高效超精密真空卡盤(pán)

超精密加工技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)向更高精度方向發(fā)展：由現(xiàn)在的亞微米級(jí)向納米級(jí)進(jìn)軍，以期達(dá)到移動(dòng)原子的目的，實(shí)現(xiàn)原子級(jí)加工。向大型化方向發(fā)展：研制各類(lèi)大型的超精密加工設(shè)備，以滿足航空、航天、通信和安全的需要。向微型化方向發(fā)展：以適應(yīng)飛速發(fā)展的微機(jī)械、集成電路的需要。向超精結(jié)構(gòu)、多功能、光、加工檢測(cè)一體化等方向發(fā)展：多采用先進(jìn)的檢測(cè)監(jiān)控技術(shù)實(shí)時(shí)誤差補(bǔ)償。新工藝和復(fù)合加工技術(shù)不斷涌現(xiàn)：使加工的材料的范圍不斷擴(kuò)大1。超精密加工的表面完整性包括粗糙度、殘余應(yīng)力等，影響零件使用性能。高效超精密真空卡盤(pán)

為了縮小產(chǎn)品體積、提高產(chǎn)品性能，需要高精度的微型零件。為此需要較迄今為止更為精密細(xì)微的加工技術(shù)。環(huán)境、裝置、設(shè)備、測(cè)量、測(cè)評(píng)、工具、材料、加工方法。本公司在推進(jìn)研發(fā)時(shí)周全考慮超精密·細(xì)微加工的所有相關(guān)要素，可承接金屬、樹(shù)脂、陶瓷等各種材料的加工。在半導(dǎo)體樹(shù)脂封裝的模具制造過(guò)程中積累的超精密加工技術(shù)為兼顧產(chǎn)品小型化和高性能兩方面的需求，要求制造用的模具和零件具有同樣的高精度和微型化。本公司在長(zhǎng)年積累的核心專(zhuān)利基礎(chǔ)上，與機(jī)床生產(chǎn)商共同開(kāi)發(fā)了自動(dòng)化設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了無(wú)人化加工。憑借先進(jìn)的加工設(shè)備以及成熟的技術(shù)，實(shí)現(xiàn)超硬度材料的亞微米級(jí)加工，不僅可生產(chǎn)半導(dǎo)體及LED模具，更可為所有精密加工提供整體解決方案。曲面復(fù)合加工以R形曲面型腔為例，在超精密加工中，本公司通過(guò)有規(guī)則地配置切削、研削與放電這三種不同的加工工藝，可打造細(xì)致的花紋，并可將每個(gè)加工面的高度差控制在1μm以下。高效超精密貼片電容超精密加工設(shè)備的熱誤差補(bǔ)償系統(tǒng)能實(shí)時(shí)修正溫度變化帶來(lái)的精度偏差。

微泰半導(dǎo)體流量計(jì)精密元件半導(dǎo)體流量計(jì)的精密組件，可精確測(cè)量半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的各種氣體和液體的流量，并提供實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)來(lái)嚴(yán)格控制該過(guò)程。由主體（Body）、葉片(impeller)、鎢軸和釬焊軸組成。鋁、不銹鋼（SUS304、SUS316）、聚甲醛（POM）、可采用聚醚醚酮(PEEK)材料加工，提供1/2"、3/4"、1"、11/4"尺寸。模組型產(chǎn)品尺寸：1/2英寸、9/4英寸、1英寸、11/4英寸材料:AL6061,SUS304,SUS316,POM,PEEK零件包括：主體、葉片、鎢軸和釬焊軸。半導(dǎo)體流量計(jì)適用于半導(dǎo)體設(shè)備的流量計(jì)，具有高精度的流量檢測(cè)功能，能夠承受從低到高的溫度變化，并能將傳感器和轉(zhuǎn)換器等部件降到比較低，從而提高空間利用率。

