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技術(shù)參數(shù)播報編輯根據(jù)2012年發(fā)布的ZDF-1A/B型說明書，熱偶真空計、熱陰極電離真空計及金屬電阻規(guī)三種測量通道組合構(gòu)成，覆蓋105~10-6Pa的真空范圍測量，主要技術(shù)指標(biāo)包括 [1]：熱偶規(guī)測量范圍：3.0×102~1.0×10?1Pa（ZJ-54D型）電離規(guī)測量范圍：5~1.0×10??Pa（ZJ-27型）或26~1.0×10??Pa（ZJ-10型）發(fā)射電流調(diào)節(jié)范圍：50μA至5mA陽極電壓：225V（ZDF-1A型）繼電器觸點容量：220V AC/3A。使用復(fù)合真空計需遵循特定操作要求 [1]：真空系統(tǒng)放氣前必須切換至熱偶計或電阻規(guī)通道，防止電離規(guī)管暴露于高壓空氣電離規(guī)燈絲只能在壓強低于1Pa時啟動，避免氧化燒毀定期校準熱偶規(guī)加熱電流，標(biāo)準值為95-105mA（具體數(shù)值依據(jù)規(guī)管型號）安裝時電離規(guī)管軸線應(yīng)與地面垂直，傾斜角度不得超過30°真空計已經(jīng)隨著商業(yè)工業(yè)進步，走進平常生活緊密相關(guān)的領(lǐng)域。AKS真空計圖片

NC610A真空計廣泛應(yīng)用于光伏、太陽能等行業(yè)的真空爐上。冷陰極型（如潘寧計）：利用高壓電場和磁場使殘余氣體電離，無需加熱陰極。離子電流同樣與氣體分子密度相關(guān)。特點：量程：通常為10?9Torr至10?3Torr，適合高真空至超高真空。優(yōu)點：高真空下精度高（信號與氣體分子密度直接相關(guān)）。對氣體種類不敏感（電離截面差異可忽略）。局限性：熱陰極型需加熱陰極，可能污染系統(tǒng)（蒸發(fā)材料）。冷陰極型在低真空下可能無法啟動（需足夠殘余氣體維持真空計電離）。綜合真空計售后服務(wù)要看真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規(guī)格如何。

普通型熱陰極真空計的測量范圍限定在1.33×10-1至1.33×105Pa之間。在高壓強環(huán)境下，電子與氣體分子的頻繁碰撞導(dǎo)致電子流急劇增加，而低能碰撞則無法引發(fā)電離，進而影響離子流與壓強之間的線性關(guān)系。另一方面，在極低的壓強條件下（低于1.33×10-1Pa），高速電子產(chǎn)生的軟X射線會引發(fā)離子收集極C的光電發(fā)射，從而引入與壓強無關(guān)的電流，破壞離子流I+與氣體壓強之間的線性關(guān)系，使電離真空計無法準確測量真空室中的壓強。選擇合適的真空計是關(guān)鍵。

真空計，又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器，其工作原理主要基于氣體在真空條件下的物理效應(yīng)變化。以下是真空計的分類及原理的詳細介紹：一、分類按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類：利用力學(xué)性能的真空計：波爾登規(guī)（Bourdon）：利用細的銅管受氣體壓力舒展現(xiàn)象，帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使指針指示在不同刻度上，讀出相應(yīng)的氣壓值。其測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)：利用不同壓力下金屬膜片受力變形，導(dǎo)致金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量得知氣壓變化。這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高，但必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，并需要預(yù)熱數(shù)小時。真空計測量過程中整個系統(tǒng)電源電壓必須恒定。當(dāng)真空度低于0.1Pa時，不能使用電離規(guī)。

利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的真空計：皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)：利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作，通過測量熱絲電阻大小推算氣壓大小。其測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱電偶規(guī)：與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，但使用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。測量范圍也一般在0.1Pa至1000Pa。利用帶電粒子效應(yīng)的真空計：熱陰極電離規(guī)：由熱陰極發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，通過測量離子電流的大小推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小。其測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。冷陰極電離規(guī)：利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子，再進***壓測量。其測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。相關(guān)商品品質(zhì)精選、專業(yè)服務(wù)薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。一體式真空計專賣店

由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域，往往要造成較大的誤差。AKS真空計圖片

熱傳導(dǎo)真空計是一種測量低真空的真空計，顧名思義，就是利用熱量變化來測量真空的儀器。它的原理就是將一根金屬絲通電加熱，由于氣體分子的運動會帶走一部分熱量，因此達到熱平衡時溫度越高，就說明氣體導(dǎo)走的熱量越少，氣體分子密度越小，也就是壓強越低，真空度越高。電離真空計是目前采用**廣的真空計，是一種測量高真空的真空計，只有在真空抽到一定量級時才可以打開。它的工作原理為：具有足夠能量的電子與氣體分子碰撞，使氣體分子電離，產(chǎn)生正離子和電子；電子在運動過程中與分子碰撞的次數(shù)正比于分子數(shù)密度，也即壓強P，因此產(chǎn)生的正離子數(shù)就正比于壓強P，可以通過測量正離子的多少來標(biāo)定真空度的高低。AKS真空計圖片