飛秒激光加工技術(shù)是一種利用超短脈沖激光(脈沖寬度為飛秒級(jí),1飛秒=10?1?秒)進(jìn)行材料加工的先進(jìn)技術(shù),因其高精度、無(wú)熱效應(yīng)和多材料適用性,成為現(xiàn)代制造業(yè)的有用工具。飛秒激光以其極短的脈沖時(shí)間和超高峰值功率,能夠在材料表面實(shí)現(xiàn)“冷加工”,廣泛應(yīng)用于微納加工、醫(yī)療器械制造、航空航天和電子工業(yè)等領(lǐng)域。飛秒激光加工的主要優(yōu)勢(shì)在于其非熱效應(yīng)的特性。傳統(tǒng)激光加工因熱擴(kuò)散易導(dǎo)致材料變形或燒傷,而飛秒激光的超短脈沖能在材料吸收能量前完成切割或雕刻,避免熱影響區(qū)(HAZ),從而實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)精度。這種特性特別適合加工高精度器件,如半導(dǎo)體芯片、微流控芯片和光學(xué)元件。此外,飛秒激光對(duì)金屬、陶瓷、玻璃、聚合物等多種材料均有出色適應(yīng)性,極大拓寬了應(yīng)用范圍。在實(shí)際應(yīng)用中,飛秒激光加工展現(xiàn)了很好的靈活性。例如,在醫(yī)療領(lǐng)域,它可用于制造高精度的植入式醫(yī)療器械,如心臟支架;在電子行業(yè),可用于切割超薄玻璃屏幕或加工柔性電路板;在科研領(lǐng)域,則用于微納結(jié)構(gòu)的制造,如光子晶體和微透鏡陣列。其加工過(guò)程高效、清潔,無(wú)需復(fù)雜的前后處理,明顯提升生產(chǎn)效率。飛秒激光微細(xì)加工的適配范圍是 0.5-25 微米,除了半導(dǎo)體和光學(xué)產(chǎn)品等工業(yè)應(yīng)用外,生物研究加工方面也有應(yīng)用。自動(dòng)化飛秒激光鉆孔

飛秒激光作用于金屬和非金屬加工時(shí)原理完全不同,金屬表面存在大量的自由電子,當(dāng)激光照射金屬表面時(shí),自由電子會(huì)瞬間被加熱,數(shù)十飛秒內(nèi)讓電子電子發(fā)生碰撞,自由電子將能量傳道給晶格,形成開(kāi)孔。但由于自由電子碰撞的能量要比離子小的多,所以傳導(dǎo)能量需要較長(zhǎng)時(shí)間,但目前該難題已被我國(guó)科學(xué)家攻克。在飛秒激光作用于非金屬材料時(shí),由于材料表面自由電子較少,激光照射時(shí)先要使得材料表面電離,進(jìn)而產(chǎn)生自由電子,剩下的環(huán)節(jié)與金屬材料一致。飛秒激光加工微孔時(shí),在初級(jí)階段先形成一個(gè)小坑,隨著脈沖數(shù)量的增多,坑深度不斷增加,但隨著深度的增加,坑底的碎屑飛出的難度也越來(lái)越大,導(dǎo)致激光向底部傳播的能量越來(lái)越少,*終達(dá)到深度不可增加的飽和狀態(tài),即打完一個(gè)微孔。廣東代工飛秒激光顆粒面膜板由于能量沉積時(shí)間極短,因此飛秒激光可以在沒(méi)有熱效應(yīng)的情況下進(jìn)行加工。

