)解決了特殊檢測(cè)需求，成為行業(yè)內(nèi)定制化檢測(cè)方案的質(zhì)量 RPS 供應(yīng)商。湖南半導(dǎo)體RPS腔體清洗
