真空計(jì)是用于測量真空度的設(shè)備,其工作原理及測量范圍對于了解真空技術(shù)至關(guān)重要。在真空鍍膜機(jī)的腔體內(nèi),真空測量是指利用專門的儀器和裝置來測定某一封閉空間內(nèi)的真空度。這些儀器或裝置被稱為真空計(jì)(或規(guī)管),種類繁多,常見的分類方式是根據(jù)其測量原理。直接通過測定物理參數(shù)來獲取氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)被稱為***真空計(jì),例如U型壓力計(jì)和壓縮式真空計(jì)。***真空計(jì)測量氣體壓強(qiáng)較為準(zhǔn)確,不受氣體成分影響。而相對真空計(jì)則通過測量與壓強(qiáng)相關(guān)的物理量,再與***真空計(jì)對比來得出壓強(qiáng)值,例如放電真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)。相對真空計(jì)的測量準(zhǔn)確度略遜于***真空計(jì),且測量結(jié)果與氣體種類相關(guān)。在實(shí)際生產(chǎn)中,除了真空校準(zhǔn)外,相對真空計(jì)的應(yīng)用更為***。 復(fù)合真空計(jì)-倒磁控管和皮拉尼,從5X10-9 mbar 至大氣氣壓的寬廣測量范圍不會(huì)出現(xiàn)絲極燒毀的現(xiàn)象。便攜式四合一真空計(jì)市場價(jià)

工作原理與分類 根據(jù)物理效應(yīng)差異,真空計(jì)可分為以下三大類: 力學(xué)性能類 原理:利用氣體壓力引起的機(jī)械形變或電容變化。 典型儀器:波爾登規(guī)(Bourdon)、薄膜電容規(guī)(測量范圍:101325~133.32Pa)。 特點(diǎn):適用于腐蝕性氣體和可凝蒸汽。 熱交換類(氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)) 原理:基于氣體熱導(dǎo)率隨壓力變化的特性,如皮拉尼真空計(jì)通過加熱絲電阻變化推斷壓力(測量范圍:5×10??~1000Pa)。 典型儀器:皮拉尼電阻規(guī)、熱電偶規(guī)。 帶電粒子效應(yīng)類 原理:利用氣體電離產(chǎn)生的電流與壓力成正比的關(guān)系。 典型儀器:熱陰極/冷陰極電離規(guī)(測量范圍:10??~10?1?Pa)。 特點(diǎn):高精度但易受污染,需避免油蒸氣。愛德克斯四合一真空計(jì)銷售方法薄膜真空計(jì)原理根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計(jì)稱為電容式薄膜真空計(jì)。

值得注意的是,由于它是一種相對真空計(jì),所以其測量結(jié)果對氣體種類具有一定的依賴性。其校準(zhǔn)曲線通常針對干燥的氮?dú)饣蚩諝膺M(jìn)行標(biāo)定。因此,在被測氣體成分發(fā)生較大變化時(shí),需要對測量結(jié)果進(jìn)行相應(yīng)的修正。此外,長時(shí)間使用后,熱絲可能會(huì)因氧化而發(fā)生零點(diǎn)漂移,這要求我們在使用時(shí)避免長時(shí)間暴露于大氣或高壓強(qiáng)環(huán)境中,并可能需要通過調(diào)節(jié)電流來校準(zhǔn)零點(diǎn)位置熱偶真空計(jì)的規(guī)管構(gòu)造主要包括加熱燈絲C與D(通常采用鉑絲)以及用于測量熱絲溫度的熱電偶A與B(多采用鉑銠或康銅-鎳鉻合金)
NC610A真空計(jì)廣泛應(yīng)用于光伏、太陽能等行業(yè)的真空爐上。冷陰極型(如潘寧計(jì)):利用高壓電場和磁場使殘余氣體電離,無需加熱陰極。離子電流同樣與氣體分子密度相關(guān)。特點(diǎn):量程:通常為10?9Torr至10?3Torr,適合高真空至超高真空。優(yōu)點(diǎn):高真空下精度高(信號與氣體分子密度直接相關(guān))。對氣體種類不敏感(電離截面差異可忽略)。局限性:熱陰極型需加熱陰極,可能污染系統(tǒng)(蒸發(fā)材料)。冷陰極型在低真空下可能無法啟動(dòng)(需足夠殘余氣體維持真空計(jì)電離)。薄膜真空計(jì)是一種直接測量式的全壓型的真空計(jì)。

工作原理播報(bào)編輯兩種真空計(jì)在不同壓強(qiáng)區(qū)間發(fā)揮測量作用:1.熱偶真空計(jì)加熱電流恒定狀態(tài)下,熱電偶電勢與氣體熱傳導(dǎo)系數(shù)呈正相關(guān)。當(dāng)壓強(qiáng)低于10Pa時(shí)氣體導(dǎo)熱系數(shù)隨壓強(qiáng)降低而減小,通過熱電偶輸出電勢變化反映真空度。有效測量范圍為100-0.1Pa [4]。2.熱陰極電離真空計(jì)燈絲加熱至2200K發(fā)射熱電子,經(jīng)150V柵極電壓加速后與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。收集極在-25V偏壓下捕獲離子形成電流,該電流與氣體壓強(qiáng)成線性關(guān)系 [4]。典型工作范圍為0.1-1×10??Pa。設(shè)備通過動(dòng)態(tài)切換機(jī)制實(shí)現(xiàn)量程銜接:當(dāng)熱偶計(jì)檢測到壓強(qiáng)低于10?1Pa時(shí),自動(dòng)開啟電離計(jì) [1] [4]。ZDF-1A/B型具備1-99分鐘可調(diào)延時(shí)切換功能,防止頻繁啟停損壞燈絲 [1]真空計(jì)利用氣體在低壓力下的熱傳導(dǎo)、電離、粘滯性和應(yīng)變等物理特性與壓力的關(guān)系間接測量氣體壓力。工廠真空計(jì)性價(jià)比
真空計(jì) 能從液柱高度、比重等本身測得的物理量直接計(jì)算出氣體壓力的真空計(jì)。便攜式四合一真空計(jì)市場價(jià)
真空計(jì),又名真空表,是測量真空度或氣壓的儀器,其工作原理主要基于氣體在真空條件下的物理效應(yīng)變化。以下是真空計(jì)的分類及原理的詳細(xì)介紹:一、分類按照真空計(jì)測量原理所利用的不同的物理機(jī)制,可將主要的真空計(jì)分為三大類:利用力學(xué)性能的真空計(jì):波爾登規(guī)(Bourdon):利用細(xì)的銅管受氣體壓力舒展現(xiàn)象,帶動(dòng)杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn),使指針指示在不同刻度上,讀出相應(yīng)的氣壓值。其測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī):利用不同壓力下金屬膜片受力變形,導(dǎo)致金屬膜片和電極之間的電容變化,通過測量電容的變化量得知?dú)鈮鹤兓?。這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高,但必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用,并需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。便攜式四合一真空計(jì)市場價(jià)