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      RPS基本參數(shù)
      • 品牌
      • 晟鼎精密
      • 型號(hào)
      • SPR-08
      • 用途
      • 工業(yè)用
      • 清洗方式
      • 遠(yuǎn)程等離子
      • 外形尺寸
      • 467*241*270
      • 產(chǎn)地
      • 廣東
      • 廠家
      • 晟鼎
      • 制程氣體
      • NF3、O?、CF4
      • 點(diǎn)火氣體/流量/壓力
      • 氬氣(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
      • 制程氣體流量
      • 8NF3sLm
      • 工作氣壓
      • 1-10torr
      • 離化率
      • ≥95%
      • 進(jìn)水溫度
      • 30℃
      RPS企業(yè)商機(jī)

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備,在保證高精度的同時(shí),具備操作便捷、維護(hù)簡(jiǎn)單的明顯優(yōu)勢(shì)。RPS 設(shè)備采用人性化設(shè)計(jì),配備直觀的操作界面,操作人員經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單培訓(xùn)即可上手操作。設(shè)備支持多種掃描模式一鍵切換,掃描參數(shù)可自動(dòng)適配不同材質(zhì)與顏色的掃描對(duì)象,降低操作難度。在維護(hù)方面,RPS 設(shè)備的中心部件采用模塊化設(shè)計(jì),更換便捷,減少維護(hù)時(shí)間;設(shè)備自帶校準(zhǔn)標(biāo)定引導(dǎo)功能,指引操作者正確進(jìn)行校準(zhǔn)調(diào)節(jié),避免不規(guī)范操作帶來(lái)的影響。RPS 設(shè)備的便攜式三角架承重達(dá) 10KG,移動(dòng)靈活,可適應(yīng)不同工作場(chǎng)景的使用需求。該 RPS 設(shè)備的平均無(wú)故障運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng),維護(hù)成本低,為用戶帶來(lái)了高效、經(jīng)濟(jì)的使用體驗(yàn),成為精密測(cè)量領(lǐng)域的熱門 RPS 產(chǎn)品。在超導(dǎo)腔處理中實(shí)現(xiàn)原子級(jí)潔凈表面制備。湖北遠(yuǎn)程等離子體源RPS定制

      湖北遠(yuǎn)程等離子體源RPS定制,RPS

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司推出的 RPS 遠(yuǎn)程等離子源,是半導(dǎo)體先進(jìn)制程中的關(guān)鍵中心設(shè)備。RPS 采用電感耦合等離子體技術(shù),通過(guò)單獨(dú)腔室生成高密度等離子體,經(jīng)遠(yuǎn)程傳輸區(qū)篩選后,只讓中性自由基進(jìn)入主工藝腔,從根源避免離子轟擊對(duì)晶圓的物理?yè)p傷。在 5nm 以下節(jié)點(diǎn)芯片制造中,RPS 展現(xiàn)出優(yōu)越的工藝適配性,無(wú)論是 FinFET 還是 GAA 晶體管加工,都能精細(xì)控制側(cè)壁粗糙度與晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O?、NF?等多種工藝氣體配比調(diào)節(jié),可實(shí)現(xiàn) SiO?與 SiN 的刻蝕選擇比超過(guò) 100:1,滿足高深寬比通孔的均勻加工需求。晟鼎精密的 RPS 設(shè)備在 300mm 晶圓處理中,能將刻蝕均勻性控制在 ±2% 以內(nèi),長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng),為半導(dǎo)體量產(chǎn)提供可靠保障,成為邏輯芯片、存儲(chǔ)器件制造中的推薦 RPS 解決方案。福建半導(dǎo)體設(shè)備RPS冗余電源在新能源電池制造中實(shí)現(xiàn)電極材料的表面改性。

      湖北遠(yuǎn)程等離子體源RPS定制,RPS

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的RPS三維光學(xué)掃描設(shè)備,為模具修復(fù)提供了精細(xì)的數(shù)字化數(shù)據(jù)支撐,大幅提升修復(fù)效率與質(zhì)量。模具在長(zhǎng)期使用中易出現(xiàn)型腔磨損、裂紋等問(wèn)題,傳統(tǒng)修復(fù)依賴人工經(jīng)驗(yàn)判斷,精度難以保證,而RPS可快速掃描受損模具,生成高精度三維數(shù)據(jù),與原始設(shè)計(jì)模型進(jìn)行比對(duì),自動(dòng)識(shí)別損傷區(qū)域與損傷程度。RPS掃描的點(diǎn)云數(shù)據(jù)密度可達(dá)每平方毫米1000個(gè)點(diǎn),能清晰呈現(xiàn)0.01mm級(jí)的細(xì)微磨損痕跡,為修復(fù)方案制定提供精確依據(jù)。在修復(fù)過(guò)程中,RPS可實(shí)時(shí)掃描修復(fù)區(qū)域,監(jiān)控修復(fù)進(jìn)度與尺寸精度,避免過(guò)度修復(fù)或修復(fù)不足。該RPS模具修復(fù)方案已應(yīng)用于注塑模、壓鑄模等多種模具的修復(fù)場(chǎng)景,使模具修復(fù)周期縮短50%,修復(fù)后模具壽命恢復(fù)至新模的90%以上,成為模具維修領(lǐng)域的中心RPS工具。

