微泰真空卡盤(pán)精密的半導(dǎo)體晶圓真空吸盤(pán)是半導(dǎo)體制造設(shè)備的關(guān)鍵部件,可確保晶圓表面的平坦度和平行度,從而在半導(dǎo)體制造過(guò)程中安全地固定晶圓,使各種制造過(guò)程順利進(jìn)行。微泰使無(wú)氧銅、鋁、SUS材料的半導(dǎo)體晶圓真空吸盤(pán)的平坦度保持在3微米以下;支持6英寸、8英寸和12英寸尺寸的晶圓加工;支持2層和3層的高級(jí)加工技術(shù)。提供4層連接。尺寸:6英寸,8英寸.12英寸。材料:AL6061,AL7075,SUS304,SUS316OFHC(OxygenfreeHighConductivityCopper)平面度公差:小于3um連接:2floor,3floor,4floor表面處理:Anodizing,ElectrolessNickelPlating,GoldPlating,MirrorPolishing。無(wú)氧銅(OFHC)半導(dǎo)體晶圓真空卡盤(pán),無(wú)氧銅(OFHC)材料可延長(zhǎng)晶圓卡盤(pán)的使用壽命,并可MAX限度地減少雜質(zhì)進(jìn)入半導(dǎo)體材料,從而防止?jié)撛谖廴荆乙子诩庸ず统尚?,可精確匹配卡盤(pán)設(shè)計(jì)??杉庸?。然而,這種材料的加工要求極高,需要特別小心和精確才能獲得光滑的表面光潔度,例如翹曲或毛刺、易變形和加工過(guò)程中的硬化。超精密加工包括微細(xì)加工、超微細(xì)加工、光整加工、精整加工等加工技術(shù)。超精密刀具制造
精密激光打孔是激光微加工重要的一方面,其應(yīng)用范圍很廣,包括金屬鉆孔,陶瓷鉆孔,半導(dǎo)體材料鉆孔,玻璃鉆孔,柔性材料鉆孔等等,尤其是針對(duì)一些堅(jiān)硬易碎或者彈性較大的材料,如西林瓶打孔、安瓿瓶打孔、輸液袋打孔等氣密性檢測(cè)相關(guān),陶瓷,藍(lán)寶石,薄膜等優(yōu)勢(shì)尤為明顯。目前弘遠(yuǎn)激光智能科技有限公司能夠?qū)崿F(xiàn)高深徑比的精密鉆孔,高效密集鉆孔,比如安瓿瓶、西林瓶打微米孔,打裂紋,輸液袋打微米孔、醫(yī)用霧化片打孔等等。超精密激光打孔因?yàn)槠洳牧咸厥猓靡酝拇蚩讬C(jī)械如果掌握不好,打出來(lái)的孔會(huì)出現(xiàn)扁孔、多邊孔等不圓的情況,而且打出來(lái)的孔不光滑孔口毛邊很大,有的還需要進(jìn)行二次加工才能使用。而且機(jī)械打孔目前不能實(shí)現(xiàn)微米級(jí)別打孔,隨著人們對(duì)打孔工藝的要求越來(lái)越精細(xì),其傳統(tǒng)的機(jī)械加工方法已不能滿足各種打孔加工速度、質(zhì)量、深徑比等要求。特別是薄鋁板的打孔與切割,其要求更是越來(lái)越高,而激光打孔可以滿足許多加工的特殊要求。超精密刀具制造對(duì)于大件產(chǎn)品的加工,大件產(chǎn)品的模具制造費(fèi)用很高,激光超精密加工不需任何模具制造。

精密和超精密磨削精密、超精密加工發(fā)展初期,磨削這種加工方法是被忽略的,因?yàn)樯拜喼心チG邢魅懈叨妊貜较蚍植嫉碾S機(jī)性和磨損的不規(guī)則性限制了磨削加工精度的提高。隨著超硬磨料砂輪及砂輪修整技術(shù)的發(fā)展,精密、超精密磨削技術(shù)逐漸成形并迅速發(fā)展。金屬結(jié)合劑超硬磨料砂輪硬度高、強(qiáng)度大、保形能力強(qiáng)、耐磨性好,往往為精密和超精密磨削、成形磨削所采用。多層金屬結(jié)合劑超硬砂輪在實(shí)際使用過(guò)程中遇到的突出問(wèn)題是:磨料把持力低、易脫落;磨粒出刃難、出刃后出刃高度難以保持;磨料分布隨機(jī)性強(qiáng)。針對(duì)磨粒把持力弱的問(wèn)題,在磨粒表面鍍上活性金屬,通過(guò)活性金屬與磨料和結(jié)合劑的化學(xué)反應(yīng)與擴(kuò)散作用,提高結(jié)合劑對(duì)磨料的把持力,如此誕生了鍍衣砂輪。為解決磨粒出刃難的問(wèn)題,引入孔隙結(jié)構(gòu)誕生了多孔金屬結(jié)合劑砂輪。電鍍、高溫釬焊砂輪對(duì)上述三個(gè)方面都有改善,這些新型超硬磨料砂輪均出現(xiàn)于20世紀(jì)90年代。
