東莞市晟鼎精密儀器有限公司推出的 RPS 遠(yuǎn)程等離子源，是半導(dǎo)體先進(jìn)制程中的關(guān)鍵中心設(shè)備。RPS 采用電感耦合等離子體技術(shù)，通過單獨(dú)腔室生成高密度等離子體，經(jīng)遠(yuǎn)程傳輸區(qū)篩選后，只讓中性自由基進(jìn)入主工藝腔，從根源避免離子轟擊對(duì)晶圓的物理損傷。在 5nm 以下節(jié)點(diǎn)芯片制造中，RPS 展現(xiàn)出優(yōu)越的工藝適配性，無論是 FinFET 還是 GAA 晶體管加工，都能精細(xì)控制側(cè)壁粗糙度與晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O?、NF?等多種工藝氣體配比調(diào)節(jié)，可實(shí)現(xiàn) SiO?與 SiN 的刻蝕選擇比超過 100:1，滿足高深寬比通孔的均勻加工需求。晟鼎精密的 RPS 設(shè)備在 300mm 晶圓處理中，能將刻蝕均勻性控制在 ±2% 以內(nèi)，長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng)，為半導(dǎo)體量產(chǎn)提供可靠保障，成為邏輯芯片、存儲(chǔ)器件制造中的推薦 RPS 解決方案。晟鼎RPS有主動(dòng)網(wǎng)絡(luò)匹配技術(shù):可對(duì)不同氣體進(jìn)行阻抗匹配，使得等離子腔室獲得能量。廣東遠(yuǎn)程等離子源處理cvd腔室RPS石墨舟腔體清洗
東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠(yuǎn)程等離子體源，突破半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用局限，向多個(gè)行業(yè)拓展，展現(xiàn)出寬泛的適用性。在電子制造行業(yè)，RPS 用于電路板的精密清洗，去除表面殘留污染物，提升電路性能；在新能源行業(yè)，RPS 用于光伏電池的表面處理，增強(qiáng)光吸收能力，提高轉(zhuǎn)換效率；在醫(yī)療器械行業(yè)，RPS 用于植入體的表面改性，提升生物相容性。RPS 設(shè)備可根據(jù)不同行業(yè)的加工需求，調(diào)整工藝參數(shù)與氣體配比，實(shí)現(xiàn)定制化加工。晟鼎精密針對(duì)不同行業(yè)推出了特用 RPS 解決方案，配備相應(yīng)的工藝參數(shù)數(shù)據(jù)庫與操作規(guī)范，幫助客戶快速上手使用。該 RPS 多行業(yè)應(yīng)用方案已獲得多個(gè)行業(yè)客戶的認(rèn)可，成為跨領(lǐng)域高精度加工的中心 RPS 設(shè)備。北京晟鼎RPS常用知識(shí)用于光伏PERC電池的背鈍化層沉積前表面活化。
東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠(yuǎn)程等離子體源，針對(duì)第三代半導(dǎo)體（GaN、SiC）的加工特性進(jìn)行了專項(xiàng)優(yōu)化，成為該領(lǐng)域的中心加工設(shè)備。第三代半導(dǎo)體材料硬度高、脆性大，傳統(tǒng)加工方式易產(chǎn)生表面損傷，RPS 通過中性自由基反應(yīng)實(shí)現(xiàn)低損傷加工，避免表面微裂紋的產(chǎn)生。RPS 可精細(xì)控制工藝參數(shù)，適配 GaN、SiC 等材料的刻蝕與清潔需求，在保證加工精度的同時(shí)，比較大限度保護(hù)材料原有性能。在第三代半導(dǎo)體器件制造中，RPS 的高選擇性刻蝕能力可實(shí)現(xiàn)不同材料層的精細(xì)分離，高深寬比加工能力滿足器件微型化需求。該 RPS 設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，工藝重復(fù)性強(qiáng)，可滿足第三代半導(dǎo)體量產(chǎn)需求，目前已應(yīng)用于功率器件、射頻器件等產(chǎn)品的制造，為第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了關(guān)鍵的 RPS 技術(shù)支撐。
