LPCVD設備的設備構(gòu)造可以根據(jù)不同的反應室形狀和襯底放置方式進行分類。常見的分類有以下幾種：（1）水平式LPCVD設備，是指反應室呈水平圓筒形，襯底水平放置在反應室內(nèi)部或外部的托盤上，氣體從一端進入，從另一端排出；（2）垂直式LPCVD設備，是指反應室呈垂直圓筒形，襯底垂直放置在反應室內(nèi)部或外部的架子上，氣體從下方進入，從上方排出；（3）旋轉(zhuǎn)式LPCVD設備，是指反應室呈水平或垂直圓筒形，襯底放置在反應室內(nèi)部或外部可以旋轉(zhuǎn)的盤子上，氣體從一端進入，從另一端排出；（4）行星式LPCVD設備，是指反應室呈水平或垂直圓筒形，襯底放置在反應室內(nèi)部或外部可以旋轉(zhuǎn)并圍繞中心軸轉(zhuǎn)動的盤子上，氣體從一端進入，從另一端排出。LPCVD設備可以沉積多種類型的薄膜材料，如多晶硅、氮化硅、氧化硅、碳化硅等。西安真空鍍膜廠
磁控濺射可以使用各種類型的氣體進行，例如氬氣、氮氣和氧氣等。氣體的選擇取決于薄膜的所需特性和應用。例如，氬氣通常用作沉積金屬的濺射氣體，而氮氣則用于沉積氮化物。磁控濺射可以以各種配置進行，例如直流(DC)、射頻(RF)和脈沖DC模式。每種配置都有其優(yōu)點和缺點，配置的選擇取決于薄膜的所需特性和應用。磁控濺射是利用磁場束縛電子的運動，提高電子的離化率。與傳統(tǒng)濺射相比具有“低溫（碰撞次數(shù)的增加，電子的能量逐漸降低，在能量耗盡以后才落在陽極）”、“高速（增長電子運動路徑，提高離化率，電離出更多的轟擊靶材的離子）”兩大特點。中山真空鍍膜價格真空鍍膜過程需嚴格監(jiān)控鍍膜速度。
LPCVD設備的發(fā)展歷史可以追溯到20世紀50年代，當時美國貝爾實驗室的科學家們使用LPCVD方法在硅片上沉積多晶硅薄膜，并用于制造雙極型晶體管。隨后，LPCVD方法被廣泛應用于制造金屬氧化物半導體場效應晶體管（MOSFET）、動態(tài)隨機存儲器（DRAM）、太陽能電池等器件。20世紀70年代，LPCVD方法開始用于沉積氮化硅和氧化硅等絕緣薄膜，用于制造互連層、保護層、柵介質(zhì)層等結(jié)構(gòu)。20世紀80年代，LPCVD方法開始用于沉積碳化硅等寬禁帶半導體薄膜，用于制造高溫、高功率、高頻率等特殊應用的器件
蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子撞擊后沉積在固體表面稱為離子鍍。蒸發(fā)源接陽極，工件接陰極，當通以三至五千伏高壓直流電以后，蒸發(fā)源與工件之間產(chǎn)生輝光放電。由于真空罩內(nèi)充有惰性氬氣，在放電電場作用下部分氬氣被電離，從而在陰極工件周圍形成一等離子暗區(qū)。帶正電荷的氬離子受陰極負高壓的吸引，猛烈地轟擊工件表面，致使工件表層粒子和臟物被轟濺拋出，從而使工件待鍍表面得到了充分的離子轟擊清洗。隨后，接通蒸發(fā)源交流電源，蒸發(fā)料粒子熔化蒸發(fā)，進入輝光放電區(qū)并被電離。帶正電荷的蒸發(fā)料離子，在陰極吸引下，隨同氬離子一同沖向工件，當拋鍍于工件表面上的蒸發(fā)料離子超過濺失離子的數(shù)量時，則逐漸堆積形成一層牢固粘附于工件表面的鍍層。使用CVD的方式進行沉積氧化氮化硅(SiOxNy)與氮化硅(SiNx)能有效提高鈍化發(fā)射極和后極電池效率。
介質(zhì)薄膜是重要的半導體薄膜之一。它可用作電路間的絕緣層，掩蔽半導體主要元件的相互擴散和漏電現(xiàn)象，從而進一步改善半導體操作性能的可靠性；它還可用作保護膜，在半導體制程的環(huán)節(jié)生成保護膜，保護芯片不受外部沖擊；或用作隔離膜，在堆疊一層層元件后進行刻蝕時，防止無需移除的部分被刻蝕。淺槽隔離（STI，ShallowTrenchIsolation）和金屬層間電介質(zhì)層（就是典型的例子。沉積材料主要有二氧化硅（SiO2），碳化硅（SiC）和氮化硅（SiN）等。真空鍍膜在電子產(chǎn)品中不可或缺。鈦金真空鍍膜
鍍膜技術(shù)可用于提升產(chǎn)品的抗老化性能。西安真空鍍膜廠
電子束蒸發(fā)：將蒸發(fā)材料置于水冷坩堝中，利用電子束直接加熱使蒸發(fā)材料汽化并在襯底上凝結(jié)形成薄膜，是蒸度高熔點薄膜和高純薄膜的一種主要加熱方法。為了獲得性能良好的半導體電極Al膜，我們通過優(yōu)化工藝參數(shù)，制備了一系列性能優(yōu)越的Al薄膜。通過理論計算和性能測試，分析比較了電子束蒸發(fā)與磁控濺射兩種方法制備Al膜的特點?？紤]Al膜的致密性就相當于考慮Al膜的晶粒的大小，密度以及能達到均勻化的程度，因為它也直接影響Al膜的其它性能，進而影響半導體嘩啦的性能。氣相沉積的多晶Al膜的晶粒尺寸隨著沉積過程中吸附原子或原子團在基片表面遷移率的增加而增加。由此可以看出Al膜的晶粒尺寸的大小將取決環(huán)于基片溫度、沉積速度、氣相原子在平行基片方面的速度分量、基片表面光潔度和化學活性等因素。西安真空鍍膜廠
