浙江氫氣超高純氣體半導體制造

上海彌正構建超高純氣體全生命周期合規(guī)管理體系，從生產、銷售、使用到回收處置全程符合環(huán)保、安全、職業(yè)健康相關法規(guī)標準，助力客戶提升 ESG（環(huán)境、社會、治理）績效。在環(huán)境合規(guī)方面，公司生產過程實現(xiàn)廢氣、廢水零超標排放，獲得 ISO 14001 環(huán)境管理體系認證；在安全與職業(yè)健康方面，建立嚴格的安全生產流程與員工健康保護制度，通過 ISO 45001 職業(yè)健康安全管理體系認證。為客戶提供完整的產品合規(guī)文件包，包括質量檢測報告、安全技術說明書（SDS）、碳足跡報告、合規(guī)性聲明等，協(xié)助客戶完善 ESG 報告中的材料合規(guī)與供應鏈管理部分。定期為客戶提供合規(guī)培訓，內容涵蓋氣體安全使用、應急處置、廢棄物回收等，幫助客戶提升自身合規(guī)管理水平。某注重 ESG 績效的上市公司采購該公司氣體后，其供應鏈的環(huán)境與安全合規(guī)性評分明顯提升，在年度 ESG 報告中獲得評級機構的正面評價，投資者信心與品牌價值進一步增強。超高純硅烷（純度 99.999%）是半導體外延生長的關鍵原料氣。浙江氫氣超高純氣體半導體制造

上海彌正超高純氦氣（6N 級純度），是檢漏、低溫超導、氣相色譜分析等場景的關鍵氣體，以 “高純度 + 低沸點” 發(fā)揮獨特作用。采用低溫吸附與精餾提純工藝，將氮氣、氧氣、氫氣等雜質含量控制在 0.2ppb 以下，低于 - 85℃，能在極低溫度下保持氣態(tài)，無凝固風險。在工業(yè)檢漏領域，用于精密設備、管道與容器的氣密性檢測，檢漏靈敏度達 1×10?12Pa?m3/s，確保檢測準確性；在低溫超導領域，用于超導磁體冷卻，維持超導材料的超導狀態(tài)，支持核磁共振（NMR）與粒子加速器的正常運行；在氣相色譜分析中，作為載氣可提升分析精度與分離效率。配備高壓氣瓶與減壓閥，氣體輸出壓力穩(wěn)定，流量控制精度達 ±0.5%。某精密制造企業(yè)應用后，設備檢漏合格率提升至 100%，泄漏故障減少 90%；某科研機構使用后，超導磁體運行穩(wěn)定性提升，核磁共振檢測精度提高，完全滿足工業(yè)與科研領域的需求。浙江氙氣超高純氣體生物醫(yī)藥超高純硒化氫（雜質≤1ppm）適配光伏電池制造，提升光電轉換效率。

上海彌正專為極端低溫環(huán)境打造的超高純氣體系列，以 “低溫穩(wěn)定性 + 防冷凝設計” 滿足航天、冷鏈物流等特殊場景需求。該系列氣體（涵蓋氮氣、氦氣、氬氣等）純度均達 6N 級以上，在 - 196℃至 - 50℃的極端低溫環(huán)境下，仍能保持穩(wěn)定的物理性質，無組分分離或純度衰減現(xiàn)象，低于 - 90℃，避免在低溫下形成冷凝水造成設備損壞。針對航天領域，開發(fā)了火箭燃料系統(tǒng)用超高純氦氣，在 - 253℃的液氫燃料環(huán)境中仍能保持氣態(tài)，用于系統(tǒng)加壓與檢漏，檢漏靈敏度達 1×10?12Pa?m3/s；針對冷鏈物流，提供超高純氮氣與二氧化碳的混合氣，用于生鮮食品的低溫氣調保鮮，可將保鮮期延長 2-3 倍。采用特制的絕熱氣瓶包裝，配備低溫 - resistant 閥門與壓力監(jiān)測裝置，確保在低溫存儲與運輸過程中的安全性與密封性。某航天科技集團應用后，火箭燃料系統(tǒng)的檢漏準確率達 100%，發(fā)射前的地面測試效率提升 30%；某冷鏈物流企業(yè)使用后，進口生鮮的損耗率從 12% 降至 3%，經濟效益明顯。

