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圍繞電子束曝光在半導(dǎo)體激光器腔面結(jié)構(gòu)制備中的應(yīng)用,研究所進(jìn)行了專項(xiàng)攻關(guān)。激光器腔面的平整度與垂直度直接影響其出光效率與壽命,科研團(tuán)隊(duì)通過控制電子束曝光的劑量分布,在腔面區(qū)域制備高精度掩模,再結(jié)合干法刻...