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      RPS基本參數(shù)
      • 品牌
      • 晟鼎精密
      • 型號
      • SPR-08
      • 用途
      • 工業(yè)用
      • 清洗方式
      • 遠程等離子
      • 外形尺寸
      • 467*241*270
      • 產(chǎn)地
      • 廣東
      • 廠家
      • 晟鼎
      • 制程氣體
      • NF3、O?、CF4
      • 點火氣體/流量/壓力
      • 氬氣(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
      • 制程氣體流量
      • 8NF3sLm
      • 工作氣壓
      • 1-10torr
      • 離化率
      • ≥95%
      • 進水溫度
      • 30℃
      RPS企業(yè)商機

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 三維光學(xué)掃描設(shè)備,為機器人零部件制造提供了多方位的精度把控方案。機器人零部件的尺寸精度與裝配精度直接影響機器人的運動性能,RPS 設(shè)備的測量精度可達 0.01mm,能夠精細檢測齒輪、關(guān)節(jié)等關(guān)鍵零部件的尺寸偏差。RPS 支持快速批量掃描,可在短時間內(nèi)完成大量零部件的質(zhì)量篩查,提高生產(chǎn)效率。在機器人研發(fā)階段,RPS 可掃描競品零部件,獲取三維數(shù)據(jù)用于設(shè)計參考;在量產(chǎn)階段,RPS 通過實時檢測及時調(diào)整生產(chǎn)工藝,確保零部件質(zhì)量一致性。該 RPS 設(shè)備可與機器人設(shè)計軟件無縫對接,生成的三維數(shù)據(jù)可直接用于設(shè)計優(yōu)化與仿真分析。目前,RPS 已應(yīng)用于工業(yè)機器人、服務(wù)機器人等產(chǎn)品的制造檢測,成為機器人產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的中心 RPS 技術(shù)支撐。用于磁性存儲器件的精密圖形化刻蝕工藝。北京RPS哪家好

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      東莞市晟鼎精密儀器有限公司研發(fā)的 RPS 遠程等離子源 SPR-08,為半導(dǎo)體設(shè)備工藝腔體清潔提供原子級解決方案。該 RPS 設(shè)備基于電感耦合等離子體技術(shù),通過交變電場和磁場作用解離 NF3/O2 等工藝氣體,釋放出高活性自由基,與工藝腔室內(nèi)沉積的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等殘余氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),聚合為氣態(tài)分子后經(jīng)真空泵組抽出。RPS 的中心優(yōu)勢在于實現(xiàn)等離子體生成區(qū)與主工藝腔的物理隔離,避免離子轟擊造成的腔室損傷,同時保證清潔徹底性。在 5nm 以下先進制程中,RPS 清潔技術(shù)可有效去除光刻膠殘留與微小污染物,確保腔室潔凈度滿足高精度加工要求。RPS 設(shè)備操作便捷,維護簡單,運行穩(wěn)定性強,可適配不同規(guī)格半導(dǎo)體工藝腔體,目前已成為半導(dǎo)體制造企業(yè)提升產(chǎn)能與產(chǎn)品良率的關(guān)鍵 RPS 設(shè)備。福建推薦RPS腔室遠程等離子源晟鼎RPS有主動網(wǎng)絡(luò)匹配技術(shù):可對不同氣體進行阻抗匹配,使得等離子腔室獲得能量。

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      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 定位技術(shù),為增強現(xiàn)實(AR)應(yīng)用提供了高精度的位置信息支撐。AR 應(yīng)用對定位精度要求嚴(yán)苛,RPS 通過 Wi-Fi 指紋定位、室內(nèi)地圖定位等多種技術(shù)融合,實現(xiàn)厘米級定位精度,確保虛擬物體與現(xiàn)實場景的精細疊加。在 AR 導(dǎo)航、AR 工業(yè)維修等場景中,RPS 可實時更新用戶位置信息,保障虛擬指引與實際環(huán)境的一致性;在 AR 娛樂應(yīng)用中,RPS 快速的定位響應(yīng)速度提升了用戶交互體驗。晟鼎精密的 RPS 定位系統(tǒng)具備良好的兼容性,可與多種 AR 設(shè)備與平臺對接,支持多用戶同時定位。通過持續(xù)優(yōu)化定位算法,RPS 在復(fù)雜環(huán)境中的定位穩(wěn)定性不斷提升,為 AR 技術(shù)的商業(yè)化應(yīng)用提供了可靠的 RPS 技術(shù)基礎(chǔ)。