上海彌正率先采用 100% 綠電（光伏與風電）驅動的電解水制氫工藝，生產超高純氫氣（6N 級純度），實現(xiàn)從生產源頭的低碳化，助力客戶達成 “雙碳” 目標。該工藝以純水為原料，通過可再生能源發(fā)電進行電解，全程無化石燃料消耗，每立方米氫氣的碳足跡較傳統(tǒng)工藝降低 95% 以上，完全符合清潔能源發(fā)展趨勢。經膜分離與催化脫氧組合提純后，氫氣純度穩(wěn)定在 99.9999%，雜質含量≤1ppb，不僅可作為燃料電池汽車的重心燃料，為氫能交通提供動力，也可廣泛應用于光伏、半導體等行業(yè)的綠色制造流程。建立 “生產 - 使用 - 回收” 的閉環(huán)體系，為使用客戶配套氫氣回收與純化裝置，回收率可達 85%，回收后的氣體經處理可再次達到超高純標準循環(huán)使用。某新能源汽車企業(yè)應用該綠電制氫產品后，其燃料電池系統(tǒng)的碳排放量降低 60%，獲得歐盟 “綠色氫能” 認證；某光伏企業(yè)將其用于多晶硅還原，年碳排放減少 1.2 萬噸，成功入選綠色工廠名單。超高純鍺烷純度達 99.99%，用于紅外光學薄膜與半導體制造。

上海彌正推出行業(yè)的超高純氣體回收再利用系統(tǒng)，針對半導體、光伏等行業(yè)的工藝尾氣，實現(xiàn)高效回收、提純與循環(huán)利用，為客戶創(chuàng)造經濟與環(huán)境雙重價值。該系統(tǒng)可適配三氟化氮、硅烷、氫氣等多種氣體，通過低溫冷凝、吸附分離與精密過濾等多級處理工藝，將原本直接排放的工藝尾氣提純至 5N-6N 級純度，回收利用率比較高可達 90%。以半導體刻蝕工藝中常用的三氟化氮為例，傳統(tǒng)使用模式下利用率不足 50%，大量尾氣被浪費并污染環(huán)境，采用該回收系統(tǒng)后，客戶氣體采購成本降低 40%，同時大幅減少溫室氣體排放。提供 “定制化系統(tǒng) + 運維服務” 的整體解決方案，根據(jù)客戶生產規(guī)模與氣體種類，設計專屬回收流程，配備專業(yè)團隊負責系統(tǒng)安裝、調試與定期維護，并提供回收氣體的質量檢測報告。某半導體代工廠應用該系統(tǒng)后，年節(jié)省氣體采購費用超 600 萬元，工藝尾氣排放量減少 80%，順利通過 ISO 14064 碳足跡核查，實現(xiàn)了經濟效益與環(huán)保責任的統(tǒng)一。超高純甲烷（雜質≤0.5ppm）是半導體刻蝕工藝的關鍵氣體。江蘇丙烷超高純氣體香精香料

超高純氬氣（雜質含量≤1ppm）適配激光切割，提升金屬加工切口光滑度。浙江氫氣超高純氣體半導體制造

上海彌正超高純六氟化鎢（6N 級純度），是半導體先進制程中鎢金屬層沉積的重心前驅體，以 “高純度 + 低金屬雜質” 助力芯片性能升級。采用化學合成與多級精餾提純工藝，將雜質總量控制在 1ppm 以下，其中銅、鐵、鋁等金屬雜質含量均≤0.1ppb，完全滿足 14nm 及以下邏輯芯片、3D NAND 閃存制造的工藝要求。在化學氣相沉積（CVD）工藝中，它能精細地在晶圓表面沉積出均勻、致密的鎢金屬層，用于芯片的柵極、互連線及接觸孔填充，其純度直接決定了鎢層的導電性與可靠性，進而影響芯片的運行速度與壽命。配備耐腐蝕的特用包裝與輸送系統(tǒng)，采用內壁經特殊鈍化處理的鎳合金氣瓶，防止氣體與容器發(fā)生反應導致污染，輸送管路采用無死腔設計，確保氣體純凈度。某頭部晶圓制造企業(yè)應用后，3D NAND 閃存的鎢層沉積均勻性提升至 99.5%，芯片數(shù)據(jù)存儲密度提高 15%，良率提升 2.2%，有力支撐了企業(yè)在先進存儲領域的技術競爭力。浙江氫氣超高純氣體半導體制造

上海彌正氣體有限公司是一家有著先進的發(fā)展理念，先進的管理經驗，在發(fā)展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創(chuàng)新，時刻準備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司，在上海市等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**，在業(yè)界也收獲了很多良好的評價，這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果，這些評價對我們而言是比較好的前進動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強、一往無前的進取創(chuàng)新精神，努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同上海彌正氣體供應和您一起攜手走向更好的未來，創(chuàng)造更有價值的產品，我們將以更好的狀態(tài)，更認真的態(tài)度，更飽滿的精力去創(chuàng)造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長！