上海彌正超高純乙硼烷(5N 級純度),專為 FinFET、GAA(全環(huán)繞柵極)等先進晶體管結(jié)構(gòu)的超淺結(jié)摻雜工藝設(shè)計,以 “超高純度 + 準(zhǔn)確控制” 突破芯片制程瓶頸。采用低溫合成與精密吸附提純技術(shù),將雜質(zhì)含量控制在極低水平,其中磷、砷等雜質(zhì)含量≤5ppt,水分含量≤10ppb,滿足 5nm 及以下先進制程對超淺結(jié)摻雜的嚴(yán)苛要求。在超淺結(jié)摻雜中,它能提供高濃度的硼離子,實現(xiàn)對半導(dǎo)體材料的準(zhǔn)確、淺度摻雜,形成高性能的 P 型半導(dǎo)體層,其純度與穩(wěn)定性直接影響結(jié)深控制精度與器件的閾值電壓,對提升晶體管開關(guān)性能至關(guān)重要。提供定制化的稀釋與輸送方案,可根據(jù)客戶工藝需求,將乙硼烷準(zhǔn)確稀釋至 1-100ppm 的標(biāo)準(zhǔn)混合氣,采用不銹鋼管道輸送,配備在線濃度監(jiān)測與自動報警系統(tǒng),確保摻雜過程準(zhǔn)確可控。某專注于先進制程的芯片設(shè)計與制造企業(yè)應(yīng)用后,GAA 晶體管的閾值電壓波動范圍縮小至 ±0.02V,開關(guān)電流提升 20%,成功實現(xiàn) 5nm 制程芯片的穩(wěn)定量產(chǎn)。超高純氣體純度檢測采用氣相色譜法,準(zhǔn)確控制雜質(zhì)含量。上海環(huán)氧乙烷超高純氣體生物醫(yī)藥

上海彌正構(gòu)建從生產(chǎn)到終端使用的全鏈條超潔凈保障體系,通過包裝與輸送系統(tǒng),確保超高純氣體全程無二次污染。氣瓶選用 316L 不銹鋼材質(zhì),經(jīng)一體鍛造與電解拋光處理,內(nèi)壁粗糙度≤0.1μm,無衛(wèi)生死角,避免雜質(zhì)吸附與氣體污染;閥門采用進口超潔凈隔膜閥,密封性能優(yōu)異,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s,確保氣體儲存過程中無泄漏與純度衰減。輸送管道采用 316L 不銹鋼無縫管,經(jīng)鈍化與脫脂處理,管道連接采用卡套式接頭,無螺紋污染風(fēng)險,輸送過程中氣體顆粒雜質(zhì)含量≤1 顆 /μm。提供定制化的管道鋪設(shè)與系統(tǒng)集成服務(wù),根據(jù)客戶車間布局與設(shè)備需求,設(shè)計比較好輸送路徑,減少管道阻力與氣體滯留;配備在線純度監(jiān)測裝置,實時監(jiān)控輸送過程中氣體純度變化,一旦出現(xiàn)異常立即自動切斷供應(yīng),保障終端氣體品質(zhì)。某電子企業(yè)應(yīng)用該系統(tǒng)后,氣體終端使用純度達標(biāo)率 100%,設(shè)備因氣體污染導(dǎo)致的故障率下降 80%,大幅提升生產(chǎn)連續(xù)性。江蘇硫化氫超高純氣體芯片制造超高純硒化氫(雜質(zhì)≤1ppm)適配光伏電池制造,提升光電轉(zhuǎn)換效率。

上海彌正針對半導(dǎo)體制造全流程,打造涵蓋超高純氮氣、氫氣、氬氣、氟化物氣體等多品類的定制化氣體解決方案,覆蓋晶圓清洗、刻蝕、沉積、摻雜等**工藝。所有氣體純度均達到 5N-7N 級別,其中用于光刻工藝的特種氣體純度高達 9N 級,金屬雜質(zhì)含量控制在 0.01ppb 以下,完全滿足不同制程芯片的生產(chǎn)要求。提供從氣體提純、包裝、運輸?shù)浇K端輸送的全鏈條服務(wù),配備痕量雜質(zhì)檢測實驗室,每批次產(chǎn)品均通過 GC-MS(氣相色譜 - 質(zhì)譜聯(lián)用儀)檢測,確保各項指標(biāo)達標(biāo);輸送管道采用 316L 不銹鋼材質(zhì),經(jīng)電解拋光與鈍化處理,內(nèi)壁粗糙度≤0.2μm,避免顆粒產(chǎn)生與氣體污染。某晶圓制造廠應(yīng)用該解決方案后,整體工藝缺陷率降低 40%,設(shè)備維護周期延長 3 倍,年節(jié)約運維成本超 500 萬元。根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù),2023 年全球半導(dǎo)體用高純氣體市場規(guī)模達 58.7 億美元,上海彌正憑借精細(xì)的工藝適配性與穩(wěn)定的供應(yīng)能力,成為國內(nèi)多家晶圓廠的**供應(yīng)商,助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化發(fā)展。
上海彌正構(gòu)建覆蓋 “生產(chǎn) - 包裝 - 運輸 - 回收” 全生命周期的低碳化超高純氣體供應(yīng)體系,為注重可持續(xù)發(fā)展的企業(yè)提供全鏈條碳減排支持。生產(chǎn)環(huán)節(jié)采用節(jié)能型提純設(shè)備,結(jié)合余熱回收系統(tǒng),能耗較傳統(tǒng)設(shè)備降低 30%;包裝環(huán)節(jié)采用可重復(fù)使用的不銹鋼氣瓶,替代一次性包裝,氣瓶回收率達 98%,減少固體廢棄物產(chǎn)生;運輸環(huán)節(jié)優(yōu)化物流網(wǎng)絡(luò),采用新能源危險品運輸車輛,短途運輸碳排放降低 100%,長途運輸通過集中配送減少車輛空駛率,碳排放降低 40%。為每批次產(chǎn)品提供詳細(xì)的碳足跡報告,清晰標(biāo)注各環(huán)節(jié)碳排放數(shù)據(jù),并協(xié)助客戶將其納入自身的 ESG 報告體系。某跨國電子企業(yè)采購該低碳供應(yīng)方案后,其電子產(chǎn)品的包裝環(huán)節(jié)碳排放減少 55%,全產(chǎn)品生命周期碳足跡降低 18%,在國際市場的綠色競爭力明顯提升,獲得多個國際品牌的優(yōu)先采購權(quán)。超高純乙炔(純度 99.99%)用于精密焊接,保障焊縫強度與均勻性。