專(zhuān)門(mén)從事 K 半導(dǎo)體材料和零件! 微泰,專(zhuān)業(yè)制造半導(dǎo)體設(shè)備中的精密元件,包括半導(dǎo)體晶圓真空卡盤(pán)、半導(dǎo)體孔卡盤(pán)和半導(dǎo)體流量計(jì),并在自己的研發(fā)技術(shù)實(shí)驗(yàn)室?guī)椭岣弋a(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù)開(kāi)發(fā)。 積極參與公司和國(guó)家研究支持項(xiàng)目,幫助實(shí)現(xiàn)零件本地化,并建立了系統(tǒng)的質(zhì)量控制和檢測(cè)系統(tǒng),以及戰(zhàn)略性集成的制造基礎(chǔ)設(shè)施。我們?yōu)榭蛻艨焖偬峁┢焚|(zhì)好、有競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品。與零件和設(shè)備制造商建立了有機(jī)合作關(guān)系,從產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的早期階段開(kāi)始,通過(guò)共同參與縮短了工藝流程,生產(chǎn)出具有高耐用性和高穩(wěn)定性的產(chǎn)品。美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)是世界上的半導(dǎo)體市場(chǎng)。 出口到跨國(guó)公司,包括排名前位的公司。 從而以優(yōu)化的成本降低了生產(chǎn)成本,在零件設(shè)計(jì)、直接加工和裝配過(guò)程中提高了質(zhì)量。持續(xù)發(fā)展客戶所需的半導(dǎo)體精密元件的關(guān)鍵技術(shù)開(kāi)發(fā)能力,微泰,為客戶成功做出貢獻(xiàn)。我們將盡極大努力創(chuàng)造新的商業(yè)機(jī)會(huì)。精密制造技術(shù)、客戶滿意的產(chǎn)品和創(chuàng)新的未來(lái)價(jià)值。目前超精密加工技術(shù)能應(yīng)用在所有的金屬材料、塑料、木材、石磨與玻璃上。

超精密加工技術(shù)當(dāng)前是指被加工零件的尺寸和形狀精度高于0.1μm,表面粗糙度Ra小于0.025μm,以及機(jī)床定位精度的分辨率和重復(fù)性高于0.01μm的加工技術(shù),亦稱(chēng)之為亞微米級(jí)加工技術(shù),目前正在向納米級(jí)加工技術(shù)發(fā)展。超精密加工技術(shù)在國(guó)際上處于前地位的國(guó)家是美國(guó)、英國(guó)和日本。美國(guó)是開(kāi)展超精密加工技術(shù)研究很早的國(guó)家,也是迄今處于前方地位的國(guó)家。英國(guó)的克蘭菲爾德精密工程研究所(簡(jiǎn)稱(chēng)CUPE)享有較高聲譽(yù),是當(dāng)今世界上精密工程的研究中心之一。日本的超精密加工技術(shù)的研究相對(duì)于英美來(lái)說(shuō)起步較晚,但它是當(dāng)今世界上超精密加工技術(shù)發(fā)展很快的國(guó)家。尤其在用于聲、光、圖像、辦公設(shè)備中的小型、超小型電子和光學(xué)零件的超精密加工技術(shù)方面,甚至超過(guò)了美國(guó)。從加工周期來(lái)看,激光超精密加工操作簡(jiǎn)單,切縫寬度方便調(diào)控,可立即進(jìn)行高速雕刻和切割、加工速度快。日本技術(shù)超精密覆膜貼合工具
超精密激光加工屬于非接觸加工,不會(huì)對(duì)材料造成機(jī)械擠壓或應(yīng)力。熱影響區(qū)和變形很小,能加工微小的零部件。超精密刀具制造
微泰擁有30多年的技術(shù)和專(zhuān)業(yè)知識(shí),生產(chǎn)了各種刀具和刀片。切割加工(包括MLCC和薄膜、新能源電池等)所需的切割加工需要超精密的切割加工,需要超精密的切割加工、切割邊緣的角度管理以及良好的材料管理,以防止被切割產(chǎn)品造成損壞。刀具通常有刀片、刀具、輪刀等多種名稱(chēng),而刀刃的管理是刀具的關(guān)鍵技術(shù)。為此,weit提供了一系列值得信賴、可靠的高精度、高質(zhì)量和長(zhǎng)壽命刀具。用于MLCC生產(chǎn)流程的精密刀片,立式刀片切割刀片(雙級(jí)刀片)。刀輪:原材料:碳化鎢。應(yīng)用:用于MLCC制造時(shí)切割陶瓷和電極片。·同心度(通常小于10微米)小于10微米·刀鋒直線度小于3微米,小于3微米的切割邊緣上的直度和平行性。刀片三星電子用于手機(jī)鏡頭澆口切割。超精密刀具制造