飛秒激光利用相對(duì)較短的激光脈沖，熱損傷很小，加工對(duì)象沒(méi)有物性變形層，表面平整，可以實(shí)現(xiàn)超精密微孔加工。微泰利用先進(jìn)的飛秒激光高速螺旋鉆削技術(shù)，用掃描儀，可以在任何位置自由調(diào)整聚焦點(diǎn)，還可以調(diào)節(jié)激光束的入射角，從而實(shí)現(xiàn)錐度、直錐度可以進(jìn)行倒錐度等，所需的微孔的幾何加工。本系統(tǒng)通過(guò)調(diào)整入射角和焦距，可以進(jìn)行產(chǎn)業(yè)所需的各種形狀的加工，可以進(jìn)行5um到200um的精密孔加工。此外，還可以進(jìn)行MAX10度角的倒錐孔和三維加工。激光加工完成后，用微孔檢測(cè)系統(tǒng)，將載入相應(yīng)的坐標(biāo)信息。通過(guò)視覺(jué)掃描，確認(rèn)每個(gè)微孔的大小和位置信息，并將其識(shí)別合格還是不合格。收集完成后，按下返工按鈕即可進(jìn)行再加工。本技術(shù)適用于，需要超精密加工的半導(dǎo)體制造設(shè)備零件、醫(yī)療領(lǐng)域設(shè)備及器材配件，各種傳感器相關(guān)配件，適用于光學(xué)相關(guān)設(shè)備和零件的精密加工領(lǐng)域。特別是用于MLCC制造中的薄膜片疊層用真空板微孔加工。有微孔加工需求，超精密加工需求，請(qǐng)聯(lián)系！光柵的超精密加工需保證刻線間距均勻，提升測(cè)量與光譜分析精度。

精密磨削技術(shù)-電解在線砂輪修整技術(shù)(ELID)對(duì)于精密零件的加工生產(chǎn)，精密磨削技術(shù)是必不可少的。在半導(dǎo)體/LCD、MLCC和新能源電池等領(lǐng)域中，精密元件的使用率很高。常見(jiàn)的磨削技術(shù)的問(wèn)題是，必須根據(jù)磨削后的弓形磨損量繼續(xù)修整，這給保持同等質(zhì)量帶來(lái)了困難，因?yàn)楸砻鏍顩r會(huì)發(fā)生細(xì)微變化。簡(jiǎn)而言之，ELID磨削技術(shù)是一種在不斷修整的同時(shí)進(jìn)行拋光的技術(shù)。微泰采用了高精度的磨削技術(shù)，這些技術(shù)都以ELID技術(shù)和專(zhuān)有技術(shù)為基礎(chǔ)，在這種技術(shù)中，我們生產(chǎn)的產(chǎn)品具有高精度、平坦度和高質(zhì)量，這是很難生產(chǎn)的。真空板ELID磨削技術(shù)ELID磨削技術(shù)（真空板）。利用電解在線砂輪修整技術(shù)(ELID)，提高真空吸附板、刀片的表面粗糙度，減少研磨時(shí)的毛刺，減少手動(dòng)調(diào)節(jié)提高作業(yè)自動(dòng)化。400mm見(jiàn)方的真空板平面度可達(dá)5um。醫(yī)療植入器械通過(guò)超精密加工提升表面光潔度，降低人體排異反應(yīng)。超精密鉆孔

硬脆材料的超精密加工易產(chǎn)生裂紋，需采用特殊刀具與切削參數(shù)。高效超精密真空卡盤(pán)

微泰，生產(chǎn)各種用于MLCC和半導(dǎo)體的精密真空板。工業(yè)真空盤(pán)由于其吸氣孔較大，會(huì)對(duì)被吸物造成傷害，因此精密真空板的需求越來(lái)越大。薄膜等薄片型產(chǎn)品，如果孔較大，可能會(huì)造成產(chǎn)品損傷或壓花。因此市場(chǎng)需求超精密多微孔真空板。微泰生產(chǎn)并為工業(yè)領(lǐng)域提供高精度真空板，這些板由Φ0.1到Φ0.03的微孔組成。半導(dǎo)體行業(yè)普遍使用陶瓷真空板，但由于其顆粒大，很難控制平面度及均勻的壓力?？蛻魧?duì)真空板的重要性日益凸顯。其尺寸各不相同，均勻壓力管理有所不同。但根據(jù)客戶的需求，我們生產(chǎn)并提供了質(zhì)量?jī)?yōu)、性能優(yōu)的真空板，并提供平面度0.001um和Φ0.03um的真空板（吸膜板，吸附板）。微泰產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體用真空卡盤(pán)、薄膜吸膜板，吸附板，倒裝芯片鍵合真空塊、MLCC堆疊VacuumPlate、MLCC印刷吸膜板。高效超精密真空卡盤(pán)