真空計(jì)廣泛應(yīng)用于氣體輸送、管道液體及密閉容器中測(cè)量無腐蝕性、無危險(xiǎn)、無結(jié)晶體、不凝固體的各種液體、氣體、蒸汽等介質(zhì)的壓力大小。特別是在半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、納米技術(shù)研發(fā)、生物醫(yī)學(xué)研究以及航空航天等領(lǐng)域，真空壓力計(jì)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，為產(chǎn)品的質(zhì)量控制和研發(fā)創(chuàng)新提供了有力支持。四、特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)高精度：能夠準(zhǔn)確反映真空系統(tǒng)的壓力狀況。穩(wěn)定性好：在長時(shí)間使用過程中保持測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。操作便捷：特別是對(duì)于數(shù)字式真空壓力計(jì)，直接讀取數(shù)字顯示的壓力值，操作更為簡單直觀。應(yīng)用范圍廣：不僅適用于科研和工業(yè)生產(chǎn)中的真空測(cè)量，也適用于真空設(shè)備的檢測(cè)和維護(hù)。真空計(jì)可分為真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類。機(jī)械真空計(jì)專賣店
熱偶真空計(jì)◇工作原理與測(cè)量范圍熱偶真空計(jì)使用熱絲與熱電偶組合間接測(cè)量真空度。其測(cè)量范圍在10-2至103Pa之間。熱偶真空計(jì)包含加熱燈絲與熱電偶，通過測(cè)量熱偶電動(dòng)勢(shì)來確定真空度。在測(cè)量過程中，燈絲通以恒定電流，熱量的部分會(huì)在燈絲與熱偶絲之間傳導(dǎo)。影響測(cè)量結(jié)果的因素?zé)崤颊婵沼?jì)的測(cè)量結(jié)果受氣體種類及溫度變化影響。此外，熱絲可能會(huì)因氧化導(dǎo)致零點(diǎn)漂移，從而帶來測(cè)量誤差。因此，在進(jìn)行測(cè)量時(shí)，需根據(jù)氣體種類進(jìn)行相應(yīng)的修正，使用者應(yīng)定期調(diào)整加熱電流，并重新校正電流值。機(jī)械真空計(jì)專賣店電容薄膜bai真空計(jì)是一種絕壓、全壓測(cè)量的真空計(jì)。
電阻真空計(jì)的原理與應(yīng)用電阻真空計(jì)，作為熱傳導(dǎo)真空計(jì)的一種，其工作原理是利用測(cè)量真空中熱絲的溫度來間接獲得真空度的大小。在低壓環(huán)境下，氣體的熱傳導(dǎo)特性與壓強(qiáng)密切相關(guān)，因此，電阻真空計(jì)的關(guān)鍵在于如何準(zhǔn)確測(cè)量溫度參數(shù)并建立起電阻與壓強(qiáng)的對(duì)應(yīng)關(guān)系。該儀器的主要構(gòu)成部分包括規(guī)管中的加熱燈絲，通常采用電阻溫度系數(shù)較高的鎢絲或鉑絲。電阻真空計(jì)通過測(cè)量熱絲電阻變化來確定真空度，其結(jié)果依賴于氣體種類且存在測(cè)量范圍限制。測(cè)量范圍通常在105～10-2Pa之間。
可以看出雖然我們已經(jīng)抽到了超高真空，但是腔體內(nèi)的分子數(shù)還是很多很多，這就是為什么我們要在超高真空條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的原因。講了這么多，不知道你有沒有想過，我們是如何知道腔體內(nèi)的真空度有多高的呢？度量真空的儀器——真空計(jì)是的，就像我們有溫度計(jì)和濕度計(jì)一樣，我們也有測(cè)量真空度的儀器——真空計(jì)。我們已經(jīng)知道，真空度的高低是用壓強(qiáng)大小來衡量的，因此，真空計(jì)也是通過測(cè)量壓強(qiáng)的大小來反映真空度的。真空計(jì)根據(jù)其工作原理大致可以分為兩類：一類直接測(cè)量壓強(qiáng)的大小，稱為***真空計(jì)，例如U型真空計(jì)、壓縮式真空計(jì)；一類是通過測(cè)量與壓強(qiáng)有關(guān)的物理量，間接標(biāo)定壓強(qiáng)的數(shù)值，稱為相對(duì)真空計(jì)，例如熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)。在實(shí)驗(yàn)室常用的一般是相對(duì)真空計(jì)。 使用電離規(guī)時(shí)，按電離真空計(jì)操作執(zhí)行。
冷陰極真空計(jì)（ColdCathodeGauge，如潘寧計(jì)）原理：基于高壓電場與磁場協(xié)同作用下的氣體放電效應(yīng)。結(jié)構(gòu)包含兩個(gè)陰極和一個(gè)陽極，外加軸向磁場。高壓電場使陰極發(fā)射電子，電子在磁場中螺旋運(yùn)動(dòng)，增加與氣體分子的碰撞概率，導(dǎo)致電離。電離產(chǎn)生的正離子被陰極捕獲，形成離子電流，其大小與氣體分子密度成正比。特點(diǎn)：量程：通常為10?6Torr至10?3Torr，適合中高真空。優(yōu)點(diǎn)：無加熱元件，結(jié)構(gòu)簡單、壽命長。對(duì)振動(dòng)不敏感（適合航天等惡劣環(huán)境）。局限性：低真空下響應(yīng)慢（需足夠殘余氣體維持放電）。測(cè)量結(jié)果可能受磁場均勻性影響。本質(zhì)區(qū)別總結(jié)類型**物理效應(yīng)信號(hào)來源適用量程對(duì)氣體種類敏感性皮拉尼計(jì)熱傳導(dǎo)效應(yīng)金屬絲電阻變化低真空至中真空高（需校準(zhǔn)）熱陰極電離計(jì)氣體電離效應(yīng)離子電流高真空至超高真空低（可忽略）冷陰極計(jì)（潘寧）高壓電場+磁場放電效應(yīng)離子電流中高真空低。 薄膜真空計(jì)是一種直接測(cè)量式的、全壓型的真空計(jì)。英思科真空計(jì)五星服務(wù)
利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。機(jī)械真空計(jì)專賣店
真空計(jì)是用于測(cè)量真空度的設(shè)備，其工作原理及測(cè)量范圍對(duì)于了解真空技術(shù)至關(guān)重要。在真空鍍膜機(jī)的腔體內(nèi)，真空測(cè)量是指利用專門的儀器和裝置來測(cè)定某一封閉空間內(nèi)的真空度。這些儀器或裝置被稱為真空計(jì)（或規(guī)管），種類繁多，常見的分類方式是根據(jù)其測(cè)量原理。直接通過測(cè)定物理參數(shù)來獲取氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)被稱為***真空計(jì)，例如U型壓力計(jì)和壓縮式真空計(jì)。***真空計(jì)測(cè)量氣體壓強(qiáng)較為準(zhǔn)確，不受氣體成分影響。而相對(duì)真空計(jì)則通過測(cè)量與壓強(qiáng)相關(guān)的物理量，再與***真空計(jì)對(duì)比來得出壓強(qiáng)值，例如放電真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)。相對(duì)真空計(jì)的測(cè)量準(zhǔn)確度略遜于***真空計(jì)，且測(cè)量結(jié)果與氣體種類相關(guān)。在實(shí)際生產(chǎn)中，除了真空校準(zhǔn)外，相對(duì)真空計(jì)的應(yīng)用更為***。 機(jī)械真空計(jì)專賣店