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠程等離子體源,針對第三代半導(dǎo)體(GaN、SiC)的加工特性進行了專項優(yōu)化,成為該領(lǐng)域的中心加工設(shè)備。第三代半導(dǎo)體材料硬度高、脆性大,傳統(tǒng)加工方式易產(chǎn)生表面損傷,RPS 通過中性自由基反應(yīng)實現(xiàn)低損傷加工,避免表面微裂紋的產(chǎn)生。RPS 可精細控制工藝參數(shù),適配 GaN、SiC 等材料的刻蝕與清潔需求,在保證加工精度的同時,比較大限度保護材料原有性能。在第三代半導(dǎo)體器件制造中,RPS 的高選擇性刻蝕能力可實現(xiàn)不同材料層的精細分離,高深寬比加工能力滿足器件微型化需求。該 RPS 設(shè)備運行穩(wěn)定,工藝重復(fù)性強,可滿足第三代半導(dǎo)體量產(chǎn)需求,目前已應(yīng)用于功率器件、射頻器件等產(chǎn)品的制造,為第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了關(guān)鍵的 RPS 技術(shù)支撐。在新能源電池制造中實現(xiàn)電極材料的表面改性。

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      東莞市晟鼎精密儀器有限公司推出 RPS 快速模具與 3D 打印的協(xié)同應(yīng)用方案,整合兩種技術(shù)優(yōu)勢,為客戶提供更高效的生產(chǎn)解決方案。在產(chǎn)品研發(fā)初期,通過 RPS 3D 打印快速制作樣品,進行外觀與結(jié)構(gòu)驗證;當(dāng)樣品驗證通過后,利用 RPS 快速模具進行小批量生產(chǎn),滿足市場測試需求。RPS 3D 打印具備快速成型、設(shè)計自由度高的優(yōu)勢,可制作復(fù)雜結(jié)構(gòu)樣品;RPS 快速模具則具備生產(chǎn)效率高、零件質(zhì)量好的特點,可實現(xiàn)接近量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)的小批量生產(chǎn)。兩種技術(shù)的協(xié)同應(yīng)用,實現(xiàn)了從樣品研發(fā)到小批量生產(chǎn)的無縫銜接,大幅縮短了產(chǎn)品上市周期。該 RPS 協(xié)同應(yīng)用方案已應(yīng)用于智能裝備、醫(yī)療設(shè)備等多個領(lǐng)域,成為企業(yè)產(chǎn)品研發(fā)與生產(chǎn)的高效 RPS 組合方案。在存儲芯片制造中提升介質(zhì)層可靠性。安徽遠程等離子體源RPS光伏設(shè)備清洗

      在石墨烯器件制備中實現(xiàn)無損轉(zhuǎn)移。北京RPS哪家好

      東莞市晟鼎精密儀器有限公司的 RPS 遠程等離子體源,在技術(shù)創(chuàng)新的同時注重環(huán)保與節(jié)能設(shè)計,符合綠色制造發(fā)展趨勢。RPS 設(shè)備采用高效的氣體利用技術(shù),減少工藝氣體的消耗與浪費,降低污染物排放;在等離子體生成過程中,通過精細的能量控制,提高能源利用效率,降低運行能耗。RPS 設(shè)備的工藝氣體可根據(jù)加工需求精細配比,避免過量氣體使用導(dǎo)致的環(huán)境污染;設(shè)備運行過程中產(chǎn)生的廢氣經(jīng)過專門處理后再排放,符合環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。在節(jié)能方面,RPS 設(shè)備具備智能休眠功能,在閑置時自動降低能耗;中心部件的低功耗設(shè)計進一步減少了能源消耗。該 RPS 設(shè)備通過了多項環(huán)保與節(jié)能認(rèn)證,成為半導(dǎo)體、電子制造等領(lǐng)域綠色生產(chǎn)的推薦 RPS 裝備。北京RPS哪家好

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