浙江氧硫化碳超高純氣體

上海彌正超高純乙硼烷（5N 級(jí)純度），專為 FinFET、GAA（全環(huán)繞柵極）等先進(jìn)晶體管結(jié)構(gòu)的超淺結(jié)摻雜工藝設(shè)計(jì)，以 “超高純度 + 準(zhǔn)確控制” 突破芯片制程瓶頸。采用低溫合成與精密吸附提純技術(shù)，將雜質(zhì)含量控制在極低水平，其中磷、砷等雜質(zhì)含量≤5ppt，水分含量≤10ppb，滿足 5nm 及以下先進(jìn)制程對(duì)超淺結(jié)摻雜的嚴(yán)苛要求。在超淺結(jié)摻雜中，它能提供高濃度的硼離子，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體材料的準(zhǔn)確、淺度摻雜，形成高性能的 P 型半導(dǎo)體層，其純度與穩(wěn)定性直接影響結(jié)深控制精度與器件的閾值電壓，對(duì)提升晶體管開關(guān)性能至關(guān)重要。提供定制化的稀釋與輸送方案，可根據(jù)客戶工藝需求，將乙硼烷準(zhǔn)確稀釋至 1-100ppm 的標(biāo)準(zhǔn)混合氣，采用不銹鋼管道輸送，配備在線濃度監(jiān)測(cè)與自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)，確保摻雜過程準(zhǔn)確可控。某專注于先進(jìn)制程的芯片設(shè)計(jì)與制造企業(yè)應(yīng)用后，GAA 晶體管的閾值電壓波動(dòng)范圍縮小至 ±0.02V，開關(guān)電流提升 20%，成功實(shí)現(xiàn) 5nm 制程芯片的穩(wěn)定量產(chǎn)。超高純二氧化碳純度達(dá) 99.995%，適配食品冷鏈與激光焊接保護(hù)。浙江氧硫化碳超高純氣體

上海彌正超高純氧氣（5N 級(jí)純度），兼具醫(yī)療與電子制造雙重適配性，以 “高純度 + 低雜質(zhì)” 滿足多元場(chǎng)景需求。采用深度冷凍與吸附提純工藝，將水分、二氧化碳、一氧化碳等雜質(zhì)含量控制在 0.5ppb 以下，無異味、無有害污染物，符合醫(yī)用氣體 GB 8982-2024 標(biāo)準(zhǔn)與電子行業(yè) SEMI 標(biāo)準(zhǔn)。在醫(yī)療領(lǐng)域，可用于重癥患者呼吸療愈、麻醉輔助與高壓氧艙療愈，提高血氧飽和度，促進(jìn)患者康復(fù)；在電子制造領(lǐng)域，用于 ITO 薄膜濺射沉積，提升顯示面板與觸摸屏的導(dǎo)電性能與透光率。采用醫(yī)用與工業(yè)特用氣瓶分類包裝，醫(yī)用氣瓶經(jīng)無菌處理，工業(yè)氣瓶配備高精度流量控制裝置，支持連續(xù)穩(wěn)定輸送。某綜合醫(yī)院應(yīng)用后，重癥患者率提升 10%，氧療不良反應(yīng)發(fā)生率下降 60%；某電子企業(yè)使用后，ITO 薄膜透光率提升 2%，導(dǎo)電性能穩(wěn)定，完全滿足醫(yī)療與電子行業(yè)的嚴(yán)苛要求。浙江異丁烷超高純氣體半導(dǎo)體制造超高純氦氣（純度 99.9999%）用作色譜儀載氣，保障檢測(cè)精度。

上海彌正推出行業(yè)的超高純氣體回收再利用系統(tǒng)，針對(duì)半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)的工藝尾氣，實(shí)現(xiàn)高效回收、提純與循環(huán)利用，為客戶創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)與環(huán)境雙重價(jià)值。該系統(tǒng)可適配三氟化氮、硅烷、氫氣等多種氣體，通過低溫冷凝、吸附分離與精密過濾等多級(jí)處理工藝，將原本直接排放的工藝尾氣提純至 5N-6N 級(jí)純度，回收利用率比較高可達(dá) 90%。以半導(dǎo)體刻蝕工藝中常用的三氟化氮為例，傳統(tǒng)使用模式下利用率不足 50%，大量尾氣被浪費(fèi)并污染環(huán)境，采用該回收系統(tǒng)后，客戶氣體采購成本降低 40%，同時(shí)大幅減少溫室氣體排放。提供 “定制化系統(tǒng) + 運(yùn)維服務(wù)” 的整體解決方案，根據(jù)客戶生產(chǎn)規(guī)模與氣體種類，設(shè)計(jì)專屬回收流程，配備專業(yè)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)系統(tǒng)安裝、調(diào)試與定期維護(hù)，并提供回收氣體的質(zhì)量檢測(cè)報(bào)告。某半導(dǎo)體代工廠應(yīng)用該系統(tǒng)后，年節(jié)省氣體采購費(fèi)用超 600 萬元，工藝尾氣排放量減少 80%，順利通過 ISO 14064 碳足跡核查，實(shí)現(xiàn)了經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)保責(zé)任的統(tǒng)一。