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備,為機(jī)器人零部件制造提供了多方位的精度把控方案。機(jī)器人零部件的尺寸精度與裝配精度直接影響機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)性能,RPS 設(shè)備的測(cè)量精度可達(dá) 0.01mm,能夠精細(xì)檢測(cè)齒輪、關(guān)節(jié)等關(guān)鍵零部件的尺寸偏差。RPS 支持快速批量掃描,可在短時(shí)間內(nèi)完成大量零部件的質(zhì)量篩查,提高生產(chǎn)效率。在機(jī)器人研發(fā)階段,RPS 可掃描競(jìng)品零部件,獲取三維數(shù)據(jù)用于設(shè)計(jì)參考;在量產(chǎn)階段,RPS 通過(guò)實(shí)時(shí)檢測(cè)及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)工藝,確保零部件質(zhì)量一致性。該 RPS 設(shè)備可與機(jī)器人設(shè)計(jì)軟件無(wú)縫對(duì)接,生成的三維數(shù)據(jù)可直接用于設(shè)計(jì)優(yōu)化與仿真分析。目前,RPS 已應(yīng)用于工業(yè)機(jī)器人、服務(wù)機(jī)器人等產(chǎn)品的制造檢測(cè),成為機(jī)器人產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的中心 RPS 技術(shù)支撐。RPS是一種用于產(chǎn)生等離子體的裝置,它通常被用于在真空環(huán)境中進(jìn)行表面處理、材料改性、薄膜沉積等工藝。

      湖北遠(yuǎn)程等離子體源RPS定制,RPS

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠(yuǎn)程等離子體源,在技術(shù)創(chuàng)新的同時(shí)注重環(huán)保與節(jié)能設(shè)計(jì),符合綠色制造發(fā)展趨勢(shì)。RPS 設(shè)備采用高效的氣體利用技術(shù),減少工藝氣體的消耗與浪費(fèi),降低污染物排放;在等離子體生成過(guò)程中,通過(guò)精細(xì)的能量控制,提高能源利用效率,降低運(yùn)行能耗。RPS 設(shè)備的工藝氣體可根據(jù)加工需求精細(xì)配比,避免過(guò)量氣體使用導(dǎo)致的環(huán)境污染;設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣經(jīng)過(guò)專門處理后再排放,符合環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。在節(jié)能方面,RPS 設(shè)備具備智能休眠功能,在閑置時(shí)自動(dòng)降低能耗;中心部件的低功耗設(shè)計(jì)進(jìn)一步減少了能源消耗。該 RPS 設(shè)備通過(guò)了多項(xiàng)環(huán)保與節(jié)能認(rèn)證,成為半導(dǎo)體、電子制造等領(lǐng)域綠色生產(chǎn)的推薦 RPS 裝備。在燃料電池制造中優(yōu)化電極界面。安徽推薦RPS石英舟清洗

      RPS遠(yuǎn)程等離子源在半導(dǎo)體晶圓清洗中實(shí)現(xiàn)納米級(jí)無(wú)損清潔。湖北遠(yuǎn)程等離子體源RPS定制

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 定位系統(tǒng),為物流倉(cāng)儲(chǔ)行業(yè)提供了高效的資產(chǎn)管理與流程優(yōu)化方案。在大型倉(cāng)庫(kù)中,RPS 通過(guò)超寬帶、藍(lán)牙信標(biāo)等定位技術(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)貨物、托盤、叉車等資產(chǎn)的實(shí)時(shí)位置追蹤,管理人員可通過(guò)終端設(shè)備快速查詢資產(chǎn)位置,大幅減少尋找時(shí)間。RPS 定位系統(tǒng)支持資產(chǎn)出入庫(kù)自動(dòng)記錄,實(shí)現(xiàn)庫(kù)存數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)更新,避免人工統(tǒng)計(jì)導(dǎo)致的誤差;通過(guò)與倉(cāng)儲(chǔ)管理系統(tǒng)聯(lián)動(dòng),RPS 可優(yōu)化貨物存儲(chǔ)位置,提高倉(cāng)庫(kù)空間利用率。在貨物分揀環(huán)節(jié),RPS 可引導(dǎo)分揀人員快速定位目標(biāo)貨物,提升分揀效率;在貨物運(yùn)輸過(guò)程中,RPS 實(shí)時(shí)監(jiān)控運(yùn)輸狀態(tài),確保貨物安全。該 RPS 物流倉(cāng)儲(chǔ)解決方案已應(yīng)用于多家大型物流企業(yè),幫助企業(yè)降低運(yùn)營(yíng)成本,提升管理效率,成為物流智能化升級(jí)的中心 RPS 技術(shù)。湖北遠(yuǎn)程等離子體源RPS定制

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