隨著科技的飛速發(fā)展,半導(dǎo)體行業(yè)已經(jīng)成為現(xiàn)代電子設(shè)備不可或缺的重要部分。在這個(gè)領(lǐng)域,精密制造技術(shù)的進(jìn)步對(duì)于提高產(chǎn)品性能和降低成本具有至關(guān)重要的作用。其中,飛秒激光切割機(jī)作為一種先進(jìn)的精密加工技術(shù),正逐漸在半導(dǎo)體行業(yè)中發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用。在半導(dǎo)體晶片制造過(guò)程中,飛秒激光切割機(jī)被廣泛應(yīng)用于晶圓的切割和成型。由于半導(dǎo)體晶片的尺寸非常小,且對(duì)精度和表面質(zhì)量的要求極高,傳統(tǒng)的切割方法往往難以滿(mǎn)足這些要求。而飛秒激光切割技術(shù)具有高精度、高效率、無(wú)接觸等優(yōu)點(diǎn),能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的快速、準(zhǔn)確切割,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。微電子器件是現(xiàn)代電子設(shè)備的重要組成部分,其制造過(guò)程中需要對(duì)各種微小的電路和元件進(jìn)行精確加工。飛秒激光切割機(jī)可以用于制造各種微電子器件,如集成電路、微電機(jī)等。這些器件需要高精度的切割和焊接,而飛秒激光切割技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)這些要求,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
激光是作為繼原子能、計(jì)算機(jī)、半導(dǎo)體之后,人類(lèi)的又一重大發(fā)明。激光是指原子受激輻射產(chǎn)生的光,具有高亮度、高方向性、高單色性和高相干性的特性。激光的良好性能使其在工業(yè)、通信、醫(yī)學(xué)、等領(lǐng)域具備較高的應(yīng)用高價(jià)值。飛秒激光精細(xì)微加工領(lǐng)域技術(shù)門(mén)檻高,涉足企業(yè)不多,公司競(jìng)爭(zhēng)力強(qiáng)勁。激光行業(yè)中宏觀加工市場(chǎng)規(guī)模較大,參與競(jìng)爭(zhēng)的企業(yè)數(shù)量較多。激光精細(xì)微加工領(lǐng)域技術(shù)門(mén)檻較高,起步較晚,參與競(jìng)爭(zhēng)的企業(yè)數(shù)量較少。飛秒激光微加工是通過(guò)高光子能量或者高峰值功率和物質(zhì)發(fā)生相互作用,可以在很短的時(shí)間內(nèi)將物質(zhì)的分子健直接破壞從而改變局部材料的特性而實(shí)現(xiàn)加工目的。有別于連續(xù)波激光,飛秒激光屬于脈沖激光,因次會(huì)使用中心波長(zhǎng)來(lái)描述它的激光光頻率。

飛秒激光技術(shù)在3C產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用。飛秒激光作為超短脈沖激光的典型,具有超短脈寬、超高峰值功率的特點(diǎn),其加工對(duì)象廣,尤其適合加工藍(lán)寶石、玻璃、陶瓷等脆性材料和熱敏性材料,因此適合于電子產(chǎn)業(yè)微細(xì)加工行業(yè)應(yīng)用。主要原因是從去年開(kāi)始的指紋識(shí)別模組在手機(jī)上的應(yīng)用帶動(dòng)了飛秒激光設(shè)備的采購(gòu)。指紋模組涉及到激光加工的環(huán)節(jié)有:①晶圓劃片、②芯片切割、③蓋板切割、④FPC軟板外形切割鉆孔、⑤激光打標(biāo)等。其中主要是藍(lán)寶石/玻璃蓋板和IC芯片的加工。蘋(píng)果6從2015年開(kāi)始正式使用指紋識(shí)別同時(shí)帶動(dòng)了一批國(guó)產(chǎn)品牌的普及,目前指紋識(shí)別滲透率不足50%,因此用于加工指紋識(shí)別模組的激光機(jī)仍有較大發(fā)展空間。同時(shí),激光機(jī)還可以應(yīng)用于PCB鉆孔、晶圓劃片切割等,應(yīng)用領(lǐng)域在不斷拓寬。尤其是隨著未來(lái)手機(jī)中藍(lán)寶石和陶瓷等高附加值脆性材料的應(yīng)用,激光加工設(shè)備將成為3C自動(dòng)化設(shè)備中重要的組成部分。我們認(rèn)為在3C自動(dòng)化加工設(shè)備領(lǐng)域,飛秒激光未來(lái)或?qū)缪葜匾羁痰慕巧?。飛秒激光能量傳輸時(shí)間極短,加工過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生熱效應(yīng)。廣東代工飛秒激光顆粒面膜板
飛秒激光技術(shù)的未來(lái)發(fā)展?jié)摿薮?,特別是在新能源的產(chǎn)生方面。自動(dòng)化飛秒激光鉆孔
飛秒激光鉆孔技術(shù)還可被運(yùn)用于核聚變上,核聚變中的點(diǎn)火靶球具有充氣微孔,只有微孔的數(shù)量多、精度高才能保證聚變反應(yīng)的控制精度,而飛秒激光加工技術(shù)恰好能滿(mǎn)足這一要求。近年來(lái)飛秒激光鉆孔技術(shù)還被運(yùn)用到透明材料內(nèi)部的三維微孔加工中,這種制造技術(shù)將有利于制造飛機(jī)、坦克、艦艇上使用的光電傳感器設(shè)備。加工方法一般是通過(guò)液體輔助,在透明材料表面直接燒蝕成孔,讓液體將碎屑去除,這樣的方法可以達(dá)到更高的鉆孔深度。飛秒激光技術(shù)的發(fā)展能更好地推動(dòng)我國(guó)對(duì)核能領(lǐng)域的進(jìn)一步探索。自動(dòng)化飛秒激光鉆孔