上海彌正憑借低溫精餾、吸附分離、膜分離、催化脫氧等多工藝集成提純技術(shù)，實(shí)現(xiàn)超高純氣體 5N-9N 級(jí)純度的穩(wěn)定量產(chǎn)，技術(shù)水平對(duì)標(biāo)國際先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)。針對(duì)不同氣體特性定制專屬提純方案：惰性氣體采用 “低溫精餾 + 吸附” 組合工藝，有效去除微量雜質(zhì)；活性氣體通過 “催化凈化 + 膜分離” 技術(shù)，精細(xì)控制有害雜質(zhì)含量；特種氣體則采用 “低溫吸附 + 精餾” 工藝，確保純度與穩(wěn)定性雙達(dá)標(biāo)。配備國際先進(jìn)的痕量雜質(zhì)檢測(cè)設(shè)備，包括 GC-MS 氣相色譜 - 質(zhì)譜聯(lián)用儀、ICP-MS 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀等，可檢測(cè)出 ppb-ppt 級(jí)別的微量雜質(zhì)，每批次產(chǎn)品均經(jīng)過至少 3 次全項(xiàng)檢測(cè)，確保純度達(dá)標(biāo)。建立 1000㎡超潔凈生產(chǎn)車間，車間潔凈度達(dá) Class 100 級(jí)，避免生產(chǎn)過程中氣體污染，提純?cè)O(shè)備采用自動(dòng)化控制系統(tǒng)，操作精度達(dá) ±0.01%，實(shí)現(xiàn)全年 365 天連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)，氣體純度波動(dòng)范圍≤0.05%，為下游制造行業(yè)提供可靠的純度保障。超高純磷化氫（純度 99.999%）是 LED 芯片制造的 P 型摻雜氣體。

上海彌正創(chuàng)新性地從發(fā)酵工業(yè)副產(chǎn)品中提純制備生物基超高純二氧化碳（5N 級(jí)純度），實(shí)現(xiàn)資源循環(huán)利用，為食品與醫(yī)藥行業(yè)提供更安全、更環(huán)保的綠色氣體選擇。該工藝以乙醇發(fā)酵、啤酒釀造等工業(yè)的副產(chǎn)品二氧化碳為原料，通過水洗、脫硫、精餾、吸附等多道提純工序，將硫化物、苯類、重金屬等有害雜質(zhì)含量控制在 0.1ppb 以下，純度達(dá) 99.999%，完全符合 GB 10621-2022 食品添加劑標(biāo)準(zhǔn)與藥典標(biāo)準(zhǔn)。相較于傳統(tǒng)化工合成法，該工藝每生產(chǎn)一噸氣體可減少約 3 噸的二氧化碳排放，兼具環(huán)保與經(jīng)濟(jì)價(jià)值。在食品領(lǐng)域，可用于碳酸飲料的充氣與果蔬的氣調(diào)保鮮，無化學(xué)殘留，口感更純凈；在醫(yī)藥領(lǐng)域，可用于腹腔鏡手術(shù)的 insufflation 氣體與細(xì)胞培養(yǎng)環(huán)境的 pH 值調(diào)節(jié)。某啤酒企業(yè)將其用于旗下碳酸飲料生產(chǎn)，產(chǎn)品通過 “碳中和” 認(rèn)證，市場(chǎng)銷量提升 18%；某生物制藥企業(yè)使用后，細(xì)胞培養(yǎng)的存活率與活性均有明顯提升，生物制劑的批次穩(wěn)定性更佳。超高純氚氣（雜質(zhì)≤0.1ppm）用于核工業(yè)與放射性檢測(cè)設(shè)備。浙江二氧化氮超高純氣體芯片制造

超高純氦氣與氖氣混合氣，用于低溫超導(dǎo)實(shí)驗(yàn)與特種光源。浙江氧硫化碳超高純氣體

上海彌正超高純氮?dú)猓兌冗_(dá) 6N 級(jí)），專為半導(dǎo)體晶圓加工設(shè)計(jì)，以 “雜質(zhì) + 穩(wěn)定供應(yīng)” 成為芯片制造的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料。采用低溫精餾與吸附分離雙重提純工藝，將氧氣、水分、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)含量控制在 0.1ppb 以下，完全滿足半導(dǎo)體刻蝕、沉積等重心工藝對(duì)氣體純度的嚴(yán)苛要求。作為惰性保護(hù)氣體，它能有效隔絕空氣與工藝環(huán)境接觸，防止晶圓表面氧化或污染，保障光刻膠涂覆、等離子體刻蝕等環(huán)節(jié)的工藝穩(wěn)定性。配備特用超潔凈包裝與輸送系統(tǒng)，氣瓶?jī)?nèi)壁經(jīng)電解拋光處理，避免二次污染，氣體輸送過程中純度衰減率低于 0.01%。某芯片制造企業(yè)應(yīng)用后，晶圓氧化缺陷率從 0.3% 降至 0.02%，芯片良率提升 2.8%，連續(xù)供應(yīng) 12 個(gè)月無純度波動(dòng)問題，完全適配 5G 芯片、人工智能芯片等制程的生產(chǎn)需求，成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不可或缺的惰性保護(hù)解決方案。

浙江氧硫化碳超高純氣體

上海彌正氣體有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念，先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn)，在發(fā)展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創(chuàng)新，時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司，在上海市等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**，在業(yè)界也收獲了很多良好的評(píng)價(jià)，這些都源自于自身的努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果，這些評(píng)價(jià)對(duì)我們而言是比較好的前進(jìn)動(dòng)力，也促使我們?cè)谝院蟮牡缆飞媳３謯^發(fā)圖強(qiáng)、一往無前的進(jìn)取創(chuàng)新精神，努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同上海彌正氣體供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來，創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品，我們將以更好的狀態(tài)，更認(rèn)真的態(tài)度，更飽滿的精力去創(chuàng)造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長(zhǎng)！