規(guī)管構(gòu)造主要包括加熱燈絲C與D（通常采用鉑絲）以及用于測量熱絲溫度的熱電偶A與B（多采用鉑銠或康銅-鎳鉻合金）。熱偶真空計利用熱電偶測量熱絲溫度變化，受氣體種類影響，有特定的適用壓強范圍。在測量過程中，熱電偶的熱端與熱絲緊密接觸，而冷端則與儀器中的毫伏計相連，通過毫伏計可以讀取熱偶產(chǎn)生的電動勢。不同氣體的熱傳導性能各異，因此熱偶真空計在測量不同氣體時的結(jié)果會有所差異。為了獲得準確的結(jié)果，需要對測量結(jié)果進行相應(yīng)的修正。此外，熱偶真空計的測量范圍通常在102～10-1Pa之間。與電阻真空計相似，熱偶真空計也具有一定的熱慣性。在壓強發(fā)生變化時，熱絲溫度的改變會存在一定的滯后時間，因此在讀取數(shù)據(jù)時也需要相應(yīng)地滯后一些時間。 掌握常見的真空計種類有利于正確選擇真空計類型。如何選真空計技術(shù)參數(shù)
2025年關(guān)于《雙活塞式壓力真空計檢定規(guī)程》征求意見稿發(fā)布 真空計雙活塞式壓力真空計由簡單活塞系統(tǒng)、差動活塞系統(tǒng)、**砝碼、校驗器等組成。10月16日，全國壓力計量技術(shù)委員會發(fā)布了《雙活塞式壓力真空計檢定規(guī)程》征求意見稿，并面向全國的計量機構(gòu)、科研院所等相關(guān)單位征求意見。本規(guī)程的修訂引用了JJG99《砝碼》檢定規(guī)程文件，適用于測量范圍為（-0.1——1）MPa的雙活塞式壓力真空計的***檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。擴散式真空計多少錢被測氣體是否會損傷高精度薄膜真空計；高精度薄膜真空計可否會給被測氣體狀態(tài)帶來影響。
冷陰極真空計（ColdCathodeGauge，如潘寧計）原理：基于高壓電場與磁場協(xié)同作用下的氣體放電效應(yīng)。結(jié)構(gòu)包含兩個陰極和一個陽極，外加軸向磁場。高壓電場使陰極發(fā)射電子，電子在磁場中螺旋運動，增加與氣體分子的碰撞概率，導致電離。電離產(chǎn)生的正離子被陰極捕獲，形成離子電流，其大小與氣體分子密度成正比。特點：量程：通常為10?6Torr至10?3Torr，適合中高真空。優(yōu)點：無加熱元件，結(jié)構(gòu)簡單、壽命長。對振動不敏感（適合航天等惡劣環(huán)境）。局限性：低真空下響應(yīng)慢（需足夠殘余氣體維持放電）。測量結(jié)果可能受磁場均勻性影響。本質(zhì)區(qū)別總結(jié)類型**物理效應(yīng)信號來源適用量程對氣體種類敏感性皮拉尼計熱傳導效應(yīng)金屬絲電阻變化低真空至中真空高（需校準）熱陰極電離計氣體電離效應(yīng)離子電流高真空至超高真空低（可忽略）冷陰極計（潘寧）高壓電場+磁場放電效應(yīng)離子電流中高真空低。
工作原理播報編輯兩種真空計在不同壓強區(qū)間發(fā)揮測量作用：1.熱偶真空計加熱電流恒定狀態(tài)下，熱電偶電勢與氣體熱傳導系數(shù)呈正相關(guān)。當壓強低于10Pa時氣體導熱系數(shù)隨壓強降低而減小，通過熱電偶輸出電勢變化反映真空度。有效測量范圍為100-0.1Pa [4]。2.熱陰極電離真空計燈絲加熱至2200K發(fā)射熱電子，經(jīng)150V柵極電壓加速后與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。收集極在-25V偏壓下捕獲離子形成電流，該電流與氣體壓強成線性關(guān)系 [4]。典型工作范圍為0.1-1×10??Pa。設(shè)備通過動態(tài)切換機制實現(xiàn)量程銜接：當熱偶計檢測到壓強低于10?1Pa時，自動開啟電離計 [1] [4]。ZDF-1A/B型具備1-99分鐘可調(diào)延時切換功能，防止頻繁啟停損壞燈絲 [1]真空計 能從液柱高度、比重等本身測得的物理量直接計算出氣體壓力的真空計。
3.皮拉尼真空計皮拉尼真空計是一種電阻式真空計，其工作原理是利用氣體分子的熱傳導作用對細金屬絲（通常為鉑絲）的溫度產(chǎn)生影響，從而改變其電阻值。皮拉尼真空計適用于低真空和中真空范圍的測量，具有結(jié)構(gòu)簡單、價格低廉、響應(yīng)速度快等優(yōu)點。綜上所述，不同類型的真空計各有其特點和適用情境。在選擇真空計時，應(yīng)根據(jù)實際需求綜合考慮測量范圍、精度、穩(wěn)定性、便攜性以及價格等因素。希望本文的介紹能對讀者在選用真空計時提供有益的參考為改善真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現(xiàn)象，控制寄生現(xiàn)象。給出一些真空計的壓力測量范圍。英思科真空計專賣店
利用力學性能、利用氣體動力學效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。如何選真空計技術(shù)參數(shù)
結(jié)構(gòu)組成播報編輯復合真空計包含熱偶規(guī)管與電離規(guī)管兩個**組件：熱偶規(guī)管采用玻璃外殼，內(nèi)部設(shè)有V形加熱絲和倒V形鎳鉻-鎳硅熱電偶，通過測量加熱絲溫度變化推算壓強電離規(guī)管為三極管結(jié)構(gòu)，包含鎢制燈絲、螺旋柵極和筒狀收集極，燈絲發(fā)射電子經(jīng)柵極加速后電離氣體分子 [4]部分型號（如ZDF-1A/B）還集成金屬電阻規(guī)，形成三通道測量系統(tǒng)。設(shè)備控制系統(tǒng)內(nèi)置微處理器，實現(xiàn)AD高速轉(zhuǎn)換和誤差修正功能 [1]。復合真空計是將熱偶真空計和熱陰極電離真空計組合而成的寬量程真空測量設(shè)備，測量范圍覆蓋大氣壓至10??Pa如何選真空計技術(shù)參數(shù)