上海彌正推出行業(yè)的超高純氣體回收再利用系統(tǒng),針對半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)的工藝尾氣,實現(xiàn)高效回收、提純與循環(huán)利用,為客戶創(chuàng)造經(jīng)濟與環(huán)境雙重價值。該系統(tǒng)可適配三氟化氮、硅烷、氫氣等多種氣體,通過低溫冷凝、吸附分離與精密過濾等多級處理工藝,將原本直接排放的工藝尾氣提純至 5N-6N 級純度,回收利用率比較高可達 90%。以半導(dǎo)體刻蝕工藝中常用的三氟化氮為例,傳統(tǒng)使用模式下利用率不足 50%,大量尾氣被浪費并污染環(huán)境,采用該回收系統(tǒng)后,客戶氣體采購成本降低 40%,同時大幅減少溫室氣體排放。提供 “定制化系統(tǒng) + 運維服務(wù)” 的整體解決方案,根據(jù)客戶生產(chǎn)規(guī)模與氣體種類,設(shè)計專屬回收流程,配備專業(yè)團隊負(fù)責(zé)系統(tǒng)安裝、調(diào)試與定期維護,并提供回收氣體的質(zhì)量檢測報告。某半導(dǎo)體代工廠應(yīng)用該系統(tǒng)后,年節(jié)省氣體采購費用超 600 萬元,工藝尾氣排放量減少 80%,順利通過 ISO 14064 碳足跡核查,實現(xiàn)了經(jīng)濟效益與環(huán)保責(zé)任的統(tǒng)一。超高純氨氣純度達 99.999%,用于 LED 芯片制造與光伏電池鈍化。浙江硅烷超高純氣體芯片制造
超高純甲烷(雜質(zhì)≤0.5ppm)是半導(dǎo)體刻蝕工藝的關(guān)鍵氣體。上海環(huán)氧乙烷超高純氣體生物醫(yī)藥
上海彌正超高純二氧化碳(5N 級純度),專為細(xì)胞培養(yǎng)、食品加工、激光切割等場景設(shè)計,以 “高純度 + 高安全性” 成為多領(lǐng)域推薦。通過精餾與吸附提純工藝,將水分、氧氣、硫化物等雜質(zhì)含量控制在 0.1ppb 以下,其中有害雜質(zhì)硫化物含量≤0.01ppb,確保使用安全。在細(xì)胞培養(yǎng)領(lǐng)域,可精細(xì)調(diào)控培養(yǎng)環(huán)境的 pH 值,維持細(xì)胞正常生理活性,提升細(xì)胞增殖效率;在食品加工領(lǐng)域,用于碳酸飲料充氣與食品冷凍保鮮,無異味、無殘留,符合食品接觸安全標(biāo)準(zhǔn);在激光切割領(lǐng)域,作為輔助氣體可提升切割效率與切口平整度。采用特用高壓氣瓶包裝,配備防泄漏閥門與壓力調(diào)節(jié)裝置,氣體輸出壓力穩(wěn)定,流量調(diào)節(jié)范圍 1-100L/min。某生物科技企業(yè)應(yīng)用后,細(xì)胞培養(yǎng)密度提升 20%,細(xì)胞活性維持時間延長 3 天;某食品企業(yè)使用后,碳酸飲料口感穩(wěn)定性提升,食品冷凍保鮮期延長 50%,完全滿足不同行業(yè)的安全與性能要求。上海環(huán)氧乙烷超高純氣體生物醫(yī)藥
上海彌正氣體有限公司是一家有著先進的發(fā)展理念,先進的管理經(jīng)驗,在發(fā)展過程中不斷完善自己,要求自己,不斷創(chuàng)新,時刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,在上海市等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**,在業(yè)界也收獲了很多良好的評價,這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結(jié)果,這些評價對我們而言是比較好的前進動力,也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強、一往無前的進取創(chuàng)新精神,努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同上海彌正氣體供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來,創(chuàng)造更有價值的產(chǎn)品,我們將以更好的狀態(tài),更認(rèn)真的態(tài)度,更飽滿的精力去創(chuàng)造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長!