東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 檢具建立了完善的質(zhì)量追溯與全生命周期管理體系，確保檢測(cè)設(shè)備的長(zhǎng)期可靠性。RPS 檢具從原材料采購(gòu)開始，每個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)都有詳細(xì)的質(zhì)量記錄，包括加工參數(shù)、檢測(cè)結(jié)果等，可實(shí)現(xiàn)全程追溯。在使用過程中，RPS 檢具配備使用記錄模塊，記錄每次檢測(cè)的時(shí)間、操作人員、檢測(cè)結(jié)果等信息，便于設(shè)備維護(hù)與質(zhì)量問題排查。晟鼎精密提供 RPS 檢具的定期校準(zhǔn)與維護(hù)服務(wù)，根據(jù)設(shè)備使用情況制定個(gè)性化維護(hù)方案，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。當(dāng) RPS 檢具達(dá)到使用年限后，公司提供專業(yè)的回收與報(bào)廢處理服務(wù)，確保環(huán)保合規(guī)。該 RPS 檢具全生命周期管理方案為客戶降低了使用成本，提升了檢測(cè)可靠性，成為企業(yè)質(zhì)量控制的長(zhǎng)期合作伙伴。RPS利用原子的高活性強(qiáng)氧化特性，達(dá)到清洗CVD或其他腔室后生產(chǎn)工藝的目的。
東莞市晟鼎精密儀器有限公司研發(fā)的 RPS 遠(yuǎn)程等離子源 SPR-08，為半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體清潔提供原子級(jí)解決方案。該 RPS 設(shè)備基于電感耦合等離子體技術(shù)，通過交變電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用解離 NF3/O2 等工藝氣體，釋放出高活性自由基，與工藝腔室內(nèi)沉積的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等殘余氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，聚合為氣態(tài)分子后經(jīng)真空泵組抽出。RPS 的中心優(yōu)勢(shì)在于實(shí)現(xiàn)等離子體生成區(qū)與主工藝腔的物理隔離，避免離子轟擊造成的腔室損傷，同時(shí)保證清潔徹底性。在 5nm 以下先進(jìn)制程中，RPS 清潔技術(shù)可有效去除光刻膠殘留與微小污染物，確保腔室潔凈度滿足高精度加工要求。RPS 設(shè)備操作便捷，維護(hù)簡(jiǎn)單，運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng)，可適配不同規(guī)格半導(dǎo)體工藝腔體，目前已成為半導(dǎo)體制造企業(yè)提升產(chǎn)能與產(chǎn)品良率的關(guān)鍵 RPS 設(shè)備。遠(yuǎn)程等離子體源RPS可以被集成到真空處理系統(tǒng)中，使得表面處理和材料改性的工藝更加靈活和高效。江蘇推薦RPS石墨舟處理
適用于防腐涂層前處理的綠色表面活化。廣東遠(yuǎn)程等離子源處理cvd腔室RPS石墨舟腔體清洗
東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備，憑借快速批量檢測(cè)能力，成為消費(fèi)電子制造行業(yè)的中心質(zhì)量控制工具。消費(fèi)電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快，批量大，對(duì)檢測(cè)效率要求高，RPS 設(shè)備單幅測(cè)量時(shí)間≤1.5 秒，結(jié)合全自動(dòng)拼接技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)零部件的快速批量掃描檢測(cè)。RPS 設(shè)備的測(cè)量精度可達(dá) 0.01mm，能夠滿足消費(fèi)電子零部件的高精度檢測(cè)需求，如手機(jī)外殼、攝像頭模組等。在生產(chǎn)線上，RPS 檢測(cè)設(shè)備可與自動(dòng)化生產(chǎn)線聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)零部件的在線檢測(cè)，及時(shí)剔除不合格產(chǎn)品，避免批量質(zhì)量問題。該 RPS 批量檢測(cè)方案已應(yīng)用于多家前端消費(fèi)電子企業(yè)，幫助企業(yè)提升生產(chǎn)效率，降低質(zhì)量成本，成為消費(fèi)電子制造行業(yè)的推薦 RPS 檢測(cè)設(shè)備。廣東遠(yuǎn)程等離子源處理cvd腔室RPS石墨舟腔體清洗
