上海工業(yè)飛秒激光MLCC

飛秒激光在精密加工中的獨特能力與應(yīng)用，超越衍射極限的“超衍射”加工原理：利用多光子吸收的非線性特性，加工閾值非常陡峭，只有焦點中心強度好的區(qū)域才會發(fā)生改性，加工尺寸可以突破光學(xué)衍射極限，達(dá)到亞波長甚至納米級別。應(yīng)用：微光學(xué)元件：制作衍射光學(xué)元件、微透鏡陣列、波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。防偽與裝飾：在材料內(nèi)部或表面制作亞微米結(jié)構(gòu)，產(chǎn)生結(jié)構(gòu)色或特殊光學(xué)效果。光子器件：直接在光學(xué)材料內(nèi)部刻寫光柵、耦合器。真正的三維（3D）內(nèi)部加工原理：對于透明材料（如玻璃、透明聚合物），飛秒激光只有在焦點處才能達(dá)到足夠高的強度引發(fā)非線性吸收，從而可以選擇性地在材料內(nèi)部任意位置進行改性，而表面和路徑上的材料不受影響。應(yīng)用：微流控芯片：在玻璃或塑料內(nèi)部直接雕刻出復(fù)雜的三維微通道網(wǎng)絡(luò)。光數(shù)據(jù)存儲：在玻璃內(nèi)部寫入多層、高密度的數(shù)據(jù)點，實現(xiàn)“5D存儲”。集成光學(xué)：在透明基板內(nèi)部制造三維光波導(dǎo)、分束器、干涉儀。超快皮秒激光切割熱效應(yīng)幾乎可以忽略，加工效果更理想。同時，工作時間短，精度高，加工速度快。上海工業(yè)飛秒激光MLCC

飛秒(femtosecond)也叫毫微微秒，簡稱fs，是標(biāo)衡時間長短的一種計量單位，飛秒激光是人類目前在實驗室條件下所能獲得至短脈沖的技術(shù)手段。飛秒激光在瞬間發(fā)出的巨大功率比全世界發(fā)電總功率還大，已有所應(yīng)用，科學(xué)家預(yù)測飛秒激光將為下世紀(jì)新能源的生產(chǎn)發(fā)揮重要作用。飛秒激光是一種以脈沖形式運轉(zhuǎn)的激光，持續(xù)時間非常短，只有幾個飛秒，一飛秒就是10的負(fù)15次方秒，也就是1/1000萬億秒，它比利用電子學(xué)方法所獲得的至短脈沖要短幾千倍。這是飛秒激光的一個特點。飛秒激光的第二個特點是具有非常高的瞬時功率，可達(dá)到百萬億瓦，比全世界發(fā)電總功率還要多出百倍。飛秒激光的第三個特點是，它能聚焦到比頭發(fā)的直徑還要小的空間區(qū)域，使電磁場的強度比原子核對其周圍電子的作用力還要高數(shù)倍。上海韓國技術(shù)飛秒激光相機模組鏡頭切割器飛秒激光是指時域脈沖寬度在飛秒（10-15秒）量級的激光，在時間分辨率上屬于超快激光（ultra-fast laser）。

在氮化硅領(lǐng)域，飛秒激光技術(shù)已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于各種應(yīng)用場景，包括微加工、光學(xué)元件制造、半導(dǎo)體加工等。例如，飛秒激光可以用于制作微型通孔、槽道、芯片切割等高精度加工任務(wù)。在光學(xué)領(lǐng)域，飛秒激光還可以用于制作具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的光學(xué)器件，如光波導(dǎo)、光柵等。另外，在半導(dǎo)體工業(yè)中，飛秒激光也可以用于修復(fù)芯片表面缺陷、切割硅片等工藝。飛秒激光切割和打孔技術(shù)為氮化硅等高硬度材料的加工提供了一種高效、精密且無損傷的解決方案，有望在未來得到更廣泛的應(yīng)用。

飛秒激光開啟了“無刀手術(shù)”時代。眼科手術(shù)（：LASIK手術(shù)（飛秒激光制瓣）：替代傳統(tǒng)的機械角膜刀，制作更好、更平滑的角膜瓣，安全性更高。全飛秒SMILE手術(shù)：直接在角膜基質(zhì)層內(nèi)進行透鏡狀切割，然后通過微切口取出，實現(xiàn)了真正的“微創(chuàng)”。白內(nèi)障手術(shù)（飛秒激光輔助）：用于精確制作角膜切口、撕裂囊和前囊膜切開、預(yù)劈核，大幅提高手術(shù)的可預(yù)測性。細(xì)胞與神經(jīng)科學(xué)：雙光子顯微成像：利用飛秒激光進行深層的高分辨率、無損傷三維成像。光鑷與細(xì)胞手術(shù)：操縱細(xì)胞、細(xì)胞器，甚至進行細(xì)胞內(nèi)手術(shù)。外科手術(shù)：可用于極精密的切割，出血少，愈合快。飛秒激光加工是利用光的能量經(jīng)過透鏡聚焦后在焦點上達(dá)到很高的能量密度，靠光熱效應(yīng)來加工的。

這是飛秒激光技術(shù)應(yīng)用的基石：多光子吸收/電離：在極高的光場強度下，材料同時吸收多個光子，跳過中間能級，直接發(fā)生電離或激發(fā)。這使得透明材料（如玻璃）也能被加工。雪崩電離：初始的自由電子通過逆韌致吸收激光能量，加速并碰撞其他原子，產(chǎn)生更多自由電子，形成雪崩式電離。電子被迅速剝離形成等離子體，留下的帶正電離子因強烈?guī)靵龀饬Χl(fā)生飛散。整個過程發(fā)生在皮秒量級內(nèi)，遠(yuǎn)快于熱擴散的時間（微秒量級），因此實現(xiàn)了“冷”燒蝕。飛秒激光器及激光加工設(shè)備已經(jīng)在消費電子觸摸屏模組生產(chǎn)、半導(dǎo)體晶圓劃片等3C制造領(lǐng)域嶄露頭角。高精密飛秒激光精密噴嘴

飛秒激光可以用于各種材料的微細(xì)加工，包括金屬、陶瓷、聚合物和復(fù)合材料等。上海工業(yè)飛秒激光MLCC

飛秒激光技術(shù)從“二維”到“真三維”制造突破：利用透明材料內(nèi)的非線性吸收，飛秒激光實現(xiàn)了在材料內(nèi)部任意三維空間的選擇性改性。應(yīng)用案例：3D光子芯片與光波導(dǎo)：在玻璃內(nèi)部直寫光路，是未來光計算和量子信息的關(guān)鍵技術(shù)。微流控芯片：制造復(fù)雜的三維化學(xué)分析實驗室。5D光學(xué)數(shù)據(jù)存儲：在石英玻璃中實現(xiàn)海量的數(shù)據(jù)存儲。加工精度突破衍射極限突破：結(jié)合多光子吸收和受激發(fā)射損耗等超分辨技術(shù)，飛秒激光加工的特征尺寸已能穩(wěn)定達(dá)到<100納米，甚至達(dá)到10納米級別，遠(yuǎn)超傳統(tǒng)光學(xué)衍射極限。意義：為納米光子學(xué)、超材料、高密度存儲等納米器件的制備提供了強大工具。上海工業(yè)飛秒激光MLCC